Di pêvajoyên pêçandina valahiyê (Vacuum Coating) de, rêjeya danînê yek ji parametreyên bingehîn e ku hem karîgeriya hilberînê û hem jî taybetmendiyên fîlmê diyar dike. Lêbelê, rêjeyên depokirinê yên pir zêde an jî kêm dikarin rasterast bandorê li ser kalîteya fîlmê bikin, bi vî rengî bandorê li taybetmendiyên optîkî, elektrîkî û mekanîkî yên pêçanê bikin. Dîtina hevsengiya rast di navbera rêjeyê û kalîteyê de faktorek sereke ye di baştirkirina pêvajoya fîlma zirav de.
1. Têgeha bingehîn a rêjeya danîna madeyan
Rêjeya danînê bi gelemperî bi nm/s an Å/s tê îfadekirin, ku qalindahiya fîlmê ku li ser substratê di yekîneya demê de tê danîn nîşan dide. Çend faktor bandorê li rêjeya danînê dikin, di nav wan de:
Asta Valahîyê: Zeexta paşxaneyê ya bilindtir belavbûna perçeyan zêde dike, û depoya bi bandor kêm dike.
Têketina Enerjiyê: Hêza germkirinê ya çavkaniyên buharbûnê an jî herikîna hedefên magnetronê rêjeya sputterkirinê diyar dike.
Herikîna Gaza Pêvajoyê: Di sputterkirina reaktîf de, konsantrasyona gazê rasterast bandorê li rêjeya depokirinê dike.
2. Mekanîzmayên ku Rêjeya Depozîsyonê û Kalîteya Fîlmê Bi hev ve girêdidin
Bandorên Rêjeya Pir Zêde:
Densiya Fîlmê Kêm: Di rêjeyên bilind ên depozîsyonê de, tevgera rûberî ya atom an molekulan têrê nake, ku dibe sedema avahiyên poroz.
Pirsgirêkên Stres û Çêlbûnê: Berhevkirina bilez stresa navxweyî kom dike û hêza zeliqandinê kêm dike.
Guherbariya Optîkî: Rastbûna kontrola qalindahiyê kêm dibe, û dibe sedema cûdahiyên di endeksa şikestinê an veguhestinê de.
Bandorên Rêjeya Pir Kêm:
Berhemdariya Kêm: Dema dirêjkirina danîna materyalê ji bo substratên rûbera mezin deravê kêm dike.
Zêdebûna Rîska Gemarîbûnê: Demên dirêjtir ên danînê îhtîmala tevlîbûna gaza mayî an nepakiyê zêde dike.
Mezinbûna Neasayî ya Dendikan: Di hin materyalan de, danîna pir hêdî dikare hişkiya rûyê zêde bike.
Pencereya Depozîtasyona Baştirîn:
Rêjeyeke nerm a danîna fîlmê tîrbûna fîlmê, kontrola stresê û yekrengiya qalindahiyê hevseng dike. Di pratîkê de, ji bo bidestxistina kontrola rast, kalibrkirina rêjeyê û Çavdêriya Krîstala Quartz (QCM) tê bikar anîn.
3. Kontrolkirina Rêjeyê di Pêvajoyên Cûda de
Buharbûna Germahî: Rêjeya zêde dikare bibe sedema rijandin û kêmasiyên perçeyan; kontrola germahiyê ya gav bi gav ji bo birêvebirina rêjeya buharbûnê tê bikar anîn.
Sprekirina Magnetronê: Rêje ji hêla hêza hedef û herikîna gazê ve tê bandorkirin, ku hewce dike ku di navbera karanîna hedef û yekrengiya fîlimê de hevsengiyek hebe.
Sprekirina Reaksiyonî: Rêjeya depozîsyonê bi jehrîbûna hedefê ve girêdayî ye, ku kontrola çerxa girtî pêwîst dike.
4. Bikaranînên Pratîkî di Pîşesaziyê de
Di pêçandina optîkî de, kontrola rêjeyê rasterast bandorê li ser endeksa şikestinê û rastbûna rengê destwerdanê dike.
Di fîlmên tenik ên nîvconductor de, rêjeya zêde dikare bibe sedema cûdahiyên berxwedanê, ku bandorê li performansa cîhazê dike.
Di pêçandinên xemilandî de, ji bo hilberîna rûbereke mezin, zêdebûna rêjeyên nerm têne pejirandin dema ku yekrengî tê misoger kirin.
Xelasî
Rêjeya danînê bi kalîteya fîlmê ve girêdayî ye: pir zû densite û zeliqandinê xirab dike, lê pir hêdî karîgeriyê kêm dike û xetera qirêjbûnê zêde dike. Tenê bi rêya kontrola rêjeya rastîn û çêtirkirina pêvajoyê dikare hevsengiyek çêtirîn di navbera karîgerî û kalîteyê de were bidestxistin, ku hewcedariyên sepanên optîkî, elektronîkî û xemilandinê bicîh bîne.
— Ev gotar ji hêla alavên boyaxkirina valahiyê hilberîner Zhenhua Vacuum
Dema şandinê: Mijdar-03-2025