1. Vizual qabul qilishdan muhandislik tekshiruvigacha
In vakuumli qoplama qo'llanmalari, qoplama qatlamining malakali ekanligini aniqlash hech qachon faqat vizual tekshirishga tayanmasligi kerak.
Ommaviy ishlab chiqarish uchun mos qoplama o'lchanadigan, takrorlanadigan va kuzatiladigan muhandislik mezonlari yordamida baholanishi kerak.
Optik, dekorativ yoki funktsional qoplamalar bo'ladimi, malaka odatda beshta asosiy baholash o'lchovlarini o'z ichiga oladi.
2. Vizual ko'rinish va sirt yaxlitligi
2.1 Sirtning bir xilligi va nuqsonlarni tekshirish
Malakali qoplama qatlami quyidagilarni ko'rsatishi kerak:
Bir xil rang va porlash
Ko'rinadigan zarrachalar, teshiklar, chiziqlar yoki soyalar yo'q
Po'stloqlanish, po'stloqlanish yoki mahalliy rang o'zgarishi yo'q
Umumiy tekshirish usullari quyidagilarni o'z ichiga oladi:
Standartlashtirilgan yoritish ostida vizual tekshirish
Yuzaki mikroskopiya (optik mikroskopiya / SEM)
3. Plyonka qalinligi va bir xillikni nazorat qilish
3.1 Qalinlik aniqligi
Plyonka qalinligi dizayn xususiyatlari va bardoshliklarga javob berishi kerak. Umumiy o'lchash usullari quyidagilarni o'z ichiga oladi:
Kvarts kristallarini monitoring qilish (QCM)
Profilometriya
Ellipsometriya
3.2 Qalinlikning bir xilligi
Katta maydon yoki partiyali qoplama uchun qalinlikning bir xilligi ishlashning izchilligiga bevosita ta'sir qiladi.
Bir xillik odatda maksimal og'ish yoki standart og'ish (σ) yordamida baholanadi.
4. Yelimlash va yuzalararo bog'lanish kuchi
4.1 Yopishqoqlik sinov usullari
Yopishishni baholashning keng tarqalgan usullari quyidagilarni o'z ichiga oladi:
Kesish sinovi
Lentani tozalash sinovi
Tirnoq sinovi
Yetarlicha yopishmaslik quyidagilarga olib kelishi mumkin:
Mahalliy delaminatsiya
Termal sikl yoki mexanik stress ostida ishlamay qolish
5. Funktsional samaradorlikni tekshirish
5.1 Optik ishlash (optik qoplamalar uchun)
Shu jumladan:
Ko'rinadigan yorug'likni aks ettirish / o'tkazuvchanlik
Sinish indeksi va spektral barqarorlik
Rang farqi (ΔE)
5.2 Elektr va funktsional xususiyatlar (funktsional qoplamalar uchun)
Shu jumladan:
Plitalar qarshiligi yoki sirt qarshiligi
Supero'tkazuvchilar yoki izolyatsiyalash xususiyatlari
Himoya yoki korroziyaga chidamlilik
6. Atrof-muhitning ishonchliligi va chidamliligini sinovdan o'tkazish
Malakali qoplamalar quyidagi kabi amaliy ishonchlilik sinovlariga bardosh berishi kerak:
Yuqori harorat va yuqori namlik sinovlari (85°C / 85% nisbiy namlik)
Termal sikl
UV qarishi
Aşınma va aşınma sinovlari
Sinovdan so'ng, qoplamalar quyidagilarni ko'rsatishi kerak:
Rangning sezilarli o'zgarishi yo'q
Ishlash qobiliyatining pasayishi yo'q
Strukturaviy nosozlik yo'q
7. Ommaviy ishlab chiqarishning izchilligi va jarayonning barqarorligi
Chinakam "malakali" qoplama nafaqat bitta ishda qabul qilinadi, balki quyidagilarni ham namoyish etadi:
Partiyadan partiyaga muvofiqlik
Jarayonning takrorlanishi
To'liq jarayonni kuzatish imkoniyati
Bunga odatda quyidagilar orqali erishiladi:
Yopiq tsiklli jarayonni boshqarish
Avtomatlashtirilgan retseptlarni boshqarish
Jarayon monitoringi va SPC tahlili
8. Xulosa
Qoplama qatlamining malakali ekanligini aniqlash, asosan, plyonka tuzilishi, ishlashi va jarayon barqarorligini har tomonlama baholashdir.
Faqat standartlashtirilgan va ma'lumotlarga asoslangan sifat mezonlarini o'rnatish orqali vakuumli qoplama jarayonlari kengaytiriladigan, barqaror va yuqori ishonchli ishlab chiqarishga erishishi mumkin.
–Ushbu maqola nashr etilganvakuumli qoplama uskunalariishlab chiqaruvchi Zhenhua vakuum
Nashr vaqti: 2025-yil 23-dekabr