1. Визуаль кабул итүдән алып инженерлык тикшерүенә кадәр
In вакуум каплау кушымталары, каплау катламының яраклылыгын билгеләү беркайчан да визуаль тикшерүгә генә таянырга тиеш түгел.
Күпләп җитештерү өчен яраклы каплау үлчәнә торган, кабатлана торган һәм күзәтелә торган инженерлык критерийлары ярдәмендә бәяләнергә тиеш.
Оптик, декоратив яки функциональ капламалар булсынмы, квалификация гадәттә биш төп бәяләү үлчәмен үз эченә ала.
2. Визуаль күренеш һәм өслекнең бөтенлеге
2.1 Өслекнең бердәмлеге һәм кимчелекләрне тикшерү
Квалификацияле каплау катламы түбәндәгеләрне күрсәтергә тиеш:
Бердәм төс һәм ялтыравык
Күренмәле кисәкчәләр, тишекләр, сызыклар яки күләгәләр юк
Кабыкланмый, кабырчыкланмый яки локаль төс үзгәрми
Гомуми тикшерү ысулларына түбәндәгеләр керә:
Стандартлаштырылган яктырту астында визуаль тикшерү
Өслек микроскопиясе (оптик микроскопия / SEM)
3. Пленка калынлыгын һәм бердәмлеген контрольдә тоту
3.1 Калынлык төгәллеге
Пленка калынлыгы проект таләпләренә һәм чыдамлылык таләпләренә туры килергә тиеш. Гадәти үлчәү ысулларына түбәндәгеләр керә:
Кварц кристалларын күзәтү (QCM)
Профилометрия
Эллипсометрия
3.2 Калынлыкның бердәмлеге
Зур мәйданлы яки партияле каплау өчен, калынлыкның бердәмлеге турыдан-туры эшчәнлекнең тотрыклылыгына тәэсир итә.
Бердәйлек гадәттә максималь тайпылыш яки стандарт тайпылыш (σ) ярдәмендә бәяләнә.
4. Ябышу һәм битара бәйләнеш көче
4.1 Ябышуны тикшерү ысуллары
Ябышуны бәяләүнең киң таралган ысулларына түбәндәгеләр керә:
Кисешкән сынау
Тасманы чистарту тесты
Сызып тикшерү
Ябышу җитәрлек булмаса, түбәндәгеләргә китерергә мөмкин:
Локаль деламинация
Термик цикл яки механик көчәнеш астында ватылу
5. Функциональ эшчәнлекне тикшерү
5.1 Оптик эшчәнлек (оптик капламалар өчен)
Шул исәптән:
Күренмә яктылыкны чагылдыру / үткәрүчәнлек
Сыну күрсәткече һәм спектраль тотрыклылык
Төс аермасы (ΔE)
5.2 Электр һәм функциональ үзлекләр (функциональ капламалар өчен)
Шул исәптән:
Каптама каршылыгы яки өслек каршылыгы
Үткәргеч яки изоляцияләүче сыйфат
Экранлау яки коррозиягә чыдамлык
6. Әйләнә-тирә мохиткә ышанычлылык һәм ныклык сынаулары
Квалификацияле капламалар куллануга бәйле ышанычлылык сынауларына чыдам булырга тиеш, мәсәлән:
Югары температура һәм югары дымлылык сынаулары (85°C / 85% ныграк һава торышы)
Термик цикл
Ультрафиолет картаюы
Абразия һәм тузу сынаулары
Сынаудан соң, капламалар түбәндәгеләрне күрсәтергә тиеш:
Төс үзгәреше сизелерлек түгел
Эшчәнлекнең начарлануы юк
Конструктив җимерелү юк
7. Күпләп җитештерү тотрыклылыгы һәм процесс тотрыклылыгы
Чыннан да "сыйфатлы" каплау бер тапкыр куллану өчен генә түгел, ә түбәндәгеләрне дә күрсәтә:
Бер партиядән икенче партиягә тотрыклылык
Процесс кабатланырлык
Процессны тулысынча күзәтеп бару мөмкинлеге
Моңа гадәттә түбәндәгеләр аша ирешелә:
Ябык цикллы процесс белән идарә итү
Автоматлаштырылган рецептлар белән идарә итү
Процесс мониторингы һәм SPC анализы
8. Йомгаклау
Каплау катламының квалификацияле булуын билгеләү, нигездә, пленка структурасын, эшчәнлеген һәм процесс тотрыклылыгын комплекслы бәяләүдән гыйбарәт.
Вакуум каплау процесслары масштабланырлык, тотрыклы һәм югары ышанычлы җитештерүгә стандартлаштырылган һәм мәгълүматларга нигезләнгән сыйфат критерийларын билгеләү аша гына ирешә ала.
–Бу мәкалә бастырып чыгарылганвакуум каплау җиһазларыҗитештерүче Zhenhua Powder
Бастырып чыгару вакыты: 2025 елның 23 декабре