جمع کرنے کی شرح اور فلم پرت کے معیار کے درمیان تعلق؟

ویکیوم کوٹنگ (ویکیوم کوٹنگ) کے عمل میں، جمع کرنے کی شرح بنیادی پیرامیٹرز میں سے ایک ہے جو پروڈکشن کی کارکردگی اور فلم کی خصوصیات دونوں کا تعین کرتا ہے۔ تاہم، ضرورت سے زیادہ یا کم جمع کرنے کی شرح فلم کے معیار کو براہ راست متاثر کر سکتی ہے، اس طرح کوٹنگ کی آپٹیکل، برقی اور مکینیکل خصوصیات کو متاثر کرتی ہے۔ شرح اور معیار کے درمیان صحیح توازن تلاش کرنا پتلی فلم کے عمل کی اصلاح کا ایک اہم عنصر ہے۔

1. جمع کرنے کی شرح کا بنیادی تصور

جمع کرنے کی شرح کو عام طور پر nm/s یا Å/s میں ظاہر کیا جاتا ہے، جو فی یونٹ وقت کے سبسٹریٹ پر جمع فلم کی موٹائی کو ظاہر کرتا ہے۔ کئی عوامل جمع ہونے کی شرح کو متاثر کرتے ہیں، بشمول:

ویکیوم لیول: پس منظر کا زیادہ دباؤ ذرات کے بکھرنے کو بڑھاتا ہے، مؤثر جمع کو کم کرتا ہے۔

انرجی ان پٹ: وانپیکرن ذرائع کی حرارتی طاقت یا میگنیٹران اہداف کا کرنٹ پھٹنے کی شرح کا تعین کرتا ہے۔

گیس کے بہاؤ پر عمل کریں: رد عمل سے پھٹنے میں، گیس کا ارتکاز براہ راست جمع ہونے کی شرح کو متاثر کرتا ہے۔

2. جمع کرنے کی شرح اور فلم کے معیار کو جوڑنے کا طریقہ کار

بہت زیادہ شرح کے اثرات:

کم فلمی کثافت: زیادہ جمع ہونے کی شرح پر، ایٹموں یا مالیکیولز کی سطح کی نقل و حرکت ناکافی ہوتی ہے، جس کی وجہ سے غیر محفوظ ڈھانچے ہوتے ہیں۔

تناؤ اور چپکنے کے مسائل: تیزی سے جمع ہونا اندرونی تناؤ کو مرتکز کرتا ہے، جس سے چپکنے والی طاقت کم ہوتی ہے۔

نظری تغیر: موٹائی پر قابو پانے کی درستگی کم ہو جاتی ہے، جس سے ریفریکٹیو انڈیکس یا ٹرانسمیٹینس میں انحراف ہوتا ہے۔

ضرورت سے زیادہ کم شرح کے اثرات:

کم پیداواری: توسیعی جمع کرنے کا وقت بڑے رقبے والے ذیلی ذخیروں کے لیے تھرو پٹ کو کم کرتا ہے۔

آلودگی کا بڑھتا ہوا خطرہ: لمبا ذخیرہ کرنے کا وقت بقایا گیس یا ناپاکی کے شامل ہونے کا امکان بڑھاتا ہے۔

غیر معمولی اناج کی نشوونما: کچھ مواد میں، ضرورت سے زیادہ سست جمع ہونا سطح کی کھردری کو بڑھا سکتا ہے۔

بہترین جمع ونڈو:
ایک اعتدال پسند جمع کی شرح فلم کی کثافت، تناؤ پر قابو پانے، اور موٹائی کی یکسانیت کو متوازن کرتی ہے۔ عملی طور پر، ریٹ کیلیبریشن اور کوارٹز کرسٹل مانیٹرنگ (QCM) کو درست کنٹرول حاصل کرنے کے لیے استعمال کیا جاتا ہے۔

3. مختلف عملوں میں ریٹ کنٹرول

حرارتی بخارات: ضرورت سے زیادہ شرح چھڑکنے اور ذرات کے نقائص کا سبب بن سکتی ہے۔ بخارات کی شرح کو منظم کرنے کے لیے مرحلہ وار درجہ حرارت کا کنٹرول استعمال کیا جاتا ہے۔

Magnetron Sputtering: شرح ہدف طاقت اور گیس کے بہاؤ سے متاثر ہوتی ہے، جس کے لیے ہدف کے استعمال اور فلم کی یکسانیت کے درمیان توازن کی ضرورت ہوتی ہے۔

ری ایکٹیو سپٹرنگ: ڈپازیشن ریٹ کا ٹارگٹ پوائزننگ سے گہرا تعلق ہے، بند لوپ کنٹرول کی ضرورت ہے۔

4. صنعت میں عملی ایپلی کیشنز

آپٹیکل کوٹنگ میں، ریٹ کنٹرول ریفریکٹیو انڈیکس اور مداخلت کے رنگ کی درستگی کو براہ راست متاثر کرتا ہے۔

سیمی کنڈکٹر پتلی فلموں میں، ضرورت سے زیادہ شرح مزاحمتی انحراف کا سبب بن سکتی ہے، جس سے ڈیوائس کی کارکردگی متاثر ہوتی ہے۔

آرائشی ملعمع کاری میں، بڑے رقبے کی پیداوار کے لیے، یکسانیت کو یقینی بناتے ہوئے اعتدال پسند شرح میں اضافہ اپنایا جاتا ہے۔

نتیجہ

جمع کرنے کی شرح فلم کے معیار سے گہرا تعلق رکھتی ہے: بہت تیز رفتار کثافت اور چپکنے سے سمجھوتہ کرتی ہے، جبکہ بہت سست کارکردگی کو کم کرتی ہے اور آلودگی کا خطرہ بڑھاتی ہے۔ آپٹیکل، الیکٹرانک اور آرائشی ایپلی کیشنز کی ضروریات کو پورا کرتے ہوئے، صرف درست شرح کنٹرول اور عمل کی اصلاح کے ذریعے کارکردگی اور معیار کے درمیان ایک بہترین توازن حاصل کیا جا سکتا ہے۔

-یہ مضمون شائع کیا گیا تھا۔ ویکیوم کوٹنگ کا سامان صنعت کار Zhenhua ویکیوم