ສິ່ງທ້າທາຍດ້ານຄວາມໝັ້ນຄົງຂອງອຸປະກອນເຄືອບສູນຍາກາດໃນການຜະລິດຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງ

ການຜະລິດຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງ ໃນສະພາບແວດລ້ອມການເຄືອບສູນຍາກາດ, ສິ່ງທ້າທາຍທີ່ເປັນເອກະລັກສະເພາະທີ່ສົ່ງຜົນກະທົບໂດຍກົງຕໍ່ຄວາມໝັ້ນຄົງຂອງອຸປະກອນ, ຄວາມສາມາດໃນການເຮັດຊ້ຳຄືນຂອງຂະບວນການ, ແລະຄຸນນະພາບຂອງຟິມບາງໆ. ໃນສາຍ PVD, magnetron sputtering, ALD, ຫຼື PECVD ທີ່ມີຜົນຜະລິດສູງ, ການຮັກສາຕົວກໍານົດການວາງຊັ້ນທີ່ສອດຄ່ອງໃນໄລຍະເວລາປະຕິບັດງານທີ່ຍາວນານແມ່ນມີຄວາມສຳຄັນຫຼາຍ, ເພາະວ່າການປ່ຽນແປງເລັກນ້ອຍໃນສະພາບສູນຍາກາດ, ຄວາມໝັ້ນຄົງຂອງ plasma, ຫຼືປະສິດທິພາບຂອງເປົ້າໝາຍສາມາດນໍາໄປສູ່ຄວາມແຕກຕ່າງສະສົມໃນຄວາມໜາຂອງຟິມ, ດັດຊະນີການຫັກເຫ, ແລະຄຸນສົມບັດທາງດ້ານແສງ ຫຼື ກົນຈັກ.

ໜຶ່ງໃນສິ່ງທ້າທາຍຫຼັກໃນການດຳເນີນງານຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງແມ່ນການຮັກສາລະດັບສູນຍາກາດທີ່ສູງຫຼາຍເຖິງວ່າຈະມີການໂຫຼດອາຍແກັສແບບເຄື່ອນໄຫວຈາກການນຳສະເໜີຊັ້ນຮອງພື້ນ, ອາຍແກັສທີ່ມີປະຕິກິລິຍາ, ແລະການປ່ອຍອາຍແກັສອອກຈາກຝາຫ້ອງ ຫຼື ຊັ້ນຮອງພື້ນທີ່ຖືກເຄືອບກ່ອນໜ້ານີ້. ຄວາມຜັນຜວນຂອງສ່ວນປະກອບອາຍແກັສທີ່ເຫຼືອ, ລວມທັງໄອນ້ຳ, ອົກຊີເຈນ, ຫຼື ໄຮໂດຄາບອນ, ສາມາດກະຕຸ້ນປະຕິກິລິຍາເຄມີທີ່ບໍ່ຕັ້ງໃຈ, ປ່ຽນແປງສະຕອຍຊີໂອເມຕຣີຂອງຟິມ, ແລະ ສ້າງຂໍ້ບົກຜ່ອງ ຫຼື ສູນການດູດຊຶມທີ່ເຮັດໃຫ້ປະສິດທິພາບທາງດ້ານແສງ ຫຼື ການເຮັດວຽກຫຼຸດລົງ. ລະບົບສູບສູນຍາກາດທີ່ກ້າວໜ້າ, ເຊັ່ນ: ປັ໊ມ turbomolecular ແລະ cryogenic, ລວມກັບເຄື່ອງວິເຄາະອາຍແກັສທີ່ເຫຼືອ (RGA), ແມ່ນສິ່ງຈຳເປັນສຳລັບການຕິດຕາມກວດກາ ແລະ ການຄວບຄຸມບັນຍາກາດຫ້ອງໃນເວລາຈິງເພື່ອຮັບປະກັນຄວາມໝັ້ນຄົງຂອງຂະບວນການ.

ຄວາມໝັ້ນຄົງຂອງພລາສມາແມ່ນມີຄວາມສຳຄັນເທົ່າທຽມກັນສຳລັບການຜະລິດຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງ. ຂະບວນການສະເປເຕີຣິງແມກນີຕຣອນພະລັງງານສູງ ຫຼື ຂະບວນການວາງຊັ້ນດ້ວຍໄອອອນຊ່ວຍຕ້ອງຮັກສາຄວາມໜາແໜ້ນຂອງພະລັງງານ, ອັດຕາການກັດເຊາະເປົ້າໝາຍ, ແລະ ການແຈກຢາຍພະລັງງານໄອອອນທີ່ສອດຄ່ອງກັນເພື່ອປ້ອງກັນການປ່ຽນແປງຂອງອັດຕາການວາງຊັ້ນ, ຄວາມໜາແໜ້ນຂອງຟິມ, ແລະ ໂຄງສ້າງຈຸລະພາກ. ອຸປະກອນຕ້ອງປະສົມປະສານການກວດຈັບກະແສໄຟຟ້າ, ການປັບປ່ຽນພະລັງງານ DC ຫຼື RF ແບບກະພິບ, ແລະ ລະບົບຄວບຄຸມວົງຈອນປິດເພື່ອຫຼຸດຜ່ອນຄວາມບໍ່ໝັ້ນຄົງທີ່ສາມາດເກີດຂຶ້ນຈາກການດຳເນີນງານໄລຍະຍາວ, ການປົນເປື້ອນເປົ້າໝາຍ, ຫຼື ການປ່ຽນແປງການໂຫຼດ.

ການຄຸ້ມຄອງຄວາມຮ້ອນແມ່ນປັດໄຈສຳຄັນອີກອັນໜຶ່ງທີ່ສົ່ງຜົນກະທົບຕໍ່ຄວາມໝັ້ນຄົງ. ການເຄືອບຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງຂອງຊັ້ນຮອງພື້ນຂະໜາດໃຫຍ່ ຫຼື ການຊ້ອນກັນຫຼາຍຊັ້ນສ້າງຄວາມຮ້ອນຢ່າງຫຼວງຫຼາຍ, ເຊິ່ງສາມາດກະຕຸ້ນຄວາມກົດດັນ, ການບິດເບືອນ, ຫຼື ຮອຍແຕກຂະໜາດນ້ອຍໃນຟິມທີ່ວາງໄວ້. ການເຮັດໃຫ້ເຢັນຂອງເປົ້າໝາຍ, ຕົວຍຶດຊັ້ນຮອງພື້ນ, ແລະ ຝາຫ້ອງ, ບວກກັບການຕິດຕາມອຸນຫະພູມທີ່ຊັດເຈນ, ຮັບປະກັນການແຈກຢາຍພະລັງງານຢ່າງເປັນເອກະພາບ ແລະ ຫຼຸດຜ່ອນຜົນກະທົບຄວາມຮ້ອນທີ່ສະສົມຕະຫຼອດວົງຈອນການຜະລິດທີ່ຍາວນານ.

ຄວາມໜ້າເຊື່ອຖືດ້ານກົນຈັກ ແລະ ການຈັດການວັດສະດຸຍັງມີບົດບາດສຳຄັນໃນການຮັກສາສະຖຽນລະພາບ. ລະບົບການໂຫຼດ/ຍົກວັດສະດຸດ້ວຍຫຸ່ນຍົນ, ການໝູນວຽນວັດສະດຸທີ່ຊັດເຈນ, ແລະ ການຄວບຄຸມລະບົບສາຍພານອັດຕະໂນມັດຊ່ວຍຫຼຸດຜ່ອນການແຊກແຊງຂອງມະນຸດ, ຫຼຸດຜ່ອນການຈັດວາງທີ່ບໍ່ຖືກຕ້ອງ, ແລະ ຮັບປະກັນການວາງຊັ້ນຢ່າງເປັນເອກະພາບໃນທົ່ວວັດສະດຸທັງໝົດ. ການຈັດການທີ່ເໝາະສົມຊ່ວຍປ້ອງກັນຮອຍຂີດຂ່ວນ, ການປົນເປື້ອນ, ແລະ ຄວາມແຕກຕ່າງຂອງຄວາມໜາຂອງຟິມທີ່ສາມາດສົ່ງຜົນກະທົບຕໍ່ປະສິດທິພາບທາງດ້ານແສງ ຫຼື ຄວາມສະເໝີພາບດ້ານການເຮັດວຽກ.

ສະຫຼຸບແລ້ວ, ການຮັກສາການເຮັດວຽກທີ່ໝັ້ນຄົງຂອງອຸປະກອນເຄືອບສູນຍາກາດໃນການຜະລິດຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງຮຽກຮ້ອງໃຫ້ມີວິທີການປະສົມປະສານ, ລວມເອົາການຄວບຄຸມສູນຍາກາດສູງພິເສດ, ຄວາມໝັ້ນຄົງຂອງ plasma, ການຄຸ້ມຄອງຄວາມຮ້ອນ, ແລະ ການຈັດການວັດສະດຸທີ່ຊັດເຈນ. ໂດຍການນຳໃຊ້ການຕິດຕາມກວດກາຂະບວນການຂັ້ນສູງ, ການຄວບຄຸມການປ້ອນກັບຄືນ, ແລະ ການຈັດການວັດສະດຸອັດຕະໂນມັດ, ລະບົບການເຄືອບທີ່ມີຜົນຜະລິດສູງສາມາດສົ່ງຟິມບາງທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງທີ່ສາມາດຜະລິດຄືນໄດ້ ໃນຂະນະທີ່ຫຼຸດຜ່ອນເວລາຢຸດເຮັດວຽກ, ຂໍ້ບົກຜ່ອງ, ແລະ ການປ່ຽນແປງໃນໄລຍະວົງຈອນການຜະລິດທີ່ຍາວນານ. ຍຸດທະສາດທີ່ສົມບູນແບບນີ້ຮັບປະກັນປະສິດທິພາບທີ່ສອດຄ່ອງໃນການນຳໃຊ້ທີ່ສຳຄັນ, ລວມທັງການເຄືອບແສງ, ໂຟໂຕນິກ, ອຸປະກອນພະລັງງານ, ແລະ ຟິມທີ່ເຮັດວຽກໃນພື້ນທີ່ຂະໜາດໃຫຍ່.

- ບົດຄວາມນີ້ຖືກເຜີຍແຜ່ໂດຍຜູ້ຜະລິດອຸປະກອນເຄືອບສູນຍາກາດເຄື່ອງດູດຝຸ່ນ Zhenhua