នៅក្នុងដំណើរការថ្នាំកូតក្នុងសុញ្ញកាស (ថ្នាំកូតក្នុងសុញ្ញកាស) អត្រានៃការដាក់ប្រាក់ គឺជាប៉ារ៉ាម៉ែត្រស្នូលមួយដែលកំណត់ទាំងប្រសិទ្ធភាពផលិតកម្ម និងលក្ខណៈខ្សែភាពយន្ត។ ទោះជាយ៉ាងណាក៏ដោយ អត្រាការដាក់ស្រទាប់ខ្ពស់ ឬទាបពេកអាចប៉ះពាល់ដោយផ្ទាល់ដល់គុណភាពខ្សែភាពយន្ត ដោយហេតុនេះជះឥទ្ធិពលដល់លក្ខណៈសម្បត្តិអុបទិក អគ្គិសនី និងមេកានិចនៃថ្នាំកូត។ ការស្វែងរកតុល្យភាពត្រឹមត្រូវរវាងអត្រា និងគុណភាពគឺជាកត្តាសំខាន់ក្នុងការបង្កើនប្រសិទ្ធភាពដំណើរការខ្សែភាពយន្តស្តើង។
១. គោលគំនិតជាមូលដ្ឋាននៃអត្រាបង្គរ
អត្រានៃការដាក់ស្រទាប់ជាធម្មតាត្រូវបានបង្ហាញជា nm/s ឬ Å/s ដែលបង្ហាញពីកម្រាស់នៃខ្សែភាពយន្តដែលដាក់លើស្រទាប់ខាងក្រោមក្នុងមួយឯកតាពេលវេលា។ មានកត្តាជាច្រើនដែលប៉ះពាល់ដល់អត្រានៃការដាក់ស្រទាប់ រួមមាន៖
កម្រិតសុញ្ញកាស៖ សម្ពាធផ្ទៃខាងក្រោយខ្ពស់បង្កើនការខ្ចាត់ខ្ចាយភាគល្អិត កាត់បន្ថយការដាក់ភាគល្អិតប្រកបដោយប្រសិទ្ធភាព។
ការបញ្ចូលថាមពល៖ ថាមពលកំដៅនៃប្រភពហួត ឬចរន្តនៃគោលដៅម៉ាញ៉េត្រុងកំណត់អត្រាស្រូប។
លំហូរឧស្ម័នដំណើរការ៖ នៅក្នុងការបាញ់ថ្នាំដែលមានប្រតិកម្ម កំហាប់ឧស្ម័នប៉ះពាល់ដោយផ្ទាល់ដល់អត្រានៃការដាក់។
2. យន្តការភ្ជាប់អត្រានៃការដាក់ស្រទាប់ និងគុណភាពខ្សែភាពយន្ត
ផលប៉ះពាល់នៃអត្រាខ្ពស់ហួសហេតុ៖
ដង់ស៊ីតេខ្សែភាពយន្តទាប៖ នៅអត្រានៃការដាក់ស្រទាប់ខ្ពស់ អាតូម ឬម៉ូលេគុលមានចលនាផ្ទៃមិនគ្រប់គ្រាន់ ដែលនាំឱ្យមានរចនាសម្ព័ន្ធរន្ធតូចៗ។
បញ្ហាភាពតានតឹង និងការស្អិត៖ ការប្រមូលផ្តុំយ៉ាងឆាប់រហ័សធ្វើឱ្យភាពតានតឹងខាងក្នុងប្រមូលផ្តុំ ដែលកាត់បន្ថយកម្លាំងស្អិត។
ភាពប្រែប្រួលអុបទិក៖ ភាពត្រឹមត្រូវនៃការគ្រប់គ្រងកម្រាស់ថយចុះ ដែលបណ្តាលឱ្យមានគម្លាតនៃសន្ទស្សន៍ចំណាំងបែរ ឬការបញ្ជូនពន្លឺ។
ផលប៉ះពាល់នៃអត្រាទាបពេក៖
ផលិតភាពទាប៖ ពេលវេលាដាក់ស្រទាប់ខាងក្រោមយូរធ្វើឱ្យបរិមាណការងារថយចុះ។
ហានិភ័យនៃការចម្លងរោគកើនឡើង៖ ពេលវេលាដាក់សារធាតុកាន់តែយូរបង្កើនប្រូបាប៊ីលីតេនៃឧស្ម័ន ឬភាពមិនបរិសុទ្ធដែលនៅសេសសល់។
ការលូតលាស់គ្រាប់ធញ្ញជាតិមិនប្រក្រតី៖ នៅក្នុងវត្ថុធាតុដើមមួយចំនួន ការដាក់ស្រទាប់យឺតពេកអាចបង្កើនភាពរដុបនៃផ្ទៃ។
បង្អួចដាក់ល្អបំផុត៖
អត្រាដាក់ស្រទាប់កម្រិតមធ្យមធ្វើឱ្យមានតុល្យភាពរវាងដង់ស៊ីតេខ្សែភាពយន្ត ការគ្រប់គ្រងភាពតានតឹង និងឯកសណ្ឋានកម្រាស់។ នៅក្នុងការអនុវត្ត ការក្រិតតាមខ្នាតអត្រា និងការត្រួតពិនិត្យគ្រីស្តាល់ក្វាតស៍ (QCM) ត្រូវបានប្រើប្រាស់ដើម្បីសម្រេចបាននូវការគ្រប់គ្រងដ៏ច្បាស់លាស់។
៣. ការគ្រប់គ្រងអត្រាក្នុងដំណើរការផ្សេងៗ
ការហួតដោយកម្ដៅ៖ អត្រាហួតហួសប្រមាណអាចបណ្តាលឱ្យមានការប្រឡាក់ និងពិការភាពភាគល្អិត។ ការគ្រប់គ្រងសីតុណ្ហភាពជាជំហានៗត្រូវបានប្រើដើម្បីគ្រប់គ្រងអត្រាហួត។
ការបញ្ចេញចំហាយម៉ាញ៉េត្រុង៖ អត្រាត្រូវបានជះឥទ្ធិពលដោយថាមពលគោលដៅ និងលំហូរឧស្ម័ន ដែលទាមទារឲ្យមានតុល្យភាពរវាងការប្រើប្រាស់គោលដៅ និងឯកសណ្ឋាននៃខ្សែភាពយន្ត។
ការបញ្ចេញសារធាតុប្រតិកម្ម៖ អត្រានៃការបញ្ចេញសារធាតុមានទំនាក់ទំនងយ៉ាងជិតស្និទ្ធនឹងការពុលគោលដៅ ដែលទាមទារឱ្យមានការគ្រប់គ្រងរង្វិលជុំបិទជិត។
៤. ការអនុវត្តជាក់ស្តែងក្នុងឧស្សាហកម្ម
នៅក្នុងថ្នាំកូតអុបទិក ការគ្រប់គ្រងអត្រាប៉ះពាល់ដោយផ្ទាល់ដល់សន្ទស្សន៍ចំណាំងបែរ និងភាពត្រឹមត្រូវនៃពណ៌ដែលជ្រៀតជ្រែក។
នៅក្នុងខ្សែភាពយន្តស្តើង semiconductor អត្រាខ្ពស់ពេកអាចបណ្តាលឱ្យមានគម្លាតរេស៊ីស្តង់ ដែលប៉ះពាល់ដល់ដំណើរការឧបករណ៍។
នៅក្នុងថ្នាំកូតតុបតែង សម្រាប់ការផលិតលើផ្ទៃដីធំ ការកើនឡើងអត្រាមធ្យមត្រូវបានអនុម័ត ខណៈពេលដែលធានាបាននូវឯកសណ្ឋាន។
សេចក្តីសន្និដ្ឋាន
អត្រានៃការដាក់ស្រទាប់មានទំនាក់ទំនងយ៉ាងជិតស្និទ្ធទៅនឹងគុណភាពខ្សែភាពយន្ត៖ លឿនពេកធ្វើឱ្យប៉ះពាល់ដល់ដង់ស៊ីតេ និងភាពស្អិត ខណៈដែលយឺតពេកធ្វើឱ្យប្រសិទ្ធភាពថយចុះ និងបង្កើនហានិភ័យនៃការបំពុល។ មានតែតាមរយៈការគ្រប់គ្រងអត្រាច្បាស់លាស់ និងការធ្វើឱ្យដំណើរការប្រសើរឡើងប៉ុណ្ណោះ ទើបអាចសម្រេចបានតុល្យភាពល្អបំផុតរវាងប្រសិទ្ធភាព និងគុណភាព ដែលបំពេញតម្រូវការនៃកម្មវិធីអុបទិក អេឡិចត្រូនិក និងតុបតែង។
- អត្ថបទនេះត្រូវបានបោះពុម្ពផ្សាយដោយ ឧបករណ៍ថ្នាំកូតបូមធូលី ក្រុមហ៊ុនផលិតម៉ាស៊ីនបូមធូលី Zhenhua
ពេលវេលាបង្ហោះ៖ ខែវិច្ឆិកា-០៣-២០២៥