ئۈزلۈكسىز ئىشلەپچىقىرىش ۋاكۇئۇم قاپلاش مۇھىتىدا ئۈسكۈنىلەرنىڭ مۇقىملىقى، جەرياننىڭ تەكرارلىنىشى ۋە نېپىز پەردە سۈپىتىگە بىۋاسىتە تەسىر كۆرسىتىدىغان ئۆزگىچە قىيىنچىلىقلارنى كەلتۈرۈپ چىقىرىدۇ. يۇقىرى ئۈنۈملۈك PVD، ماگنىترون پۈركۈش، ALD ياكى PECVD لىنىيىلىرىدە، ئۇزۇن مۇددەتلىك ئىشلىتىش مەزگىلىدە مۇقىم چۆكمە پارامېتىرلىرىنى ساقلاش ناھايىتى مۇھىم، چۈنكى ۋاكۇئۇم شارائىتى، پلازما مۇقىملىقى ياكى نىشان ئىقتىدارىدىكى كىچىك تەۋرىنىشلەرمۇ پەردە قېلىنلىقى، سىنىش كۆرسەتكۈچى ۋە ئوپتىكىلىق ياكى مېخانىكىلىق خۇسۇسىيەتلەردە يىغىندى ئۆزگىرىشلەرنى كەلتۈرۈپ چىقىرىشى مۇمكىن.
ئۈزلۈكسىز ئىشلەشتىكى ئاساسلىق قىيىنچىلىقلارنىڭ بىرى، ئاساسىي قاتلامنىڭ كىرىشى، ئاكتىپ گازلار ۋە كامېرا تاملىرىدىن ياكى ئىلگىرى قاپلانغان ئاساسىي قاتلاملاردىن چىقىپ كېتىدىغان گازنىڭ دىنامىك يۈكىگە قارىماي، ئىنتايىن يۇقىرى ۋاكۇئۇم سەۋىيەسىنى ساقلاپ قېلىشتۇر. سۇ پارى، ئوكسىگېن ياكى كاربون سۇ بىرىكمىلىرى قاتارلىق قالدۇق گاز تەركىبىدىكى ئۆزگىرىشلەر كۈتۈلمىگەن خىمىيىلىك رېئاكسىيەلەرنى كەلتۈرۈپ چىقىرىشى، پەردە ستېخىئومېتىرىيەسىنى ئۆزگەرتىشى ۋە ئوپتىكىلىق ياكى ئىقتىدار ئىقتىدارىغا تەسىر كۆرسىتىدىغان نۇقسانلارنى ياكى سۈمۈرۈش مەركەزلىرىنى پەيدا قىلىشى مۇمكىن. تۇربومولېكۇلا ۋە سوغۇق پومپا قاتارلىق ئىلغار ۋاكۇئۇم پومپا سىستېمىلىرى قالدۇق گاز ئانالىزاتورى (RGA) بىلەن بىرلەشتۈرۈلۈپ، كامېرا ئاتموسفېراسىنى ھەقىقىي ۋاقىتلىق نازارەت قىلىش ۋە كونترول قىلىش ئۈچۈن ئىنتايىن مۇھىم.
پلازما مۇقىملىقى ئۈزلۈكسىز ئىشلەپچىقىرىش ئۈچۈن ئوخشاشلا مۇھىم. يۇقىرى قۇۋۋەتلىك ماگنىترون پۈركۈش ياكى ئىئون ياردەملىك چۆكمە جەريانلىرى چۆكمە سۈرئىتى، پىلاستىنكا زىچلىقى ۋە مىكرو قۇرۇلمىسىدىكى ئۆزگىرىشلەرنىڭ ئالدىنى ئېلىش ئۈچۈن مۇقىم قۇۋۋەت زىچلىقى، نىشان ئېروزىيە سۈرئىتى ۋە ئىئون ئېنېرگىيە تەقسىماتىنى ساقلىشى كېرەك. ئۈسكۈنىلەر ئۇزۇن مۇددەتلىك ئىشلىتىش، نىشان بۇلغىنىشى ياكى يۈك ئۆزگىرىشىدىن كېلىپ چىقىدىغان مۇقىمسىزلىقلارنى پەسەيتىش ئۈچۈن، قوس بايقاش، ئىمپۇلسلۇق DC ياكى RF قۇۋۋەت مودۇلياتسىيەسى ۋە يېپىق ئايلانما كونترول سىستېمىلىرىنى بىرلەشتۈرۈشى كېرەك.
ئىسسىقلىق باشقۇرۇش مۇقىملىققا تەسىر كۆرسىتىدىغان يەنە بىر مۇھىم ئامىل. چوڭ ئاساسىي تاختىلار ياكى كۆپ قەۋەتلىك قەۋەتلەرنى ئۈزلۈكسىز قاپلاش زور مىقداردا ئىسسىقلىق پەيدا قىلىدۇ، بۇ بولسا چۆكمە پەردىلەردە بېسىم، بۇرمىلىنىش ياكى مىكرو يېرىقلارنى پەيدا قىلىدۇ. نىشانلار، ئاساسىي تاختىلار ۋە كامېرا تاملىرىنى ئاكتىپ سوۋۇتۇش، ئېنىق تېمپېراتۇرا كۆزىتىش بىلەن بىرلەشتۈرۈلۈپ، ئېنېرگىيەنىڭ بىردەك تەقسىملىنىشىنى كاپالەتلەندۈرىدۇ ۋە ئۇزۇن ئىشلەپچىقىرىش دەۋرىيلىكىدە يىغىلغان ئىسسىقلىق تەسىرىنى ئازايتىدۇ.
مېخانىكىلىق ئىشەنچلىكلىك ۋە ئاساسىي قاتلامنى بىر تەرەپ قىلىش مۇقىملىقنى ساقلاشتا مۇھىم رول ئوينايدۇ. روبوت يۈكلەش/چۈشۈرۈش سىستېمىسى، ئاساسىي قاتلامنىڭ ئېنىق ئايلىنىشى ۋە ئاپتوماتىك يەتكۈزگۈچ كونترول سىستېمىسى ئىنسانلارنىڭ ئارىلىشىشىنى ئازايتىدۇ، ماس كەلمەسلىكنى ئەڭ تۆۋەن چەككە چۈشۈرىدۇ ۋە بارلىق ئاساسىي قاتلاملاردا بىردەك چۆكۈشنى كاپالەتلەندۈرىدۇ. مۇۋاپىق بىر تەرەپ قىلىش ئوپتىكىلىق ئىقتىدار ياكى ئىقتىدارنىڭ بىردەكلىكىگە تەسىر كۆرسىتىدىغان چىزىلىش، بۇلغىنىش ۋە پىلاستىنكا قېلىنلىقىنىڭ ئۆزگىرىشچانلىقىنىڭ ئالدىنى ئالىدۇ.
خۇلاسە قىلىپ ئېيتقاندا، ئۈزلۈكسىز ئىشلەپچىقىرىشتا ۋاكۇئۇم قاپلاش ئۈسكۈنىلىرىنىڭ مۇقىم ئىشلىشىنى ساقلاش ئۈچۈن، ئىنتايىن يۇقىرى ۋاكۇئۇم كونترول قىلىش، پلازما مۇقىملىقى، ئىسسىقلىق باشقۇرۇش ۋە ئېنىق ئاساس بىر تەرەپ قىلىش بىرلەشتۈرۈلگەن بىر گەۋدىلەشكەن ئۇسۇل قوللىنىلىشى كېرەك. ئىلغار جەرياننى نازارەت قىلىش، ئىنكاس كونترول قىلىش ۋە ئاپتوماتىك ماتېرىيال بىر تەرەپ قىلىش ئارقىلىق، يۇقىرى ئۈنۈملۈك قاپلاش سىستېمىلىرى قايتا ئىشلەپچىقارغىلى بولىدىغان، يۇقىرى سۈپەتلىك نېپىز پەردىلەرنى ئىشلەپچىقىرىپ، ئۇزۇن ئىشلەپچىقىرىش دەۋرىيلىكىدىكى توختاپ قېلىش ۋاقتى، نۇقسانلار ۋە ئۆزگىرىشلەرنى ئەڭ تۆۋەن چەككە چۈشۈرەلەيدۇ. بۇ ئومۇميۈزلۈك ئىستراتېگىيە ئوپتىكىلىق قاپلاش، فوتونىكا، ئېنېرگىيە ئۈسكۈنىلىرى ۋە چوڭ دائىرىلىك ئىقتىدارلىق پەردىلەر قاتارلىق مۇھىم قوللىنىشچان پروگراممىلاردا مۇقىم ئىقتىدارنى كاپالەتلەندۈرىدۇ.
-بۇ ماقالە ئېلان قىلىندىۋاكۇئۇم قاپلاش ئۈسكۈنىلىرى ئىشلەپچىقارغۇچىجېنخۇا چاڭ-توزان سۈمۈرۈش ماشىنىسى
ئېلان قىلىنغان ۋاقىت: 2026-يىلى 3-ئاينىڭ 19-كۈنى