Вакуум бүрэх (Вакуум бүрэх) процесст, хуримтлалын түвшин нь үйлдвэрлэлийн үр ашиг болон хальсны шинж чанарыг тодорхойлдог гол үзүүлэлтүүдийн нэг юм. Гэсэн хэдий ч хэт өндөр эсвэл бага тунадасны хурд нь хальсны чанарт шууд нөлөөлж, улмаар бүрхүүлийн оптик, цахилгаан болон механик шинж чанарт нөлөөлдөг. Хурд ба чанарын хоорондох зөв тэнцвэрийг олох нь нимгэн хальсны процессыг оновчтой болгох гол хүчин зүйл юм.
1. Тунадасны хурдны үндсэн ойлголт
Тунадасны хурдыг ихэвчлэн nm/s эсвэл Å/s-ээр илэрхийлдэг бөгөөд энэ нь нэгж хугацаанд суурь дээр хуримтлагдсан хальсны зузааныг заана. Тунадасны хурдад хэд хэдэн хүчин зүйл нөлөөлдөг бөгөөд үүнд:
Вакуум түвшин: Дэвсгэр даралт өндөр байх нь бөөмсийн тархалтыг нэмэгдүүлж, үр дүнтэй тунадасыг бууруулдаг.
Эрчим хүчний оролт: Ууршилтын эх үүсвэрийн халаалтын чадал эсвэл магнетрон байны гүйдэл нь цацалтын хурдыг тодорхойлдог.
Процессын хийн урсгал: Реактив цацалтын үед хийн агууламж нь тунадасны хурдад шууд нөлөөлдөг.
2. Тунадасны хурд болон хальсны чанарыг холбодог механизмууд
Хэт өндөр хурдны нөлөө:
Бага нягтралтай хальс: Өндөр тунадасжилтын түвшинд атом эсвэл молекулууд гадаргуугийн хөдөлгөөн хангалтгүй байдаг нь сүвэрхэг бүтэц үүсгэдэг.
Стресс ба наалдацын асуудлууд: Хурдан хуримтлал нь дотоод стрессийг төвлөрүүлж, наалдацын бат бөх чанарыг бууруулдаг.
Оптик хувьсах чанар: Зузаан хяналтын нарийвчлал буурч, хугарлын индекс эсвэл дамжуулалтын хазайлт үүсгэдэг.
Хэт бага ханшийн нөлөө:
Бага бүтээмж: Тунадасны хугацааг уртасгах нь том талбайн субстратын бүтээмжийг бууруулдаг.
Бохирдлын эрсдэл нэмэгдэх: Тунадас хуримтлуулах хугацаа уртсах нь үлдэгдэл хий эсвэл хольцын нэгдэх магадлалыг нэмэгдүүлдэг.
Хэвийн бус үр тарианы өсөлт: Зарим материалд хэт удаан тунадасжилт нь гадаргуугийн барзгаржилтыг нэмэгдүүлдэг.
Хамгийн оновчтой тунадасжуулалтын цонх:
Дунд зэргийн тунадасны хурд нь хальсны нягтрал, стрессийн хяналт, зузааны жигд байдлыг тэнцвэржүүлдэг. Практикт нарийвчлалтай хяналтыг хангахын тулд хурдны тохируулга болон кварцын талстын хяналт (QCM)-ийг ашигладаг.
3. Төрөл бүрийн процесс дахь хурдны хяналт
Дулааны ууршилт: Хэт их хурд нь цацралт болон бөөмийн гажиг үүсгэж болзошгүй; ууршилтын хурдыг удирдахын тулд температурын хяналтыг шат дараалсан байдлаар ашигладаг.
Соронзон цацалт: Хурд нь байны хүч болон хийн урсгалаас хамаардаг бөгөөд байны ашиглалт болон хальсны жигд байдлын хоорондын тэнцвэрийг шаарддаг.
Урвалттай цацалт: Тунадасны хурд нь байны хордлоготой нягт холбоотой тул битүү гогцооны хяналт шаардлагатай.
4. Аж үйлдвэрийн практик хэрэглээ
Оптик бүрхүүлд хурдны хяналт нь хугарлын индекс болон хөндлөнгийн өнгөний нарийвчлалд шууд нөлөөлдөг.
Хагас дамжуулагч нимгэн хальсан дээр хэт өндөр хурд нь эсэргүүцлийн хазайлт үүсгэж, төхөөрөмжийн гүйцэтгэлд нөлөөлж болзошгүй.
Том талбайд үйлдвэрлэхэд гоёл чимэглэлийн бүрээсний хувьд жигд байдлыг хангахын зэрэгцээ дунд зэргийн хурдны өсөлтийг ашигладаг.
Дүгнэлт
Тунадасжилтын хурд нь хальсны чанартай нягт холбоотой: хэт хурдан нь нягтрал болон наалдацыг бууруулдаг бол хэт удаан нь үр ашгийг бууруулж, бохирдлын эрсдэлийг нэмэгдүүлдэг. Зөвхөн нарийн хурдны хяналт болон үйл явцыг оновчтой болгосноор л оптик, электрон болон гоёл чимэглэлийн хэрэглээний шаардлагыг хангаж, үр ашиг болон чанарын хоорондын оновчтой тэнцвэрийг бий болгож чадна.
-Энэ нийтлэлийг нийтэлсэн вакуум бүрэх тоног төхөөрөмж үйлдвэрлэгч Zhenhua тоос сорогч
Нийтэлсэн цаг: 2025 оны 11-р сарын 3