Ann am pròiseasan còmhdach falamh (Còmhdach falamh), an ìre tasgaidh 'S e seo aon de na prìomh pharaimeatairean a tha a' dearbhadh èifeachdas cinneasachaidh agus feartan film. Ach, faodaidh ìrean tasgaidh ro àrd no ro ìosal buaidh dhìreach a thoirt air càileachd film, agus mar sin buaidh a thoirt air feartan optigeach, dealain agus meacanaigeach a' chòtaidh. Tha a bhith a' lorg a' chothromachaidh cheart eadar ìre agus càileachd na phrìomh fheart ann an leasachadh pròiseas film tana.
1. Bun-bheachd Ìre Tasgaidh
Mar as trice, bidh an ìre tasgaidh air a chur an cèill ann an nm/s no Å/s, a’ comharrachadh tiughas an fhilm a chaidh a thasgadh air an t-substrate gach aonad ùine. Bidh grunn nithean a’ toirt buaidh air an ìre tasgaidh, nam measg:
Ìre Falmhachaidh: Bidh cuideam cùl-fhiosrachaidh nas àirde a’ meudachadh sgapadh mìrean, a’ lughdachadh tasgadh èifeachdach.
Cuir a-steach Lùtha: Bidh cumhachd teasachaidh stòran falmhachaidh no sruth thargaidean magnetron a’ dearbhadh an ìre sputtering.
Sruth Gas Pròiseis: Ann an sputtering ath-ghnìomhach, bidh dùmhlachd gas a’ toirt buaidh dhìreach air an ìre tasgaidh.
2. Dòighean-obrach a tha a’ ceangal an ìre tasgaidh agus càileachd film
Buaidhean Ìre Ro-Àrd:
Dlùths Film Ìosal: Aig ìrean tasgaidh àrda, chan eil gluasad uachdar gu leòr aig dadaman no moileciuilean, agus mar thoradh air sin bidh structaran porous ann.
Cùisean Strus is Greamachaidh: Bidh cruinneachadh luath a’ cur cuideam a-staigh ri chèile, a’ lughdachadh neart greamachaidh.
Caochlaideachd Optaigeach: Bidh cruinneas smachd tighead a’ lùghdachadh, ag adhbhrachadh claonaidhean ann an clàr-amais ath-tharraingeach no tar-chuir.
Buaidhean Ìre Ro Ìosal:
Cinneasachd Ìosal: Bidh ùine tasgadh leudaichte a’ lughdachadh an toraidh airson fo-stratan mòra.
Cunnart Truailleadh nas motha: Bidh amannan tasgaidh nas fhaide ag àrdachadh coltachd gun tèid gas fuigheallach no neo-ghlainead a thoirt a-steach.
Fàs Gràin Neo-àbhaisteach: Ann an cuid de stuthan, faodaidh tasgadh ro shlaodach garbh-uachdar a mheudachadh.
Uinneag Tasgaidh as Fheàrr:
Bidh ìre tasgaidh meadhanach a’ cothromachadh dùmhlachd film, smachd cuideam, agus cunbhalachd tighead. Ann an cleachdadh, thathas a’ cleachdadh calabrachadh ìre agus Sgrùdadh Criostail Quartz (QCM) gus smachd mionaideach fhaighinn.
3. Smachd Ìrean ann am Pròiseasan Eadar-dhealaichte
Falmhachadh Teirmeach: Dh’fhaodadh cus ìre frasadh agus uireasbhaidhean mìrean adhbhrachadh; thathar a’ cleachdadh smachd teòthachd ceum air cheum gus an ìre falmhachaidh a riaghladh.
Sputtering Magnetron: Tha buaidh aig cumhachd an targaid agus sruthadh a’ ghasa air an ìre, agus mar sin feumar cothromachadh a dhèanamh eadar cleachdadh an targaid agus cunbhalachd an fhilm.
Sputtering ath-ghnìomhach: Tha an ìre tasgaidh ceangailte gu dlùth ri puinnseanachadh targaid, agus mar sin feumar smachd lùb dùinte.
4. Cleachdaidhean Practaigeach ann an Gnìomhachas
Ann an còmhdach optaigeach, bidh smachd ìre a’ toirt buaidh dhìreach air clàr-amais ath-tharraingeach agus cruinneas dath eadar-theachd.
Ann am filmichean tana leth-chonnsachaidh, faodaidh cus gluasaid adhbhrachadh ann an strì an aghaidh, a bheir buaidh air coileanadh an inneil.
Ann an còtaichean sgeadachaidh, airson cinneasachadh sgìre mhòr, thathar a’ gabhail ri àrdachaidhean ìre meadhanach agus a’ dèanamh cinnteach à cunbhalachd.
Co-dhùnadh
Tha ceangal dlùth eadar ìre an tasgaidh agus càileachd film: bidh ro luath a’ dèanamh cron air dùmhlachd agus greamachadh, agus ma tha ro shlaodach, bidh èifeachdas air a lùghdachadh agus cunnart truailleadh air a mheudachadh. Is ann dìreach tro smachd mionaideach air an ìre agus leasachadh pròiseas as urrainnear cothromachadh as fheàrr a choileanadh eadar èifeachdas agus càileachd, a’ coinneachadh ri riatanasan thagraidhean optigeach, dealanach agus sgeadachaidh.
—Chaidh an t-artaigil seo fhoillseachadh le uidheam còmhdach falamh neach-dèanamh Zhenhua Vacuum
Àm puist: 3 dhen t-Samhain 2025
