Бүрхүүл давхарга нь шаардлага хангасан эсэхийг хэрхэн тодорхойлох вэ

1. Харааны хүлээн зөвшөөрөлтөөс инженерийн баталгаажуулалт хүртэл

In вакуум бүрэх хэрэглээ, бүрэх давхарга нь шаардлага хангасан эсэхийг тодорхойлохдоо зөвхөн харааны үзлэгт хэзээ ч найдах ёсгүй.
Массын үйлдвэрлэлд тохиромжтой бүрхүүлийг хэмжигдэхүйц, давтагдах, мөрдөх боломжтой инженерийн шалгуурыг ашиглан үнэлэх ёстой.

Оптик, гоёл чимэглэлийн эсвэл функциональ бүрхүүлээс үл хамааран мэргэшлийн шаардлага нь ихэвчлэн үнэлгээний таван гол хэмжүүрийг хамардаг.

2. Харагдах байдал ба гадаргуугийн бүрэн бүтэн байдал
2.1 Гадаргуугийн жигд байдал ба согогийн үзлэг

Мэргэшсэн бүрэх давхарга нь дараахь зүйлийг харуулах ёстой.

Нэг жигд өнгө ба гялбаа

Харагдахуйц бөөмс, нүх, зураас, сүүдэр байхгүй

Хальслах, хальслах, эсвэл хэсэг газрын өнгө өөрчлөгдөхгүй

Шалгалтын нийтлэг аргууд нь дараахь зүйлийг агуулдаг.

Стандартчилагдсан гэрэлтүүлгийн дор харааны хяналт

Гадаргуугийн микроскоп (оптик микроскоп / SEM)

3. Кино зузаан ба жигд байдлын хяналт
3.1 Зузаан нарийвчлал

Киноны зузаан нь дизайны үзүүлэлт болон хүлцэлийг хангасан байх ёстой. Нийтлэг хэмжилтийн аргуудад дараахь зүйлс орно.

Кварцын талстын хяналт (QCM)

Профилометр

Эллипсометр

3.2 Зузаан жигд байдал

Том талбай эсвэл багцаар бүрэхийн тулд зузааны жигд байдал нь гүйцэтгэлийн тогтвортой байдалд шууд нөлөөлдөг.
Нэгдмэл байдлыг ихэвчлэн хамгийн их хазайлт эсвэл стандарт хазайлт (σ) ашиглан үнэлдэг.

4. Наалдац ба гадаргуугийн холболтын бат бэх
4.1 Наалдамхай байдлын туршилтын аргууд

Наалдамхай байдлын үнэлгээний нийтлэг аргууд нь дараахь зүйлийг агуулдаг.

Хөндлөн огтлолын туршилт

Туузыг хуулах туршилт

Маажлагын тест

Хангалттай наалдахгүй байх нь дараахь зүйлийг үүсгэж болзошгүй.

Орон нутгийн ламинатжуулалт

Дулааны мөчлөг эсвэл механик стрессийн үед эвдрэл

5. Үйл ажиллагааны гүйцэтгэлийн баталгаажуулалт
5.1 Оптик гүйцэтгэл (оптик бүрхүүлийн хувьд)

Үүнд:

Харагдах гэрлийн ойлт / нэвтрүүлэлт

Хугарлын индекс ба спектрийн тогтвортой байдал

Өнгөний ялгаа (ΔE)

5.2 Цахилгаан ба функциональ шинж чанарууд (функциональ бүрхүүлийн хувьд)

Үүнд:

Хуудасны эсэргүүцэл эсвэл гадаргуугийн эсэргүүцэл

Цахилгаан дамжуулах эсвэл тусгаарлагч гүйцэтгэл

Бамбай эсвэл зэврэлтээс хамгаалах

6. Байгаль орчны найдвартай байдал ба бат бөх чанарын туршилт

Мэргэшсэн бүрхүүл нь дараах хэрэглээний найдвартай байдлын туршилтуудыг тэсвэрлэх ёстой:

Өндөр температур болон өндөр чийгшлийн туршилт (85°C / 85% чийгшил)

Дулааны мөчлөг

Хэт ягаан туяаны хөгшрөлт

Үрэлт ба элэгдлийн туршилт

Туршилтын дараа бүрхүүлүүд дараах зүйлийг харуулах ёстой.

Өнгөний мэдэгдэхүйц өөрчлөлт гараагүй

Гүйцэтгэлийн доройтол байхгүй

Бүтцийн эвдрэл байхгүй

7. Массын үйлдвэрлэлийн тогтвортой байдал ба үйл явцын тогтвортой байдал

Үнэхээр "чадварлаг" бүрхүүл нь зөвхөн нэг удаагийн хэрэглээнд хүлээн зөвшөөрөгдөхөөс гадна дараахь зүйлийг харуулж байна:

Багцаас багцад тогтвортой байдал

Процессын давтагдах чадвар

Бүрэн процессын хяналт

Үүнийг ихэвчлэн дараах байдлаар хэрэгжүүлдэг:

Хаалттай гогцооны процессын хяналт

Автоматжуулсан жорын менежмент

Процессын хяналт ба SPC шинжилгээ

8. Дүгнэлт

Бүрхүүл давхарга нь шаардлага хангасан эсэхийг тодорхойлох нь үндсэндээ хальсны бүтэц, гүйцэтгэл, процессын тогтвортой байдлын цогц үнэлгээ юм.
Зөвхөн стандартчилагдсан, өгөгдөлд суурилсан чанарын шалгуурыг тогтоосноор л вакуум бүрэх процессууд нь өргөтгөх боломжтой, тогтвортой, өндөр найдвартай үйлдвэрлэлд хүрч чадна.

-Энэ нийтлэлийг нийтэлсэнвакуум бүрэх тоног төхөөрөмжүйлдвэрлэгч Zhenhua тоос сорогч