Характеристика оптичних тонких плівок включає характеристику оптичних властивостей, оптичних параметрів та неоптичних властивостей. Оптичні властивості головним чином стосуються спектральних властивостей відбиття, пропускання та оптичних втрат (втрати на поглинання та втрати на відбиття) оптичних тонких плівок. Пропускання та відбиття є найосновнішими оптичними властивостями оптичних тонких плівок, тому випробування пропускання та відбиття тонких плівок є основним методом тестування оптичних тонких плівок. Оптичні параметри оптичних тонких плівок включають показник заломлення, коефіцієнт поглинання та товщину оптичних тонких плівок. Через стехіометричне відхилення в матеріальних компонентах оптичних тонких плівок, отриманих у результаті фактичного процесу, структура більше не є однорідною та щільною, а має мікроструктури та різні дефекти, шар діелектричної плівки більше не є повністю прозорим, спостерігається слабке поглинання, водночас спостерігаються просторова неоднорідність та фазова анізотропія показника заломлення плівки, і плівка більше не є нескінченним та гладким інтерфейсом. Що ще важливіше, у процесі підготовки плівки параметри процесу підготовки мають дуже великий вплив на її оптичні параметри, тому підтвердження оптичних параметрів плівки в режимі реального часу є дуже важливим. Крім того, оптична тонка плівка як пристрій, що використовується в реальному середовищі, окрім оптичних характеристик пристрою, повинна відповідати вимогам, плівка має багато інших важливих неоптичних характеристик, які впливають на її використання, таких як адгезія плівки, міцність плівки, твердість плівки та шорсткість поверхні, а також здатність плівки протистояти навколишньому середовищу тощо. Тому важливо точно вимірювати всі різні параметри або характеристики, які впливають на використання тонкоплівкових пристроїв.
Пропускання та відбивна здатність тонких плівок в основному перевіряються за допомогою спектральних тестових аналізаторів. Спектральні аналізатори для оптичного тестування плівок можна розділити на УФ-Візуальні спектрофотометри, інфрачервоні спектрофотометри та інфрачервоні Фур'є-спектрометри відповідно до різних тестових діапазонів. Перші два використовують принцип спектральної спектроскопії для аналізу та тестування, останні базуються на принципі інтерференційної спектральної системи аналізу. Через різні геометричні структури та форми тонкоплівкових пристроїв, хоча вимірювання пропускання та відбивної здатності можливі для різних форм, з різною точністю або різними вимогами до поляризації, і можуть вимагатися різні методи та методики тестування.
–Цю статтю опубліковановиробник вакуумних машин для покриттяГуандун Чженьхуа
Час публікації: 03 листопада 2023 р.