Hauv cov txheej txheem nqus tsev (Vacuum Coating), cov tus nqi tso tawm yog ib qho ntawm cov yam ntxwv tseem ceeb uas txiav txim siab ob qho tib si kev ua haujlwm zoo thiab cov yam ntxwv ntawm zaj duab xis. Txawm li cas los xij, qhov siab dhau lossis qis dhau ntawm cov nqi tso tawm tuaj yeem cuam tshuam ncaj qha rau qhov zoo ntawm zaj duab xis, yog li cuam tshuam rau qhov muag, hluav taws xob, thiab cov khoom siv kho tshuab ntawm cov txheej. Nrhiav qhov sib npaug zoo ntawm qhov nrawm thiab qhov zoo yog qhov tseem ceeb hauv kev ua kom zoo dua ntawm cov txheej txheem nyias-zaj duab xis.
1. Lub Tswv Yim Tseem Ceeb ntawm Tus Nqi Tso Tawm
Feem ntau, tus nqi tso tawm yog qhia hauv nm/s lossis Å/s, qhia txog qhov tuab ntawm zaj duab xis tso rau ntawm lub substrate ib lub sijhawm. Muaj ntau yam uas cuam tshuam rau tus nqi tso tawm, suav nrog:
Qib Nqus Tsev: Qhov siab dua ntawm keeb kwm yav dhau los ua rau cov khoom tawg ua ntau ntxiv, txo cov khoom tso tawm zoo.
Kev Siv Zog: Lub zog cua sov ntawm cov khoom siv evaporation lossis tam sim no ntawm cov hom phiaj magnetron txiav txim siab qhov nrawm sputtering.
Cov Txheej Txheem Roj Ntws: Hauv kev sib xyaw ua ke, cov roj concentration ncaj qha cuam tshuam rau qhov nqi tso tawm.
2. Cov Txheej Txheem Txuas Cov Nqi Tso Tawm thiab Zaj Duab Xis Zoo
Cov teebmeem ntawm Tus Nqi Siab Dhau:
Qhov Ceev Ntawm Zaj Duab Xis Qis: Thaum muaj cov nqi tso tawm siab, cov atoms lossis cov molecules tsis muaj qhov txav mus los ntawm qhov chaw, ua rau cov qauv porous.
Kev Nyuaj Siab & Kev Sib Txuas: Kev sib sau ua ke sai ua rau muaj kev nyuaj siab sab hauv, txo qhov muaj zog sib txuas.
Kev Hloov Pauv ntawm Qhov Muag: Qhov tseeb ntawm kev tswj qhov tuab txo qis, ua rau muaj kev hloov pauv ntawm cov ntsuas refractive lossis transmittance.
Cov teebmeem ntawm Tus Nqi Qis Dhau:
Kev Tsim Khoom Tsawg: Lub sijhawm tso tawm ntev dua ua rau cov khoom siv loj dua txo qis.
Kev Pheej Hmoo Ntau Ntxiv Txog Kev Ua Phem: Lub sijhawm tso dej ntev dua ua rau muaj feem yuav muaj cov pa roj lossis cov khoom tsis huv ntxiv.
Kev Loj Hlob Tsis Zoo Li Qub: Hauv qee cov ntaub ntawv, kev tso qeeb dhau tuaj yeem ua rau qhov chaw ntxhib dua.
Qhov Rai Tso Tawm Zoo Tshaj Plaws:
Tus nqi tso tawm nruab nrab sib npaug ntawm cov zaj duab xis ceev, kev tswj kev ntxhov siab, thiab kev sib npaug ntawm cov tuab. Hauv kev xyaum, kev ntsuas tus nqi thiab Quartz Crystal Monitoring (QCM) raug siv los ua kom tiav kev tswj hwm meej.
3. Kev Tswj Tus Nqi Hauv Cov Txheej Txheem Sib Txawv
Kev Ua Pa Kub: Kev nrawm dhau heev yuav ua rau muaj kev tawg thiab cov khoom me me tsis zoo; kev tswj qhov kub thiab txias yog siv los tswj qhov nrawm ntawm kev ua pa.
Magnetron Sputtering: Tus nqi raug cuam tshuam los ntawm lub zog ntawm lub hom phiaj thiab cov roj ntws, xav tau kev sib npaug ntawm kev siv lub hom phiaj thiab kev sib xws ntawm zaj duab xis.
Reactive Sputtering: Tus nqi tso tawm muaj feem cuam tshuam nrog kev lom neeg, uas yuav tsum tau tswj hwm lub voj voog kaw.
4. Cov Kev Siv Tau Hauv Kev Lag Luam
Hauv kev txheej txheem kho qhov muag, kev tswj tus nqi ncaj qha cuam tshuam rau qhov ntsuas refractive thiab kev cuam tshuam xim raug.
Hauv cov yeeb yaj kiab nyias nyias semiconductor, qhov nrawm ntau dhau yuav ua rau muaj kev hloov pauv ntawm resistivity, cuam tshuam rau kev ua haujlwm ntawm lub cuab yeej.
Hauv cov txheej txheem kho kom zoo nkauj, rau kev tsim khoom loj, kev nce nqi nruab nrab raug saws thaum ua kom muaj kev sib xws.
Xaus lus
Qhov ceev ntawm kev tso zaj duab xis muaj feem cuam tshuam nrog qhov zoo ntawm zaj duab xis: qhov ceev dhau ua rau qhov ceev thiab kev nplaum tsis zoo, thaum qhov qeeb dhau ua rau txo qhov ua tau zoo thiab ua rau muaj kev pheej hmoo ntawm kev ua qias tuaj. Tsuas yog los ntawm kev tswj qhov ceev thiab kev ua kom zoo dua qub thiaj li ua tau qhov sib npaug zoo tshaj plaws ntawm kev ua tau zoo thiab qhov zoo, ua tau raws li qhov xav tau ntawm kev siv kho qhov muag, hluav taws xob, thiab kev siv kho kom zoo nkauj.
— Tsab xov xwm no tau luam tawm los ntawm cov khoom siv nqus tsev txheej Chaw tsim khoom Zhenhua Lub Tshuab Nqus Tsev
Lub sijhawm tshaj tawm: Kaum Ib Hlis-03-2025