1. Визуалды қабылдаудан инженерлік тексеруге дейін
In вакуумдық жабынды қолдану, жабын қабатының жарамдылығын анықтау ешқашан тек визуалды тексеруге ғана сүйенбеуі керек.
Жаппай өндіріске жарамды жабынды өлшенетін, қайталанатын және бақыланатын инженерлік критерийлер бойынша бағалау керек.
Оптикалық, сәндік немесе функционалды жабындар болсын, біліктілік әдетте бес негізгі бағалау өлшемін қамтиды.
2. Көрнекі көрініс және беттің тұтастығы
2.1 Беттің біркелкілігі және ақауларды тексеру
Білікті жабын қабаты мыналарды көрсетуі керек:
Біркелкі түс және жылтырлық
Көрінетін бөлшектер, тесіктер, жолақтар немесе көлеңкелер жоқ
Қабыршақтану, қабыршақтану немесе жергілікті түссіздену жоқ
Жалпы тексеру әдістеріне мыналар жатады:
Стандартталған жарықтандыру кезінде визуалды тексеру
Беттік микроскопия (оптикалық микроскопия / SEM)
3. Пленка қалыңдығы мен біркелкілігін бақылау
3.1 Қалыңдықтың дәлдігі
Қабықша қалыңдығы жобалау сипаттамалары мен рұқсат етілген мәндерге сәйкес келуі керек. Жалпы өлшеу әдістеріне мыналар жатады:
Кварц кристалдарын бақылау (QCM)
Профилометрия
Эллипсометрия
3.2 Қалыңдықтың біркелкілігі
Үлкен аумақты немесе топтық жабын үшін қалыңдықтың біркелкілігі өнімділіктің тұрақтылығына тікелей әсер етеді.
Біркелкілік әдетте максималды ауытқу немесе стандартты ауытқу (σ) арқылы бағаланады.
4. Адгезия және бетаралық байланыс беріктігі
4.1 Адгезияны тексеру әдістері
Адгезияны бағалаудың кең таралған әдістеріне мыналар жатады:
Көлденең кесу сынағы
Таспаны аршу сынағы
Сызық сынағы
Жеткіліксіз адгезия мыналарға әкелуі мүмкін:
Жергілікті деламинация
Термиялық цикл немесе механикалық кернеу кезіндегі ақаулық
5. Функционалдық өнімділікті тексеру
5.1 Оптикалық өнімділік (оптикалық жабындар үшін)
Соның ішінде:
Көрінетін жарықтың шағылысу/өткізгіштігі
Сыну көрсеткіші және спектрлік тұрақтылық
Түс айырмашылығы (ΔE)
5.2 Электрлік және функционалдық қасиеттер (функционалдық жабындар үшін)
Соның ішінде:
Қағаз кедергісі немесе беттік кедергі
Өткізгіш немесе оқшаулағыш өнімділік
Қорғаныс немесе коррозияға төзімділік
6. Қоршаған ортаға сенімділік пен беріктік сынағы
Білікті жабындар келесідей қолдануға тән сенімділік сынақтарына төтеп беруі керек:
Жоғары температура мен жоғары ылғалдылықта сынау (85°C / 85% ылғалдылық)
Термиялық цикл
УК қартаюы
Тозу және абразия сынағы
Сынақтан кейін жабындар мыналарды көрсетуі керек:
Түстің айтарлықтай өзгерісі жоқ
Өнімділіктің төмендеуі жоқ
Құрылымдық ақаулық жоқ
7. Жаппай өндірістің тұрақтылығы және процестің тұрақтылығы
Шынымен «білікті» жабын бір рет қолдануда ғана қабылданып қоймай, сонымен қатар мыналарды көрсетеді:
Топтамадан топтамаға сәйкестік
Процестің қайталанымдылығы
Толық процесті бақылау мүмкіндігі
Бұған әдетте мыналар арқылы қол жеткізіледі:
Тұйық циклді процесті басқару
Автоматтандырылған рецепт басқаруы
Процесті бақылау және SPC талдауы
8. Қорытынды
Жабын қабатының жарамдылығын анықтау, негізінен, пленка құрылымын, өнімділігін және процестің тұрақтылығын кешенді бағалау болып табылады.
Вакуумдық жабын процестері масштабталатын, тұрақты және жоғары сенімді өндіріске стандартталған және деректерге негізделген сапа критерийлерін белгілеу арқылы ғана қол жеткізе алады.
– Бұл мақаланы жариялағанвакуумдық жабын жабдықтарыөндіруші Zhenhua шаңсорғышы
Жарияланған уақыты: 2025 жылғы 23 желтоқсан