Nā ʻAno Koʻikoʻi o ka Mana Mahana i nā Kaʻina Hana Uhi Vacuum - He Palena Koʻikoʻi no ke Kūlana Paʻa o ke Kaʻina Hana

1. No ke aha he mea koʻikoʻi ka mahana i ka uhi ʻana i ka vacuum

I nā kaʻina hana uhi hakahaka (PVD / CVD), ʻaʻole ka mahana he loli kū hoʻokahi akā he palena kumu e hoʻomalu ana i ke kūlana substrate, nā ʻano ulu ʻana o ka ʻili, a me ka hoʻokumu ʻana o ka ʻano interfacial.
Hoʻopilikia pololei ka mahana o ka substrate:

Ka neʻe ʻana o ka ʻili o nā ʻātoma i waiho ʻia

ʻO ka nui o ke kiʻiʻoniʻoni a me ka microstructure

Nā pae koʻikoʻi i koe i loko o ka uhi ʻana

Ka ikaika o ka hoʻopili ʻana ma waena o ke kiʻiʻoniʻoni a me ka substrate

I nā noi e like me nā uhi optical, nā ʻāpana o loko a me waho o ke kaʻa, a me nā uhi hana, ʻo ka kaohi wela kūpono ʻole ke kumu pinepine o ka pohō hua a me ka loli o ka hana.

2. Ka hopena pololei o ka mahana ma ke ʻano o ka ulu ʻana o ke kiʻiʻoniʻoni
2.1 Ka Neʻe ʻAtomika a me ka Hoʻopaʻa ʻAna o ke Kiʻiʻoniʻoni

I ka wā o ka waiho ʻana, hoʻoholo ka mahana o ka substrate inā hiki i nā ʻātoma e hōʻea mai ana ke hele i ka lawa ʻana o ka hoʻolaha ʻana o ka ʻili.
Ma nā mahana haʻahaʻa loa:

Ua kaupalena ʻia ka neʻe ʻana o ka ʻātoma

Hōʻike nā kiʻiʻoniʻoni i nā ʻano porous a i ʻole columnar

Ua hoʻopilikia ʻia ke kūpaʻa a me ke kūpaʻa i ke kaiapuni

Ma nā mahana kūpono loa:

Loaʻa i nā ʻātoma ka neʻe kūpono o ka ʻili

Lilo nā kiʻiʻoniʻoni i mānoanoa a like hoʻi

Ua hoʻomaikaʻi nui ʻia nā waiwai optical a me nā mechanical

2.2 Ka pilikia o ke kaumaha o ka ʻiliʻili a me ka pilikia o ka hoʻololi ʻana o ka substrate

ʻO ke kaumaha o ke kiʻiʻoniʻoni ke kumu nui mai:

Ke kaumaha wela

Ka hoʻoluhi ulu kūloko

Hiki i nā loli nui o ka mahana a i ʻole nā ​​gradients ke alakaʻi i:

Ka haki ʻana o ke kiʻiʻoniʻoni

ʻAoʻao hoʻololi o ka substrate

Hoʻemi ʻia ka hoʻopili ʻana

He mea koʻikoʻi loa kēia no nā substrates aniani ʻāpana nui a me nā ʻāpana polymer paia lahilahi.

2.3 Nā Palena Wera o ka Substrate a me nā Palena o ka Puka Hana

He ʻokoʻa loa nā ʻano substrates like ʻole i nā hoʻomanawanui wela:

Hāʻawi nā mea aniani a me nā mea hao i nā puka makani mahana ākea

He haiki nā palena wela o nā substrates Polymer (PC, ABS, PMMA)

ʻO ka mālama pono ʻole ʻana i ka mahana e hiki ke hopena i:

Hoʻololi wela

Ka nui o ke koʻikoʻi o ka ʻili

Nā hemahema o ka ʻākoakoa ʻana ma lalo

3. Nā kumu maʻamau o ka paʻa ʻole o ka mahana i ka wā o ka uhi ʻana
3.1 Ukana Thermal i hoʻokumu ʻia e ka Plasma a me ka Mana Sputtering

I ka magnetron sputtering, hoʻonui nui ka nui o ka mana kiʻekiʻe i ka mahana o ka ʻili o ka substrate. Me ka lawa ʻole o ka hoʻopuehu wela, hiki ke wela nui ma kahi kūloko.

3.2 Ka Hoʻolaha Mahana ʻAʻole like ma muli o ka Hoʻolālā Ukana

Hoʻopili pololei ka nui o ke kaumaha o ka substrate, ka nui, a me ka hoʻonohonoho ʻana o ke kikowaena:

Hoʻoili wela radiation

Ka hoʻolaha ʻana o ka plasma

Ka like ʻana o ka mahana

3.3 Pane lohi o nā ʻōnaehana hoʻoluʻu a me ka hoʻokele mahana

ʻO ka hoʻolālā kaapuni hoʻoluʻu kūpono ʻole a i ʻole ka pane lohi o ka kaohi mahana e hoʻonui i ka pilikia o ka overshoot thermal a me ke kaʻina hana paʻa ʻole.

4. Nā Hoʻolālā ʻenekinia no ka Mana Mahana Kūpono
4.1 Ka Nānā Pololei ʻana i ka Mahana o ka Substrate

Hāʻawi nā ʻōnaehana ʻike mahana multi-point a me nā manaʻo hoʻihoʻi i ke ana manawa maoli o ka mahana maoli o ka substrate, ma mua o ka hilinaʻi wale ʻana i ka mahana o ke keʻena.

4.2 Hoʻonohonoho ʻana o ka Loop Pani ma waena o ka Mana a me ka Mahana

ʻO ka hoʻohui ʻana i ka mana sputtering, nā palena kumu ion, a me ka kaohi mahana e hiki ai ke kaulike ikaika o ka helu deposition a me ka ukana thermal.

4.3 Hoʻokele Wera i Hoʻomaikaʻi ʻia o nā Mea Hoʻopaʻa a me nā Mea Lawe

Hoʻonui nā mea hoʻoili wela kiʻekiʻe a me ka hoʻolālā wahi hoʻopili i hoʻonui ʻia i ka pono o ka hoʻoili wela a hoʻemi i nā wahi wela kūloko.

4.4 Nā Hoʻolālā Hoʻokaʻawale ʻĀpana a me ka Buffering Thermal

ʻO ka waiho ʻana o nā ʻanuʻu he nui, ka hoʻonui mana, a me ka hoʻoluʻu waena e kāohi pono i nā hopena wela cumulative.

5. Hopena

ʻAʻole ka kaohi mahana i kahi hoʻonohonoho lako hoʻokahi, akā, he aʻo ʻenekinia pae ʻōnaehana e pili ana i ka hoʻolālā kaʻina hana, ka hoʻolālā lako, a me ka kaohi automation.
I nā noi e koi ana i ke kūlike kiʻekiʻe a me ka hilinaʻi, ua lilo ka hoʻokele mahana paʻa, hiki ke hoʻokele ʻia, a hiki ke hana hou ʻia i mea hōʻailona nui o ke kaʻina hana uhi ʻōpala a me ka hiki o nā lako.

–Ua paʻi ʻia kēia ʻatikala e nā lako hana uhi vacuum mea hana Zhenhua Vacuum