Вакуум каплау (Вакуум каплау) процессларында, утырту дәрәҗәсе җитештерү нәтиҗәлелеген дә, пленка үзенчәлекләрен дә билгеләүче төп параметрларның берсе булып тора. Ләкин артык югары яки түбән утыру тизлеге пленка сыйфатына турыдан-туры тәэсир итә ала, шуның белән каплауның оптик, электр һәм механик үзлекләренә йогынты ясый. Тизлек һәм сыйфат арасында дөрес балансны табу юка пленка процессын оптимальләштерүдә төп фактор булып тора.
1. Калдык чыгару нормасының төп төшенчәсе
Чүпләнү тизлеге гадәттә нм/с яки Å/с белән күрсәтелә, бу субстрат өстенә вакыт берәмлегендә чүпләнгән пленка калынлыгын күрсәтә. Чүпләнү тизлегенә берничә фактор тәэсир итә, шул исәптән:
Вакуум дәрәҗәсе: Югарырак фон басымы кисәкчәләрнең таралуын арттыра, нәтиҗәле утыруны киметә.
Кертелгән энергия: Парга әйләнү чыганакларының җылыту көче яки магнетрон максатларының агымы сиптерү тизлеген билгели.
Процесс газы агымы: Реактив сиптерү вакытында газ концентрациясе утырма тизлегенә турыдан-туры тәэсир итә.
2. Чүпләү тизлеген һәм пленка сыйфатын бәйләүче механизмнар
Артык югары ставканың йогынтысы:
Түбән пленка тыгызлыгы: Югары утыру тизлегендә атомнар яки молекулалар өслек хәрәкәтчәнлеге җитми, бу исә мәсамәле структураларга китерә.
Көчәнеш һәм ябышу проблемалары: Тиз туплану эчке көчәнешне туплап, ябышу көчен киметә.
Оптик үзгәрүчәнлек: Калынлыкны контрольдә тоту төгәллеге кими, бу сыну күрсәткечендә яки үткәрүчәнлектә тайпылышларга китерә.
Артык түбән ставканың йогынтысы:
Түбән җитештерүчәнлек: Озын утырту вакыты зур мәйданлы субстратларның җитештерүчәнлеген киметә.
Пычрану куркынычының артуы: Озак вакыт утыру калдык газ яки катнашма кушылу ихтималын арттыра.
Аномаль бөртек үсеше: Кайбер материалларда артык әкрен утыру өслекнең тигезсезлеген арттырырга мөмкин.
Оптималь урнаштыру тәрәзәсе:
Уртача утыру тизлеге пленка тыгызлыгын, көчәнеш контролен һәм калынлыкның бердәмлеген тигезли. Гамәлдә төгәл контрольгә ирешү өчен тизлекне калибрлау һәм кварц кристаллларын күзәтү (QCM) кулланыла.
3. Төрле процессларда тизлекне контрольдә тоту
Термик парга әйләнү: Артык тизлек сиптерүләргә һәм кисәкчәләр кимчелекләренә китерергә мөмкин; парга әйләнү тизлеген контрольдә тоту өчен температураны этаплап контрольдә тоту кулланыла.
Магнетрон сиптерү: Тизлек максат көче һәм газ агымы белән бәйле, бу максатны куллану һәм пленканың бердәмлеге арасында баланс таләп итә.
Реактив сиптерү: Чүпләнү тизлеге максатчан агулану белән тыгыз бәйләнгән, шуңа күрә ябык цикллы контроль таләп ителә.
4. Сәнәгатьтә гамәли кулланылышлар
Оптик каплауда тизлек контроле сыну күрсәткеченә һәм интерференция төсенең төгәллегенә турыдан-туры тәэсир итә.
Ярымүткәргеч юка пленкаларда артык ешлык каршылык тайпылышларына китерергә мөмкин, бу җайланма эшчәнлегенә тәэсир итә.
Декоратив каплауларда, зур мәйданнарда җитештерү өчен, бер төрлелекне тәэмин иткәндә, уртача темплар кулланыла.
Йомгак
Чүпләү тизлеге пленка сыйфаты белән тыгыз бәйләнгән: артык тиз тыгызлыкны һәм адгезияне боза, ә артык әкрен нәтиҗәлелекне киметә һәм пычрану куркынычын арттыра. Оптик, электрон һәм декоратив куллану таләпләрен канәгатьләндереп, нәтиҗәлелек һәм сыйфат арасында оптималь баланска төгәл тизлек контроле һәм процессны оптимальләштерү аша гына ирешеп була.
—Бу мәкалә бастырып чыгарылган вакуум каплау җиһазлары җитештерүче Zhenhua Powder
Бастырып чыгару вакыты: 2025 елның 3 ноябре