د ویکیوم کوټینګ (ویکیوم کوټینګ) پروسو کې، د د زیرمې کچه دا یو له هغو اصلي پیرامیټرو څخه دی چې د تولید موثریت او د فلم ځانګړتیاوې دواړه ټاکي. په هرصورت، ډیر لوړ یا ټیټ زیرمه کولو نرخونه کولی شي په مستقیم ډول د فلم کیفیت اغیزمن کړي، په دې توګه د کوټینګ نظری، بریښنایی او میخانیکي ملکیتونو اغیزه کوي. د نرخ او کیفیت ترمنځ سم توازن موندل د پتلي فلم پروسې اصلاح کولو کې یو مهم فاکتور دی.
۱. د زیرمې د نرخ اساسي مفهوم
د جمع کولو کچه معمولا په nm/s یا Å/s کې ښودل کیږي، چې د هر واحد وخت په سبسټریټ کې د جمع شوي فلم ضخامت په ګوته کوي. ډیری عوامل د جمع کولو کچه اغیزه کوي، په شمول:
د خلا کچه: د شاليد لوړ فشار د ذراتو خپرېدل زیاتوي، چې د اغیزمن جمع کیدو کچه کموي.
د انرژۍ داخلول: د تبخیر سرچینو د تودوخې ځواک یا د مقناطیسي هدفونو جریان د توییدو کچه ټاکي.
د ګازو جریان پروسه: په غبرګوني سپټرینګ کې، د ګازو غلظت په مستقیم ډول د زیرمو کچه اغیزه کوي.
۲. د زیرمو کچه او د فلم کیفیت سره د نښلولو میکانیزمونه
د ډېرې لوړې کچې اغیزې:
د فلم ټیټ کثافت: د لوړې زیرمې په کچه، اتومونه یا مالیکولونه د سطحې ناکافي حرکت لري، چې د سوري جوړښتونو لامل کیږي.
د فشار او چپکېدو ستونزې: په چټکۍ سره راټولېدل داخلي فشار متمرکز کوي، د چپکېدو ځواک کموي.
نظري تغیر: د ضخامت کنټرول دقت کمیږي، چې د انعکاس شاخص یا لیږد کې انحراف رامینځته کوي.
د ډېرې ټیټې کچې اغیزې:
ټیټ تولید: د زیرمه کولو اوږد وخت د لوی ساحې سبسټریټ لپاره د تولید کچه کموي.
د ککړتیا خطر زیات شوی: د اوږدې مودې لپاره د ګاز پاتې کیدو یا ناپاکۍ د یوځای کیدو احتمال زیاتوي.
د غلو غیر معمولي وده: په ځینو موادو کې، ډیر ورو جمع کول کولی شي د سطحې ناهموارۍ زیاته کړي.
د غوره زیرمه کولو کړکۍ:
د زیرمو منځنۍ کچه د فلم کثافت، د فشار کنټرول، او ضخامت یووالي متوازن کوي. په عمل کې، د نرخ کیلیبریشن او کوارټز کرسټال څارنه (QCM) د دقیق کنټرول ترلاسه کولو لپاره کارول کیږي.
۳. په مختلفو پروسو کې د نرخ کنټرول
د تودوخې تبخیر: د تودوخې ډیروالی ممکن د توییدو او ذراتو نیمګړتیاو لامل شي؛ د تبخیر د کچې د مدیریت لپاره د تودوخې ګام په ګام کنټرول کارول کیږي.
د مقناطیسي سپټرینګ: کچه د هدف بریښنا او ګاز جریان لخوا اغیزمن کیږي، د هدف کارولو او فلم یووالي ترمنځ توازن ته اړتیا لري.
د غبرګون وړ سپټرینګ: د زیرمو کچه د هدف زهرجن کولو سره نږدې تړاو لري، چې د تړل شوي حلقې کنټرول ته اړتیا لري.
۴. په صنعت کې عملي غوښتنلیکونه
په آپټیکل کوټینګ کې، د نرخ کنټرول مستقیم د انعکاس شاخص او د مداخلې رنګ دقت اغیزه کوي.
په نیمه نیمه پتلو فلمونو کې، ډیر سرعت ممکن د مقاومت انحراف لامل شي، چې د وسیلې فعالیت اغیزمن کوي.
په سینګاري پوښونو کې، د لویې ساحې تولید لپاره، د یوشانوالي ډاډ ترلاسه کولو په وخت کې د منځنۍ کچې زیاتوالی غوره کیږي.
پایله
د زیرمه کولو کچه د فلم کیفیت سره نږدې تړاو لري: ډیر ګړندی کثافت او چپکتیا له منځه وړي، پداسې حال کې چې ډیر ورو موثریت کموي او د ککړتیا خطر زیاتوي. یوازې د دقیق نرخ کنټرول او پروسې اصلاح کولو له لارې د موثریت او کیفیت ترمنځ غوره توازن ترلاسه کیدی شي، د نظري، بریښنایی او سینګار غوښتنلیکونو اړتیاوې پوره کوي.
— دا مقاله د لخوا خپره شوې ده د ویکیوم کوټینګ تجهیزات جوړونکی ژنهوا ویکیوم
د پوسټ وخت: نومبر-۰۳-۲۰۲۵