جمع ڪرڻ جي شرح ۽ فلم پرت جي معيار جي وچ ۾ تعلق؟

ويڪيوم ڪوٽنگ (ويڪيوم ڪوٽنگ) جي عملن ۾، جمع ڪرڻ جي شرح اهو بنيادي پيرا ميٽرز مان هڪ آهي جيڪو پيداوار جي ڪارڪردگي ۽ فلم جي خاصيتن ٻنهي کي طئي ڪري ٿو. جڏهن ته، تمام گهڻي يا گهٽ جمع ڪرڻ جي شرح سڌو سنئون فلم جي معيار کي متاثر ڪري سگهي ٿي، ان ڪري ڪوٽنگ جي آپٽيڪل، برقي ۽ ميڪيڪل خاصيتن کي متاثر ڪري ٿي. شرح ۽ معيار جي وچ ۾ صحيح توازن ڳولڻ پتلي فلم جي عمل جي اصلاح ۾ هڪ اهم عنصر آهي.

1. جمع جي شرح جو بنيادي تصور

جمع ڪرڻ جي شرح عام طور تي nm/s يا Å/s ۾ ظاهر ڪئي ويندي آهي، جيڪا في يونٽ وقت سبسٽريٽ تي جمع ٿيل فلم جي ٿلهي کي ظاهر ڪري ٿي. ڪيترائي عنصر جمع ڪرڻ جي شرح کي متاثر ڪن ٿا، جن ۾ شامل آهن:

ويڪيوم ليول: پس منظر جو وڌيڪ دٻاءُ ذرڙن جي ڇِپائي کي وڌائي ٿو، اثرائتي جمع کي گهٽائي ٿو.

توانائي ان پٽ: بخارات جي ذريعن جي گرمائش جي طاقت يا ميگنيٽرون ٽارگيٽ جي ڪرنٽ اسپٽرنگ جي شرح کي طئي ڪري ٿي.

پروسيس گيس فلو: رد عمل واري اسپٽرنگ ۾، گيس جي ڪنسنٽريشن سڌو سنئون جمع ٿيڻ جي شرح کي متاثر ڪري ٿي.

2. جمع ڪرڻ جي شرح ۽ فلم جي معيار کي ڳنڍڻ وارا طريقا

تمام گهڻي شرح جا اثر:

گھٽ فلم کثافت: وڌيڪ جمع ٿيڻ جي شرح تي، ايٽم يا ماليڪيولز ۾ مٿاڇري جي حرڪت ڪافي نه هوندي آهي، جنهن جي ڪري سوراخ واري جوڙجڪ پيدا ٿيندي آهي.

دٻاءُ ۽ چپڪندڙ مسئلا: تيزي سان گڏ ٿيڻ اندروني دٻاءُ کي مرڪوز ڪري ٿو، چپڪندڙ طاقت کي گهٽائي ٿو.

بصري تبديلي: ٿلهي ڪنٽرول جي درستگي گهٽجي ٿي، جنهن جي ڪري ريفريڪٽو انڊيڪس يا ٽرانسميشن ۾ انحراف ٿئي ٿو.

تمام گهٽ شرح جا اثر:

گھٽ پيداوار: وڌايل جمع وقت وڏي علائقي جي ذيلي ذخيري لاءِ ٿرو پُٽ گھٽائي ٿو.

آلودگي جو خطرو وڌي ويو: جمع ٿيڻ جو وقت وڌيڪ هجڻ ڪري باقي گئس يا نجاست جي شموليت جو امڪان وڌي ويندو آهي.

غير معمولي اناج جي واڌ: ڪجهه مواد ۾، تمام گهڻو سست جمع ڪرڻ سان مٿاڇري جي خرابي وڌي سگهي ٿي.

بهترين جمع ڪرائڻ واري ونڊو:
هڪ معتدل جمع ڪرڻ جي شرح فلم جي کثافت، دٻاءُ جي ڪنٽرول، ۽ ٿلهي جي هڪجهڙائي کي متوازن ڪري ٿي. عملي طور تي، صحيح ڪنٽرول حاصل ڪرڻ لاءِ شرح ڪيليبريشن ۽ ڪوارٽز ڪرسٽل مانيٽرنگ (QCM) استعمال ڪيا ويندا آهن.

3. مختلف عملن ۾ ريٽ ڪنٽرول

حرارتي بخارات: گهڻي شرح ڦاٽڻ ۽ ذرڙن جي خرابين جو سبب بڻجي سگهي ٿي؛ بخارات جي شرح کي منظم ڪرڻ لاءِ قدم وار گرمي پد ڪنٽرول استعمال ڪيو ويندو آهي.

ميگنيٽرون اسپٽرنگ: شرح ٽارگيٽ پاور ۽ گئس جي وهڪري کان متاثر ٿئي ٿي، جنهن لاءِ ٽارگيٽ استعمال ۽ فلم جي هڪجهڙائي جي وچ ۾ توازن جي ضرورت آهي.

رد عمل واري اسپٽرنگ: جمع ڪرڻ جي شرح ٽارگيٽ پوائزننگ سان ويجهي سان لاڳاپيل آهي، جنهن جي ڪري بند لوپ ڪنٽرول جي ضرورت آهي.

4. صنعت ۾ عملي استعمال

آپٽيڪل ڪوٽنگ ۾، شرح ڪنٽرول سڌو سنئون ريفريڪٽو انڊيڪس ۽ مداخلت رنگ جي درستگي کي متاثر ڪري ٿو.

سيمي ڪنڊڪٽر پتلي فلمن ۾، گهڻي شرح مزاحمتي انحراف جو سبب بڻجي سگهي ٿي، جيڪا ڊوائيس جي ڪارڪردگي تي اثر انداز ٿئي ٿي.

آرائشي ڪوٽنگن ۾، وڏي ايراضيءَ جي پيداوار لاءِ، هڪجهڙائي کي يقيني بڻائيندي وچولي شرح ۾ واڌ اختيار ڪئي ويندي آهي.

ٿڪل

جمع ڪرڻ جي شرح فلم جي معيار سان ويجهڙائي سان ڳنڍيل آهي: تمام تيز کثافت ۽ چپکڻ کي سمجهوتو ڪري ٿو، جڏهن ته تمام سست ڪارڪردگي کي گهٽائي ٿو ۽ آلودگي جو خطرو وڌائي ٿو. صرف صحيح شرح ڪنٽرول ۽ عمل جي اصلاح ذريعي ڪارڪردگي ۽ معيار جي وچ ۾ هڪ بهترين توازن حاصل ڪري سگهجي ٿو، آپٽيڪل، اليڪٽرانڪ، ۽ آرائشي ايپليڪيشنن جي گهرجن کي پورو ڪندي.

—هي مضمون شايع ڪيو ويو آهي پاران ويڪيوم ڪوٽنگ جو سامان ٺاهيندڙ زينهوا ويڪيوم