N'ime usoro mkpuchi oghere (Vacum Coating), ọnụego itinye ego bụ otu n'ime ihe ndị bụ isi na-ekpebi ma arụmọrụ mmepụta na njirimara ihe nkiri. Agbanyeghị, oke ma ọ bụ obere ọnụego nchekwa nwere ike imetụta mma ihe nkiri ozugbo, si otú a na-emetụta ihe onwunwe anya, eletriki, na igwe nke mkpuchi ahụ. Ịchọta nguzozi ziri ezi n'etiti ọnụego na ịdị mma bụ isi ihe dị mkpa na nhazi usoro ihe nkiri dị gịrịgịrị.
1. Echiche bụ isi nke ọnụego nkwụnye ego
A na-egosipụtakarị ọnụego ntinye ihe n'ime nm/s ma ọ bụ Å/s, nke na-egosi ọkpụrụkpụ nke ihe nkiri etinyere na substrate kwa oge otu. Ọtụtụ ihe na-emetụta ọnụego ntinye ihe n'ime ya, gụnyere:
Ọkwa Vacuum: Nrụgide ndabere dị elu na-eme ka mgbasa nke ihe ndị dị ndụ dịkwuo elu, na-ebelata ntinye dị irè.
Ntinye Ike: Ike ikpo ọkụ nke isi mmalite evaporation ma ọ bụ ugbu a nke ihe mgbaru ọsọ magnetron na-ekpebi ọnụego sputtering.
Usoro Gas Flow: Na sputtering reactive, mkpokọta gas na-emetụta ọnụego nkwụnye ego ozugbo.
2. Usoro Ijikọ Ọnụego Ntinye na Ogo Ihe Nkiri
Mmetụta nke Oke Oke Ọnụego:
Njupụta dị ala nke ihe nkiri: N'ọkwa dị elu nke itinye ihe, atọm ma ọ bụ molekul enweghị ike ịkwaga elu, nke na-eduga n'ihe owuwu oghere.
Nsogbu Nrụgide na Mgbakwunye: Mkpokọta ngwa ngwa na-eme ka nrụgide dị n'ime dịkwuo elu, na-ebelata ike njikọta.
Mgbanwe Anya: Izizi njikwa ọkpụrụkpụ na-ebelata, na-eme ka ọdịiche dị na index refractive ma ọ bụ transmittance.
Mmetụta nke Oke Oke Ọnụego Dị Ala:
Obere Mmepụta: Ogologo oge itinye ihe na-ebelata mmepụta ihe maka nnukwu mpaghara.
Mmụba Ihe Ize Ndụ Mmerụ Ahụ: Ogologo oge itinye ihe n'ime ya na-eme ka ohere nke gas fọdụrụ ma ọ bụ ihe na-adịghị ọcha dịkwuo elu.
Uto Mkpụrụ Na-adịghị Mma: N'ụfọdụ ihe, itinye ihe n'ime obere oge nwere ike ime ka elu ya sie ike.
Windo Nnyefe Kachasị Mma:
Ọnụego nchekwa dị ala na-edozi njupụta ihe nkiri, njikwa nrụgide, na nha nha ọkpụrụkpụ. N'ọrụ, a na-eji nhazi ọnụego na Quartz Crystal Monitoring (QCM) eme ihe iji nweta njikwa ziri ezi.
3. Njikwa Ọkwa n'ime Usoro Dị Iche Iche
Mmiri ọkụ: Oke oke nwere ike ibute mgbawa na ntụpọ nke ihe ndị dị n'ime ya; a na-eji usoro nhazi okpomọkụ iji jikwaa ọnụego mmiri ọkụ.
Ịkpọpụta Magnetron: Ike ebumnuche na ikuku gas na-emetụta ọnụego ya, nke chọrọ nguzozi n'etiti ojiji ebumnuche na otu ihe nkiri ahụ si dị.
Mmeghachi omume: Ọnụego mwepụ nwere njikọ chiri anya na nsị ebumnuche, nke chọrọ njikwa mkpọchi mechiri emechi.
4. Ngwa Ndị Bara Uru n'Ụlọ Ọrụ
Na mkpuchi anya, njikwa ọnụego na-emetụta kpọmkwem ihe ngosi ntụgharị uche na izi ezi nke agba nnyonye anya.
Na ihe nkiri dị gịrịgịrị nke semiconductor, oke ọsọ nwere ike ibute mgbanwe nguzogide, na-emetụta arụmọrụ ngwaọrụ.
N'ihe mkpuchi mma, maka mmepụta ebe buru ibu, a na-anabata mmụba ọnụego dị ala ma na-ahụ na ha dị n'otu.
Mmechi
Ọnụego mwepụta ihe na-ejikọta nke ọma na ịdị mma nke ihe nkiri ahụ: oke ọsọ na-emebi njupụta na njikọta, ebe oke nwayọ na-ebelata arụmọrụ ma na-eme ka ihe egwu mmetọ dịkwuo elu. Naanị site na njikwa ọnụego ziri ezi na nhazi usoro ka a ga-enweta nguzozi kacha mma n'etiti arụmọrụ na ịdị mma, na-emezu ihe achọrọ nke ngwa anya, eletrọnịkị, na ịchọ mma.
—E bipụtara akụkọ a site n'aka onye bipụtara ya akụrụngwa mkpuchi agụụ onye nrụpụta Zhenhua Vacuum
Oge ozi: Nọvemba-03-2025