Yêu cầu về môi trường đối với thiết bị phủ chân không

Từthiết bị phủ chân khônghoạt động trong điều kiện chân không, thiết bị phải đáp ứng các yêu cầu về chân không đối với môi trường. Các tiêu chuẩn công nghiệp cho các loại thiết bị phủ chân không khác nhau được xây dựng ở nước tôi (bao gồm các điều kiện kỹ thuật chung cho thiết bị phủ chân không, thiết bị phủ ion chân không, thiết bị phủ phun chân không và thiết bị phủ bốc hơi chân không) đã quy định rõ ràng các yêu cầu về môi trường. Chỉ bằng cách đáp ứng các yêu cầu về môi trường của thiết bị phủ chân không, thiết bị mới có thể hoạt động bình thường và với quy trình phủ chính xác, mới có thể sản xuất ra các sản phẩm phủ đủ tiêu chuẩn.

Yêu cầu của môi trường chân không thường bao gồm các yêu cầu của thiết bị chân không đối với môi trường xung quanh như nhiệt độ của phòng thí nghiệm (hoặc xưởng), lợi nhuận ít ỏi trong không khí và các yêu cầu đối với các bộ phận hoặc bề mặt ở trạng thái chân không hoặc trong chân không. Hai khía cạnh này có liên quan chặt chẽ với nhau. Chất lượng của môi trường xung quanh ảnh hưởng trực tiếp đến việc sử dụng bình thường của thiết bị chân không và việc buồng chân không của thiết bị chân không hoặc các bộ phận được nạp trong đó có được làm sạch hay không ảnh hưởng trực tiếp đến hiệu suất của thiết bị. Nếu không khí chứa nhiều hơi nước và bụi, và buồng chân không chưa được làm sạch, rất khó để đạt được độ chân không mong muốn bằng cách sử dụng bơm cơ học kín dầu để bơm không khí. Như chúng ta đã biết, bơm cơ học kín dầu không phù hợp để bơm các loại khí ăn mòn kim loại, phản ứng hóa học với dầu chân không và chứa bụi dạng hạt. Hơi nước là khí ngưng tụ. Khi bơm bơm ra một lượng lớn khí ngưng tụ, ô nhiễm dầu bơm sẽ nghiêm trọng hơn. Kết quả là, độ chân không cuối cùng của bơm sẽ giảm và hiệu suất bơm của bơm sẽ bị phá hủy.

Điều kiện làm việc bình thường của thiết bị phủ chân không là:

① Nhiệt độ môi trường 10~30℃;

② Độ ẩm tương đối không quá 70%;

③ Nhiệt độ nước làm mát đầu vào không cao hơn 25°C;

④ Chất lượng nước làm mát Nước máy thành phố hoặc nước có chất lượng tương đương;

⑤Điện áp cung cấp điện: 380V, ba pha 50Hz hoặc 220V, một pha 50Hz (tùy thuộc vào nhu cầu của các thiết bị điện sử dụng), phạm vi dao động điện áp 342~399V hoặc 198~231V, phạm vi dao động tần số 49~51Hz;

⑥Áp suất, nhiệt độ và mức tiêu thụ phải được ghi rõ trong hướng dẫn sử dụng sản phẩm;

⑦ Môi trường xung quanh thiết bị sạch sẽ, không khí sạch sẽ, không có bụi hoặc khí có thể gây ăn mòn bề mặt các thiết bị điện và các bộ phận kim loại khác hoặc gây ra hiện tượng dẫn điện giữa các kim loại.

Ngoài ra, phòng thí nghiệm hoặc xưởng nơi đặt thiết bị phủ chân không phải được giữ sạch sẽ và vệ sinh. Sàn là sàn đá mài hoặc sàn gỗ sơn, không có bụi. Để ngăn khí thải từ bơm cơ học gây ô nhiễm môi trường phòng thí nghiệm, có thể sử dụng tại cửa xả của bơm. Lắp ống xả (ống kim loại, ống cao su) trên bề mặt để xả khí ra bên ngoài.