Вимоги до навколишнього середовища для обладнання для вакуумного покриття

Зобладнання для вакуумного покриттяЯкщо обладнання працює у вакуумі, воно повинно відповідати вимогам щодо вакууму до навколишнього середовища. Галузеві стандарти для різних типів обладнання для вакуумного покриття, розроблені в моїй країні (включаючи загальні технічні умови для обладнання для вакуумного покриття, обладнання для вакуумного іонного покриття, обладнання для вакуумного напилення та обладнання для вакуумного випаровування), чітко визначають екологічні вимоги. Тільки за умови дотримання екологічних вимог до обладнання для вакуумного покриття воно може працювати нормально, а за умови правильного процесу нанесення покриття можна виробляти якісні покриття.

Вимоги до вакуумного середовища зазвичай включають вимоги до вакуумного обладнання до навколишнього середовища, такі як температура в лабораторії (або майстерні), невеликий прибуток повітря та вимоги до деталей або поверхонь у вакуумному стані або у вакуумі. Ці два аспекти тісно пов'язані. Якість навколишнього середовища безпосередньо впливає на нормальне використання вакуумного обладнання, а те, чи очищена вакуумна камера вакуумного обладнання або деталі, що завантажуються в неї, безпосередньо впливає на продуктивність обладнання. Якщо повітря містить багато водяної пари та пилу, а вакуумна камера не очищена, важко досягти бажаного ступеня вакууму за допомогою механічного насоса з масляним ущільненням для перекачування повітря. Як відомо, механічні насоси з масляним ущільненням не підходять для перекачування газів, які є корозійними для металів, хімічно реагують з вакуумною оливою та містять тверді частинки пилу. Водяна пара є конденсованим газом. Коли насос перекачує велику кількість конденсованого газу, забруднення оливи насоса буде більш серйозним. В результаті граничний вакуум насоса знизиться, а продуктивність насоса буде порушена.

Звичайні умови роботи обладнання для вакуумного покриття:

① Температура навколишнього середовища 10~30℃;

② Відносна вологість повітря не більше 70%;

③ Температура охолоджувальної води на вході не перевищує 25°C;

④ Якість охолоджувальної води Міська водопровідна вода або вода еквівалентної якості;

⑤Напруга живлення: 380 В, трифазна 50 Гц або 220 В, однофазна 50 Гц (залежно від потреб використовуваних електроприладів), діапазон коливань напруги 342~399 В або 198~231 В, діапазон коливань частоти 49~51 Гц;

⑥Тиск, температура та витрата повинні бути вказані в інструкції з експлуатації виробу;

⑦ Навколишнє середовище навколо обладнання чисте, повітря чисте, а також не повинно бути пилу чи газу, які можуть спричинити поверхневу корозію електроприладів та інших металевих деталей або спричинити електропровідність між металами.

Крім того, лабораторія або майстерня, де розташоване обладнання для вакуумного покриття, повинні бути чистими та гігієнічними. Підлога має бути терраццо або дерев'яною пофарбованою підлогою, без пилу. Щоб запобігти забрудненню лабораторного середовища газом, що викидається з механічного насоса, його можна використовувати на випускному отворі насоса. Встановіть на поверхні вихлопну трубу (металеву, гумову) для виведення газу назовні.