Mmepụta na-aga n'ihu N'ime gburugburu mkpuchi ihe mkpofu na-eweta ihe ịma aka pụrụ iche nke na-emetụta nkwụsi ike nke ngwa, imeghachi usoro, na ịdị mma nke ihe nkiri dị gịrịgịrị. N'ime eriri PVD dị elu, magnetron sputtering, ALD, ma ọ bụ PECVD, ịnọgide na-enwe paramita nkwụnye ego na-agbanwe agbanwe n'oge ọrụ dị ogologo dị oke mkpa, ebe ọ bụ na ọbụna obere mgbanwe na ọnọdụ ihe mkpofu, nkwụsi ike plasma, ma ọ bụ arụmọrụ ebumnuche nwere ike ibute mgbanwe mkpokọta na ọkpụrụkpụ ihe nkiri, ndeksi refractive, na njirimara anya ma ọ bụ igwe.
Otu n'ime ihe ịma aka ndị bụ isi n'ọrụ na-aga n'ihu bụ ịnọgide na-enwe oke ikuku dị elu n'agbanyeghị ibu gas siri ike sitere na ntinye substrate, gas reactive, na mpụta gas sitere na mgbidi ụlọ ma ọ bụ ihe mkpuchi ekpuchiri mbụ. Mgbanwe na nhazi gas fọdụrụ, gụnyere uzuoku mmiri, oxygen, ma ọ bụ hydrocarbons, nwere ike ibute mmeghachi omume kemịkalụ na-atụghị anya ya, gbanwee stoichiometry ihe nkiri, ma mepụta ntụpọ ma ọ bụ ebe nnabata nke na-emebi arụmọrụ anya ma ọ bụ ọrụ. Sistemụ mgbapụta vacuum dị elu, dị ka pumps turbomolecular na cryogenic, yana residual gas analyzers (RGA), dị mkpa maka nlekota na njikwa ikuku ụlọ ahụ n'oge iji hụ na usoro ahụ kwụsiri ike.
Nkwụsi ike nke plasma dịkwa oke mkpa maka mmepụta na-aga n'ihu. Usoro ndọta magnetron dị elu ma ọ bụ usoro nkwụnye ion enyere aka ga-anọgide na-enwe njupụta ike na-agbanwe agbanwe, ọnụego mbuze ebumnuche, na nkesa ike ion iji gbochie mgbanwe na ọnụego nkwụnye, njupụta ihe nkiri, na obere nhazi. Ngwaọrụ ga-ejikọta nchọpụta arc, mgbanwe ike DC ma ọ bụ RF nke pulsed, na sistemụ njikwa mkpọchi iji belata enweghị ike nke nwere ike ịpụta site na ọrụ ogologo oge, mmetọ ebumnuche, ma ọ bụ mgbanwe ibu.
Njikwa okpomọkụ bụ ihe ọzọ dị mkpa na-emetụta nkwụsi ike. Mkpuchi mgbe niile nke nnukwu ihe ndị dị n'elu ala ma ọ bụ ọtụtụ ihe ndị dị n'elu ala na-emepụta nnukwu okpomọkụ, nke nwere ike ibute nrụgide, mgbagharị, ma ọ bụ obere mgbawa na fim ndị a na-etinye. Ịjụ oyi nke ihe mgbaru ọsọ, ihe ndị na-ejide ihe ndị dị n'elu ala, na mgbidi ụlọ, yana nlekota okpomọkụ ziri ezi, na-eme ka nkesa ike dị otu ma na-ebelata mmetụta okpomọkụ n'oge usoro mmepụta ogologo oge.
Ntụkwasị obi na njikwa ihe ndị dị n'ime ya na-arụkwa ọrụ dị mkpa n'ịnọgide na-enwe nkwụsi ike. Sistemụ ibu/ibudata ihe ndị dị n'ime ya, ntụgharị ihe ndị dị n'ime ya nke ọma, na njikwa ihe ndị na-ebuga ihe na-akpaghị aka na-ebelata ntinye aka mmadụ, na-ebelata nhazi na-ezighi ezi, ma na-ahụ na a na-etinye ihe ndị dị n'ime ya n'otu ebe. Ijikwa nke ọma na-egbochi ọkọ, mmetọ, na mgbanwe na ọkpụrụkpụ ihe nkiri nke nwere ike imebi arụmọrụ anya ma ọ bụ ịdị n'otu ọrụ.
Na nchịkọta, ijigide ọrụ siri ike nke akụrụngwa mkpuchi oghere n'ime mmepụta na-aga n'ihu chọrọ usoro ejikọtara ọnụ, na-ejikọta njikwa oghere dị elu, nkwụsi ike plasma, njikwa okpomọkụ, na njikwa substrate ziri ezi. Site n'iji nlekota usoro dị elu, njikwa nzaghachi, na njikwa ihe akpaaka, sistemụ mkpuchi elu nwere ike inye ihe nkiri dị gịrịgịrị dị elu, nke a na-emegharị emegharị ma na-ebelata oge ọrụ, ntụpọ, na mgbanwe n'ime usoro mmepụta agbatịkwuru. Atụmatụ zuru oke a na-ahụ na arụmọrụ na-aga n'ihu na ngwa dị mkpa, gụnyere mkpuchi anya, photonics, ngwaọrụ ike, na ihe nkiri ọrụ buru ibu.
-E bipụtara akụkọ a site n'aka onye bipụtara yaonye nrụpụta akụrụngwa mkpuchi ikukuZhenhua Vacuum
Oge ozi: Maachị-19-2026