Mekhoa ea ho koahela ka vacuum (Vacuum Coating), sekhahla sa ho beoa ha thepa ke e 'ngoe ea liparamente tsa mantlha tse khethollang katleho ea tlhahiso le litšobotsi tsa filimi. Leha ho le joalo, sekhahla se phahameng haholo kapa se tlase sa ho beoa ha thepa se ka ama boleng ba filimi ka kotloloho, ka hona sa susumetsa litšobotsi tsa mahlo, tsa motlakase le tsa mechini tsa ho roala. Ho fumana tekano e nepahetseng pakeng tsa sekhahla le boleng ke ntlha ea bohlokoa ntlafatsong ea ts'ebetso ea filimi e tšesaane.
1. Khopolo ea Motheo ea Sekhahla sa Deposition
Sekhahla sa ho beoa ha lintho hangata se hlahisoa ka nm/s kapa Å/s, e leng se bontšang botenya ba filimi e beiloeng holim'a substrate ka nako ea yuniti. Mabaka a 'maloa a ama sekhahla sa ho beoa ha lintho, ho kenyeletsoa:
Boemo ba Vacuum: Kgatelelo e phahameng ya bokamorao e eketsa ho hasana ha dikarolwana, e fokotsa ho phunya ha tsona ka katleho.
Kenyelletso ea Matla: Matla a futhumatsang a mehloli ea mouoane kapa hona joale ea lipheo tsa magnetron a etsa qeto ea sekhahla sa ho qhala.
Phallo ea Khase ea Ts'ebetso: Ha ho qhalana ha khase ka mokhoa o arabelang, mahloriso a khase a ama ka kotloloho sekhahla sa ho beoa ha khase.
2. Mekhoa e Hokelang Sekhahla sa ho Hlahisa le Boleng ba Filimi
Litlamorao tsa Sekhahla se Phahameng ka ho Feteletseng:
Botebo bo Tlase ba Filimi: Ka lebelo le phahameng la ho bokellana ha lintho, liathomo kapa limolek'hule ha li na ho tsamaea ho lekaneng ha bokaholimo, e leng se lebisang meahong e nang le masoba.
Mathata a Khatello ea Kelello le ho Khomarela: Ho bokellana ka potlako ho tsepamisa khatello ea ka hare, ho fokotsa matla a ho khomarela.
Phetoho ea Optical: Ho nepahala ha taolo ea botenya hoa fokotseha, e leng se bakang ho kheloha ho index ea refractive kapa transmittance.
Litlamorao tsa Sekhahla se Tlase ka ho Feteletseng:
Tlhahiso e Tlase: Nako e telele ea ho beha e fokotsa phallo ea matla bakeng sa li-substrate tsa sebaka se seholo.
Kotsi e Eketsehileng ea Tšilafalo: Linako tse telele tsa ho bokellana ha khase li eketsa monyetla oa ho kenngoa ha khase e setseng kapa litšila.
Khōlo e sa Tloaelehang ea Lithollo: Linthong tse ling, ho bokellana butle haholo ho ka eketsa ho teteana ha bokaholimo.
Fensetere e ntle ka ho fetisisa ea ho tlosa thepa:
Sekhahla sa ho boloka mocheso se itekanetseng se leka-lekanya boholo ba filimi, taolo ea khatello ea maikutlo le ho tšoana ha botenya. Ha e le hantle, ho leka-lekanya sekhahla le Tlhokomelo ea Crystal ea Quartz (QCM) li sebelisoa ho fihlela taolo e nepahetseng.
3. Taolo ea Litefiso Mekhoeng e Fapaneng
Mouoane o Mochesong: Sekhahla se feteletseng se ka baka ho fafatsa le diphoso tsa dikarolwana; taolo ya mocheso ka mohato e sebediswa ho laola sekhahla sa mouoane.
Ho Hlakola ha Magnetron: Sekhahla se susumetsoa ke matla a sepheo le phallo ea khase, e hlokang tekano lipakeng tsa tšebeliso ea sepheo le ho tšoana ha filimi.
Ho Hlakola ka Tsela e Reactive: Sekhahla sa ho lahla lintho se amana haufi-ufi le chefo e reretsoeng, e leng se hlokang taolo e koetsoeng.
4. Litšebeliso tse Sebetsang Indastering
Ho penteng ea optical, taolo ea sekhahla e ama ka ho toba index ea refractive le ho nepahala ha 'mala oa tšitiso.
Lifiliming tse tšesaane tsa semiconductor, sekhahla se feteletseng se ka baka ho kheloha ha resistivity, e leng se amang ts'ebetso ea sesebelisoa.
Liaparong tse khabisitsoeng, bakeng sa tlhahiso ea sebaka se seholo, keketseho ea sekhahla se itekanetseng e sebelisoa ha ho ntse ho netefatsoa hore ho tšoana.
Qetello
Sekhahla sa ho ntsha thepa se amana haufi-ufi le boleng ba filimi: kapele haholo ho fokotsa bongata le ho khomarela, ha butle haholo ho fokotsa bokgoni mme ho eketsa kotsi ya tšilafalo. Ke ka taolo e nepahetseng ya lebelo le ntlafatso ya tshebetso feela moo ho ka fihlellwang tekano e ntle pakeng tsa bokgoni le boleng, ho fihlela ditlhoko tsa ditshebediso tsa mahlasedi, tsa elektroniki le tsa mekhabiso.
—Sengoloa sena se phatlalalitsoe ke lisebelisoa tsa ho roala ka vacuum moetsi oa Zhenhua Vacuum
Nako ea poso: Pulungoana-03-2025
