1. Hobaneng ha Mocheso e le Paramethara ea Bohlokoa ho Koahelong ea Vacuum
Mekhoa ea ho koahela ka vacuum (PVD / CVD), mocheso ha se phetoho e ikemetseng empa ke paramethara ea motheo e laolang boemo ba substrate, mekhoa ea kholo ea filimi, le ho thehoa ha sebopeho sa interfacial.
Mocheso oa substrate o ama ka ho toba:
Ho tsamaea ha liathomo tse bolokiloeng holim'a metsi
Botebo ba filimi le sebopeho se senyenyane
Maemo a kgatello a setseng ka hare ho seaparo
Matla a ho khomarela pakeng tsa filimi le substrate
Litšebelisong tse kang masela a optical, likarolo tsa kahare le kantle tsa likoloi, le masela a sebetsang, taolo e sa nepahalang ea mocheso hangata ke sesosa sa mantlha sa tahlehelo ea chai le phapang ea ts'ebetso.
2. Tšusumetso e tobileng ea Mocheso Boitšoarong ba Kholo ea Filimi
2.1 Ho Tsamaya ha Athomo le ho Tekanyoa ha Lifilimi
Nakong ea ho kenngoa ha lintho, mocheso oa substrate o etsa qeto ea hore na liathomo tse fihlang li ka feta ka ho lekaneng holim'a metsi.
Maemong a mocheso o tlase haholo:
Ho tsamaea ha athomo ho lekanyelitsoe
Lifilimi li bontša meaho e nang le masoba kapa e nang le likholomo
Ho tšoarella le ho hanyetsa tikoloho lia senyeha
Maemong a mocheso o motle:
Liathomo li fumana motsamao o lekaneng oa holim'a metsi
Lifilimi li fetoha tse teteaneng le tse tšoanang
Matlotlo a mahlo le a mechine a ntlafalitsoe haholo
2.2 Kotsi ea Khatello ea Filimi le ho Fetoha ha Substrate
Khatello ea maikutlo filiming e bakoa haholo-holo ke:
Khatello ea mocheso
Khatello ea kholo ea ka hare
Ho feto-fetoha ho hoholo ha mocheso kapa di-gradients ho ka lebisa ho:
Ho petsoha ha filimi
Karolo ea ho loantša ea substrate
Ho khomarela ho fokotsehileng
Sena se bohlokoa haholo bakeng sa li-substrate tsa khalase tsa sebaka se seholo le likarolo tsa polymer tse leboteng le lesesaane.
2.3 Meeli ea Thermal ea Substrate le Litšitiso tsa Lifensetere tsa Ts'ebetso
Li-substrate tse fapaneng li na le mamello e fapaneng haholo ea mocheso:
Lisebelisoa tsa khalase le tsa tšepe li fana ka lifensetere tse nang le mocheso o pharaletseng
Lisebelisoa tsa polymer (PC, ABS, PMMA) li na le meeli e menyenyane ea mocheso
Taolo e fosahetseng ea mocheso e ka fella ka:
Phetoho ea mocheso
Ho tsepamisa maikutlo khatellong ea holim'a metsi
Ho hloleha ha kopano ho theohela tlase
3. Lisosa tse Tloaelehileng tsa ho se Tsitse ha Mocheso Nakong ea ho Koahela
3.1 Moroalo oa Thermal o Hlahisitsoeng ke Plasma le Matla a ho Hlakola
Ha ho sputtering ea magnetron, matla a mangata a eketseha haholo mochesong oa bokaholimo ba substrate. Ntle le ho qhalana ha mocheso ho lekaneng, ho ka etsahala ho chesa haholo sebakeng seo.
3.2 Kabo ea Mocheso o sa Tšoaneng ka Lebaka la Moralo oa ho Jarisa
Sekhahla sa ho jara, boholo, le tlhophiso ea substrate li susumetsa ka kotloloho:
Phetisetso ea mocheso o nang le mahlaseli a kotsi
Kabo ea plasma
Ho tšoana ha mocheso
3.3 Karabelo e Liehang ea Mekhoa ea ho Pholisa le ea Taolo ea Mocheso
Moralo o sa nepahalang oa potoloho ea ho pholisa kapa karabelo e liehang ea taolo ea mocheso e eketsa kotsi ea ho phatloha ho feteletseng ha mocheso le ho se tsitse ha ts'ebetso.
4. Maano a Boenjiniere bakeng sa Taolo e Sebetsang ea Mocheso
4.1 Tlhokomelo e Nepahetseng ea Mocheso oa Substrate
Mekhoa ea ho lemoha mocheso oa lintlha tse ngata le ea ho fana ka maikutlo e fana ka tekanyo ea nako ea sebele ea mocheso oa substrate, ho e-na le ho itšetleha feela ka mocheso oa kamore.
4.2 Khokahano ea Loop e Koetsoeng Pakeng tsa Matla le Mocheso
Ho kopanya matla a ho phunya, diparamente tsa mohlodi wa ion, le taolo ya mocheso ho nolofalletsa ho leka-lekanya ka matla ha sekgahla sa ho bewa ha ion le mojaro wa mocheso.
4.3 Taolo e Ntlafalitsoeng ea Thermal ea Lisebelisoa le Lijari
Lisebelisoa tse phahameng tsa ho tsamaisa mocheso le moralo o ntlafalitsoeng oa sebaka sa ho kopana li ntlafatsa katleho ea phetisetso ea mocheso le ho fokotsa libaka tse chesang tsa lehae.
4.4 Maano a ho Theola Thermal ka Likarolo le ho Buffer
Ho kenya mocheso ka mehato e mengata, ho phahamisa motlakase, le ho pholisa ka nako e khutšoanyane ho thibela liphello tse bokellaneng tsa mocheso.
5. Qetello
Taolo ea mocheso ha se tlhophiso e le 'ngoe ea lisebelisoa, empa ke taeo ea boenjiniere ea boemo ba sistimi e akaretsang moralo oa ts'ebetso, meralo ea lisebelisoa, le taolo ea othomathike.
Litšebelisong tse hlokang botsitso le ts'epo e phahameng, taolo ea mocheso o tsitsitseng, o laolehang le o ka phetoang e se e le sesupo sa bohlokoa sa khōlo ea ts'ebetso ea ho roala ka vacuum le bokhoni ba lisebelisoa.
–Sengoloa sena se phatlalalitsoe ke lisebelisoa tsa ho roala ka vacuum moetsi oa Zhenhua Vacuum
Nako ea poso: Tshitwe-20-2025