ລັກສະນະຫຼັກຂອງການຄວບຄຸມອຸນຫະພູມໃນຂະບວນການເຄືອບສູນຍາກາດ - ພາລາມິເຕີຫຼັກສຳລັບຄວາມໝັ້ນຄົງຂອງຂະບວນການ

1. ເປັນຫຍັງອຸນຫະພູມຈຶ່ງເປັນຕົວກໍານົດທີ່ສໍາຄັນໃນການເຄືອບສູນຍາກາດ

ໃນຂະບວນການເຄືອບສູນຍາກາດ (PVD / CVD), ອຸນຫະພູມບໍ່ແມ່ນຕົວແປທີ່ແຍກອອກມາຈາກຕົວອື່ນ ແຕ່ເປັນຕົວກຳນົດພື້ນຖານທີ່ຄວບຄຸມສະພາບຂອງຊັ້ນຮອງພື້ນ, ກົນໄກການເຕີບໂຕຂອງຟິມ, ແລະ ການສ້າງໂຄງສ້າງທີ່ເຊື່ອມຕໍ່ກັນ.
ອຸນຫະພູມຂອງຊັ້ນໃຕ້ດິນມີຜົນກະທົບໂດຍກົງຕໍ່:

ການເຄື່ອນທີ່ຂອງພື້ນຜິວຂອງອະຕອມທີ່ຝາກໄວ້

ຄວາມໜາແໜ້ນຂອງຟິມ ແລະ ໂຄງສ້າງຈຸນລະພາກ

ລະດັບຄວາມກົດດັນທີ່ເຫຼືອຢູ່ພາຍໃນຊັ້ນເຄືອບ

ຄວາມແຮງຂອງການຍຶດຕິດລະຫວ່າງຟິມ ແລະ ຊັ້ນຮອງພື້ນ

ໃນການນຳໃຊ້ເຊັ່ນ: ການເຄືອບແສງ, ອົງປະກອບພາຍໃນ ແລະ ພາຍນອກຂອງລົດຍົນ, ແລະ ການເຄືອບທີ່ໃຊ້ງານໄດ້, ການຄວບຄຸມອຸນຫະພູມທີ່ບໍ່ຖືກຕ້ອງມັກຈະເປັນສາເຫດຕົ້ນຕໍຂອງການສູນເສຍຜົນຜະລິດ ແລະ ການປ່ຽນແປງຂອງປະສິດທິພາບ.

2. ຜົນກະທົບໂດຍກົງຂອງອຸນຫະພູມຕໍ່ພຶດຕິກຳການເຕີບໃຫຍ່ຂອງຟິມ
2.1 ການເຄື່ອນທີ່ຂອງອະຕອມ ແລະ ຄວາມໜາແໜ້ນຂອງຟິມ

ໃນລະຫວ່າງການວາງຊັ້ນ, ອຸນຫະພູມຂອງຊັ້ນໃຕ້ດິນຈະກຳນົດວ່າອະຕອມທີ່ມາຮອດສາມາດຜ່ານການແຜ່ກະຈາຍຂອງໜ້າດິນໄດ້ພຽງພໍຫຼືບໍ່.
ໃນອຸນຫະພູມຕໍ່າເກີນໄປ:

ການເຄື່ອນທີ່ຂອງອະຕອມມີຈຳກັດ

ຟິມສະແດງໃຫ້ເຫັນໂຄງສ້າງທີ່ມີຮູຂຸມຂົນ ຫຼື ເປັນຮູບເສົາ

ຄວາມທົນທານ ແລະ ຄວາມຕ້ານທານຕໍ່ສິ່ງແວດລ້ອມຖືກທຳລາຍ

ໃນອຸນຫະພູມທີ່ດີທີ່ສຸດ:

ອະຕອມໄດ້ຮັບການເຄື່ອນທີ່ຂອງພື້ນຜິວທີ່ພຽງພໍ

ຟິມກາຍເປັນໜາແໜ້ນ ແລະ ເປັນເອກະພາບ

ຄຸນສົມບັດທາງດ້ານແສງ ແລະ ກົນຈັກໄດ້ຮັບການປັບປຸງຢ່າງຫຼວງຫຼາຍ

2.2 ຄວາມກົດດັນຂອງຟິມ ແລະ ຄວາມສ່ຽງຕໍ່ການຜິດຮູບຂອງຊັ້ນໃຕ້ດິນ

ຄວາມກົດດັນຂອງຮູບເງົາສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນເກີດມາຈາກ:

ຄວາມກົດດັນທາງຄວາມຮ້ອນ

ຄວາມກົດດັນດ້ານການເຕີບໂຕພາຍໃນ

ການປ່ຽນແປງຂອງອຸນຫະພູມຂະໜາດໃຫຍ່ ຫຼື ການຜັນຜວນຂອງອຸນຫະພູມສາມາດນຳໄປສູ່:

ການແຕກຂອງຟິມ

ການບິດເບືອນຂອງພື້ນຜິວ

ຫຼຸດຜ່ອນການຍຶດຕິດ

ສິ່ງນີ້ມີຄວາມສຳຄັນຫຼາຍໂດຍສະເພາະສຳລັບພື້ນຜິວແກ້ວທີ່ມີພື້ນທີ່ຂະໜາດໃຫຍ່ ແລະ ອົງປະກອບໂພລີເມີຝາບາງ.

2.3 ຂໍ້ຈຳກັດຄວາມຮ້ອນຂອງຊັ້ນໃຕ້ດິນ ແລະ ຂໍ້ຈຳກັດຂອງປ່ອງຢ້ຽມຂະບວນການ

ວັດສະດຸທີ່ແຕກຕ່າງກັນມີຄວາມທົນທານຕໍ່ຄວາມຮ້ອນທີ່ແຕກຕ່າງກັນຢ່າງຫຼວງຫຼາຍ:

ແກ້ວ ແລະ ໂລຫະທີ່ມີໜ້າຕ່າງອຸນຫະພູມກວ້າງ

ຊັ້ນຮອງໂພລີເມີ (PC, ABS, PMMA) ມີຂອບຄວາມຮ້ອນແຄບ

ການຄຸ້ມຄອງອຸນຫະພູມທີ່ບໍ່ຖືກຕ້ອງອາດຈະສົ່ງຜົນໃຫ້ເກີດ:

ການຜິດຮູບແບບຄວາມຮ້ອນ

ຄວາມເຂັ້ມຂຸ້ນຂອງຄວາມກົດດັນພື້ນຜິວ

ຄວາມລົ້ມເຫຼວຂອງການປະກອບທາງລຸ່ມ

3. ສາເຫດທົ່ວໄປຂອງຄວາມບໍ່ໝັ້ນຄົງຂອງອຸນຫະພູມໃນລະຫວ່າງການເຄືອບ
3.1 ພາລະຄວາມຮ້ອນທີ່ເກີດຈາກພະລັງງານພລາສມາ ແລະ ພະລັງງານສະເປເຕີຣິງ

ໃນການສະເປເຕີຣິງແມກນີຕຣອນ, ຄວາມໜາແໜ້ນຂອງພະລັງງານສູງຈະເພີ່ມອຸນຫະພູມໜ້າດິນຂອງຊັ້ນວາງຢ່າງຫຼວງຫຼາຍ. ຖ້າບໍ່ມີການລະບາຍຄວາມຮ້ອນທີ່ພຽງພໍ, ຄວາມຮ້ອນເກີນບໍລິເວນອາດຈະເກີດຂຶ້ນ.

3.2 ການແຈກຢາຍອຸນຫະພູມທີ່ບໍ່ສະໝໍ່າສະເໝີເນື່ອງຈາກການອອກແບບການໂຫຼດ

ຄວາມໜາແໜ້ນຂອງການໂຫຼດຂອງພື້ນຜິວ, ຂະໜາດ ແລະ ການຕັ້ງຄ່າອຸປະກອນມີອິດທິພົນໂດຍກົງຕໍ່:

ການຖ່າຍໂອນຄວາມຮ້ອນແບບລັງສີ

ການແຈກຢາຍພລາສມາ

ຄວາມສະໝໍ່າສະເໝີຂອງອຸນຫະພູມ

3.3 ການຕອບສະໜອງທີ່ຊັກຊ້າຂອງລະບົບເຮັດຄວາມເຢັນ ແລະ ຄວບຄຸມອຸນຫະພູມ

ການອອກແບບວົງຈອນເຮັດຄວາມເຢັນທີ່ບໍ່ເໝາະສົມ ຫຼື ການຕອບສະໜອງການຄວບຄຸມອຸນຫະພູມຊ້າ ເພີ່ມຄວາມສ່ຽງຂອງຄວາມຮ້ອນເກີນ ແລະ ຄວາມບໍ່ໝັ້ນຄົງຂອງຂະບວນການ.

4. ຍຸດທະສາດວິສະວະກຳສຳລັບການຄວບຄຸມອຸນຫະພູມທີ່ມີປະສິດທິພາບ
4.1 ການຕິດຕາມກວດກາອຸນຫະພູມຂອງຊັ້ນໃຕ້ດິນທີ່ຖືກຕ້ອງ

ລະບົບຮັບຮູ້ອຸນຫະພູມຫຼາຍຈຸດ ແລະ ລະບົບການຕອບສະໜອງໃຫ້ການວັດແທກອຸນຫະພູມຂອງຊັ້ນຮອງພື້ນຕົວຈິງໃນເວລາຈິງ, ແທນທີ່ຈະອີງໃສ່ອຸນຫະພູມຫ້ອງຢ່າງດຽວ.

4.2 ການປະສານງານແບບວົງຈອນປິດລະຫວ່າງພະລັງງານ ແລະ ອຸນຫະພູມ

ການລວມເອົາພະລັງງານສະເປເຕີຣິ່ງ, ພາລາມິເຕີແຫຼ່ງໄອອອນ, ແລະ ການຄວບຄຸມອຸນຫະພູມຊ່ວຍໃຫ້ສາມາດດຸ່ນດ່ຽງອັດຕາການຕົກຕະກອນ ແລະ ພາລະຄວາມຮ້ອນໄດ້ຢ່າງຄ່ອງແຄ້ວ.

4.3 ການຄຸ້ມຄອງຄວາມຮ້ອນທີ່ດີທີ່ສຸດຂອງອຸປະກອນ ແລະ ຕົວນຳ

ວັດສະດຸທີ່ນຳຄວາມຮ້ອນສູງ ແລະ ການອອກແບບພື້ນທີ່ສຳຜັດທີ່ດີທີ່ສຸດຊ່ວຍເພີ່ມປະສິດທິພາບການຖ່າຍໂອນຄວາມຮ້ອນ ແລະ ຫຼຸດຜ່ອນຈຸດຮ້ອນໃນທ້ອງຖິ່ນ.

4.4 ການວາງຊັ້ນແບບແບ່ງສ່ວນ ແລະ ກົນລະຍຸດການບັບເຟີຄວາມຮ້ອນ

ການຝາກຫຼາຍຂັ້ນຕອນ, ການເພີ່ມພະລັງງານ, ແລະ ການເຮັດຄວາມເຢັນລະດັບປານກາງຈະສະກັດກັ້ນຜົນກະທົບຄວາມຮ້ອນທີ່ສະສົມໄດ້ຢ່າງມີປະສິດທິພາບ.

5. ສະຫຼຸບ

ການຄວບຄຸມອຸນຫະພູມບໍ່ແມ່ນການຕັ້ງຄ່າອຸປະກອນດຽວ, ແຕ່ເປັນສາຂາວິຊາວິສະວະກຳລະດັບລະບົບທີ່ກວມເອົາການອອກແບບຂະບວນການ, ສະຖາປັດຕະຍະກຳອຸປະກອນ ແລະ ການຄວບຄຸມອັດຕະໂນມັດ.
ໃນການນຳໃຊ້ທີ່ຕ້ອງການຄວາມສອດຄ່ອງ ແລະ ຄວາມໜ້າເຊື່ອຖືສູງ, ການຄຸ້ມຄອງອຸນຫະພູມທີ່ໝັ້ນຄົງ, ສາມາດຄວບຄຸມໄດ້ ແລະ ສາມາດເຮັດຊ້ຳໄດ້ ໄດ້ກາຍເປັນຕົວຊີ້ບອກທີ່ສຳຄັນຂອງຄວາມສຳເລັດຂອງຂະບວນການເຄືອບສູນຍາກາດ ແລະ ຄວາມສາມາດຂອງອຸປະກອນ.

- ບົດຄວາມນີ້ຖືກເຜີຍແຜ່ໂດຍ ອຸປະກອນເຄືອບສູນຍາກາດ ຜູ້ຜະລິດເຄື່ອງດູດຝຸ່ນ Zhenhua