1. Aiseā e Taua ai le Vevela i le Ufiufi Vacuum
I faiga o le ufiufiina o le masini e aunoa ma le eletise (PVD / CVD), o le vevela e lē o se fesuiaʻiga tutoʻatasi ae o se parakalafa autū e pulea ai le tulaga o le substrate, auala e tuputupu aʻe ai le ata tifaga, ma le fausiaina o le fausaga o le interfacial.
E aʻafia saʻo lava le vevela o le eleele:
Fe'avea'i i luga o le fogaeleele o atomu ua teuina
Mafiafia o ata tifaga ma le fausaga laiti
Tulaga o le atuatuvalega o totoe i totonu o le ufiufi
Malosiaga o le pipii i le va o le ata tifaga ma le substrate
I faʻaoga e pei o ufiufi opitika, vaega i totonu ma fafo o taʻavale, ma ufiufi aoga, o le puleaina lelei o le vevela e masani lava o se mafuaʻaga autu lea o le leiloa o le seleselega ma le fesuisuiaʻi o le faʻatinoga.
2. Aafiaga Tuusa'o o le Vevela i le Amioga o le Tuputupu A'e o Ata Tifaga
2.1 Fe'avea'i Fa'a-Atomika ma le Fa'ama'a'aina o Ata Tifaga
I le taimi o le fa'aputuina, o le vevela o le substrate e fuafua ai pe mafai e atoms o lo'o taunuu mai ona fa'asalalauina i luga o le fogaeleele.
I le vevela maualalo tele:
E fa'atapula'aina le fe'avea'i o le atomika
O ata tifaga e faʻaalia ai ni fausaga porous poʻo ni fausaga columnar
Ua fa'aitiitia le tumau ma le tete'e atu i le siosiomaga
I le vevela sili ona lelei:
E maua e atomu le fe'avea'i lelei i luga o le fogaeleele
E mafiafia ma tutusa ata tifaga
Ua matuā fa'aleleia atili meatotino opitika ma fa'ainisinia
2.2 Fa'alavelave o Ata Tifaga ma le Lamatiaga o le Fa'aleagaina o le Tulaga
O le atuatuvalega i ata tifaga e mafua mai i:
Fa'alavelave fa'avevela
Fa'alavelave tuputupu a'e i totonu
O suiga tetele po'o fe'avea'iga o le vevela e mafai ona o'o atu ai i:
Ta'e o le ata tifaga
Fa'apiopio o le substrate
Fa'aitiitia le pipii
E matuā tāua tele lenei mea mo mea e fai i tioata e tetele sona vaega ma vaega o le polymer e manifinifi ona puipui.
2.3 Tapula'a Fa'avevela o le Substrate ma Tapula'a Fa'amalama Fa'agasologa
E eseese lava le tete'e atu o mea fa'avae i le vevela:
O mea fa'apipi'i tioata ma u'amea e ofoina atu pupuni vevela lautele
O mea fa'apipi'i polymer (PC, ABS, PMMA) e iai ni tapula'a fa'avevela vaapiapi
O le le pulea lelei o le vevela e ono iʻu ai i:
Fa'aleagaina o le vevela
Fa'aputuga o le atuatuvale i luga
Fa'aletonu o le fa'apotopotoga i lalo ifo
3. Mafua'aga Masani o le Lē Mautonu o le Vevela i le Taimi o le Ufiufi
3.1 Avega Fa'avevela e Fa'aosofia e le Plasma ma le Sputtering Power
I le magnetron sputtering, o le malosi tele o le eletise e faʻateleina ai le vevela o le fogaeleele. A aunoa ma le lava o le faʻasalalauina o le vevela, e ono tupu ai le soʻona vevela i le lotoifale.
3.2 Fa'asalalauga o le Vevela e lē Tutusa Ona o le Fuafuaga o le Utaina
O le mamafa o le uta o le substrate, le tele, ma le faʻatulagaga o le faʻapipiʻi e aʻafia saʻo ai:
Fesiitaiga o le vevela fa'asalalau
Tufatufaina o le plasma
Tutusa o le vevela
3.3 Tali Fa'atuai o Faiga Fa'amālūlū ma le Pulea o le Vevela
O le mamanu le lelei o le matagaluega fa'amālūlū po'o le tuai o le tali atu i le puleaina o le vevela e fa'ateleina ai le lamatiaga o le soona vevela ma le le mautu o le fa'agasologa.
4. Fuafuaga Fa'ainisinia mo le Puleaina Lelei o le Vevela
4.1 Mata'ituina Sa'o o le Vevela o le Substrate
E maua ai e le tele o faiga e iloa ai le vevela ma le feedback le fuaina moni o le vevela o le substrate i le taimi moni, nai lo le faalagolago na o le vevela o le potu.
4.2 Fa'amaopoopoga Tapuni i le va o le Malosiaga ma le Vevela
O le tu'ufa'atasia o le sputtering power, ion source parameters, ma le puleaina o le vevela e mafai ai ona paleni lelei le fua faatatau o le deposition ma le thermal load.
4.3 Pulega Fa'alelei o le Vevela o Mea Fa'apipi'i ma Mea e Ave ai
O mea e maualuga le fa'avevela ma le mamanu fa'alelei o le vaega e fa'afeso'ota'i ai e fa'aleleia atili ai le lelei o le fesiitaiga o le vevela ma fa'aitiitia ai vaega vevela i le lotoifale.
4.4 Fuafuaga Fa'aputuga Vaevaega ma le Fa'apa'u Fa'avevela
O le fa'aputuga o la'asaga e tele, fa'ateleina o le eletise, ma le fa'amālūlūina i le vaeluaga e taofia ai le fa'aputuga o aafiaga o le vevela.
5. Faaiuga
O le puleaina o le vevela e lē o se setiina e tasi o le masini, ae o se matāʻupu faʻainisinia i le tulaga o le faiga e aofia ai le mamanuina o le faagasologa, le fausaga o masini, ma le puleaina faʻaautomatika.
I faʻaoga e manaʻomia ai le maualuga o le tumau ma le faʻatuatuaina, o le pulega o le vevela e mautu, pulea, ma mafai ona toe faia soo ua avea ma faʻailoga autu o le matua o le faagasologa o le ufiufiina o le vacuum ma le gafatia o meafaigaluega.
–O lenei tusiga na lomia e meafaigaluega ufiufi mo le mitiia o le ea kamupani gaosi oloa Zhenhua Vacuum
Taimi na lafoina ai: Tesema-20-2025