1. Аз қабули визуалӣ то тасдиқи муҳандисӣ
In барномаҳои пӯшиши вакуумӣ, муайян кардани он, ки оё қабати рӯйпӯш мувофиқ аст ё не, ҳеҷ гоҳ набояд танҳо ба санҷиши визуалӣ такя кунад.
Рӯйпӯше, ки барои истеҳсоли оммавӣ мувофиқ аст, бояд бо истифода аз меъёрҳои муҳандисии ченшаванда, такроршаванда ва пайгирӣшаванда арзёбӣ карда шавад.
Новобаста аз он ки пӯшишҳои оптикӣ, ороишӣ ё функсионалӣ мебошанд, тахассус одатан панҷ андозаи асосии арзёбиро дар бар мегирад.
2. Намуди зоҳирӣ ва якпорчагии сатҳ
2.1 Якрангии сатҳ ва санҷиши нуқсонҳо
Қабати пӯшиши босифат бояд нишон диҳад:
Ранг ва дурахши якхела
Зарраҳои намоён, сӯрохиҳои пиндор, рахҳо ё сояафканӣ нестанд
Пӯстрезӣ, порашавӣ ё тағйирёбии маҳаллии ранг вуҷуд надорад
Усулҳои маъмули санҷиш иборатанд аз:
Санҷиши визуалӣ таҳти равшании стандартӣ
Микроскопияи сатҳӣ (микроскопияи оптикӣ / SEM)
3. Назорати ғафсӣ ва якрангии плёнка
3.1 Дақиқии ғафсӣ
Ғафсии плёнка бояд ба мушаххасоти тарроҳӣ ва таҳаммулпазирӣ ҷавобгӯ бошад. Усулҳои маъмули андозагирӣ инҳоянд:
Мониторинги кристаллҳои кварс (QCM)
Профилометрия
Эллипсометрия
3.2 Якрангии ғафсӣ
Барои пӯшиши масоҳати калон ё якхела, якрангии ғафсӣ мустақиман ба устувории иҷрои кор таъсир мерасонад.
Якрангӣ одатан бо истифода аз инҳирофи ҳадди аксар ё инҳирофи стандартӣ (σ) арзёбӣ карда мешавад.
4. Мустаҳкамии часпидан ва мустаҳкамии пайванди байнисатҳӣ
4.1 Усулҳои санҷиши часпакӣ
Усулҳои маъмули арзёбии часпакӣ инҳоянд:
Санҷиши буриши салибӣ
Санҷиши пӯст кардани лента
Санҷиши харошидан
Набудани часпак метавонад боиси инҳо гардад:
Деламинатсияи маҳаллӣ
Нокомӣ дар зери таъсири даври гармӣ ё фишори механикӣ
5. Тасдиқи фаъолияти функсионалӣ
5.1 Иҷрои оптикӣ (барои рӯйпӯшҳои оптикӣ)
Аз ҷумла:
Инъикоси нури намоён / гузариш
Индекси шикаст ва устувории спектралӣ
Фарқияти ранг (ΔE)
5.2 Хусусиятҳои барқӣ ва функсионалӣ (барои рӯйпӯшҳои функсионалӣ)
Аз ҷумла:
Муқовимати варақ ё муқовимати сатҳӣ
Иҷрои ноқилӣ ё изолятсия
Муқовимат ба муҳофизат ё зангзанӣ
6. Санҷиши эътимоднокӣ ва устувории экологӣ
Рӯйпӯшҳои мувофиқ бояд ба озмоишҳои эътимоднокии мушаххаси барнома тоб оранд, ба монанди:
Санҷиши ҳарорати баланд ва намӣ (85°C / 85% RH)
Сикли гармӣ
пиршавии ултрабунафш
Санҷиши фарсудашавӣ ва фарсудашавӣ
Пас аз санҷиш, рӯйпӯшҳо бояд нишон диҳанд:
Тағйироти назарраси ранг вуҷуд надорад
Пастшавии самаранокӣ вуҷуд надорад
Ҳеҷ гуна нокомии сохторӣ вуҷуд надорад
7. Устувории истеҳсоли оммавӣ ва устувории равандҳо
Пӯшиши воқеан "босифат" на танҳо дар як давр қобили қабул аст, балки инчунин нишон медиҳад:
Мутобиқати гурӯҳ ба гурӯҳ
Такрорпазирии раванд
Пайгирии пурраи раванд
Ин одатан тавассути инҳо ба даст оварда мешавад:
Назорати раванди ҳалқаи пӯшида
Идоракунии автоматии дорухатҳо
Мониторинги раванд ва таҳлили SPC
8. Хулоса
Муайян кардани он, ки оё қабати рӯйпӯш мувофиқ аст ё не, асосан арзёбии ҳамаҷонибаи сохтори филм, самаранокӣ ва устувории раванд мебошад.
Танҳо бо роҳи муқаррар кардани меъёрҳои стандартикунонидашудаи сифат ва бар асоси маълумот, равандҳои пӯшонидани вакуумӣ метавонанд ба истеҳсоли миқёспазир, устувор ва хеле боэътимод ноил шаванд.
- Ин мақола аз ҷониби нашр шудаасттаҷҳизоти пӯшонидани вакуумӣистеҳсолкунанда чангкашаки Zhenhua
Вақти нашр: 23 декабри соли 2025