Gaosiga faifai pea I totonu o siosiomaga ufiufi e leai se eletise e tuʻuina atu ai ni luʻitau tulaga ese e aʻafia ai le mautu o masini, le toe faia o le faagasologa, ma le lelei o ata manifinifi. I laina PVD maualuga, magnetron sputtering, ALD, poʻo le PECVD, o le tausia o faʻasologa tutusa o le teuina i taimi faʻagaioiga umi e taua tele, aua e oʻo lava i nai suiga laiti i tulaga o le leai o se eletise, le mautu o le plasma, poʻo le faʻatinoga o le sini e mafai ona oʻo atu ai i ni eseesega faʻateleina i le mafiafia o le ata, faʻasinomaga o le refractive, ma meatotino opitika poʻo masini.
O se tasi o luʻitau autū i le faʻaauauina o le faʻagaioiga o le faʻatumauina lea o le maualuga tele o le vacuum e ui lava i avega kasa faʻaolaola mai le faʻaofiina o substrate, kasa tali atu, ma le alu ese mai puipui o le potu poʻo substrates na ufiufi muamua. O suiga i le tuufaatasiga o kasa o totoe, e aofia ai le ausa o le vai, okesene, poʻo hydrocarbons, e mafai ona faʻaosofia ai ni tali faʻakemikolo e leʻi mafaufauina, suia ai le stoichiometry o le ata tifaga, ma faia ai ni faʻaletonu poʻo ni nofoaga e mitiia ai e faʻalavelaveina ai le faʻatinoga o le vaʻaia poʻo le faʻatinoga. O faiga faʻapitoa o le pamuina o le vacuum, e pei o pamu turbomolecular ma cryogenic, faʻatasi ai ma le auʻiliʻili kasa o totoe (RGA), e taua tele mo le mataʻituina ma le puleaina o le ea o le potu i le taimi moni e faʻamautinoa ai le mautu o le faʻagasologa.
E taua tele fo'i le mautu o le plasma mo le fa'aauauina o le gaosiga. O le fa'agasologa o le fa'aputuina o le magnetron malosi po'o le fa'aputuga fesoasoani i le ion e tatau ona fa'atumauina pea le malosi tutusa o le eletise, fua faatatau o le fa'aleagaina o le eletise, ma le tufatufaina atu o le malosi o le ion e puipuia ai le eseesega i le fua faatatau o le fa'aputuga, tele o ata tifaga, ma le fausaga laiti. E tatau i masini ona tu'ufa'atasia le iloa o le arc, le fa'atonutonuina o le malosiaga o le DC po'o le RF, ma faiga fa'atonutonu tapuni e fa'aitiitia ai le le mautu e ono tula'i mai i le fa'agaioiga umi, fa'aleagaina o le eletise, po'o suiga o le avega.
O le puleaina o le vevela o se isi mea taua e aʻafia ai le mautu. O le ufiufi faifai pea o mea tetele poʻo faʻaputuga e tele vaega e faʻatupuina ai le vevela tele, lea e mafai ona mafua ai le atuatuvale, piʻo, poʻo ni māvaevae laiti i ata tifaga ua teuina. O le faʻamālūlūina malosi o sini, mea e uu ai mea, ma puipui o potu, faʻatasi ai ma le mataʻituina saʻo o le vevela, e faʻamautinoa ai le tufatufaina tutusa o le malosi ma faʻaitiitia ai aafiaga faʻavevela faʻaputu i luga o taʻamilosaga uumi o gaosiga.
O le fa'atuatuaina fa'amekanika ma le taulimaina o le substrate e taua tele i le tausia o le mautu. O faiga e fa'aaogaina ai le robotic load/desktop, le sa'o o le fa'ata'amilosaga o le substrate, ma le fa'atonutonuina otometi o le conveyor e fa'aitiitia ai le fa'alavelave a tagata, fa'aitiitia ai le le fa'atulagaina lelei, ma fa'amautinoa ai le tutusa o le fa'aputuina i luga o substrates uma. O le taulimaina lelei e puipuia ai le maosi, le fa'aleagaina, ma le fesuisuia'i o le mafiafia o le ata e ono fa'aleagaina ai le fa'atinoga o le va'ai po'o le tutusa o galuega.
I se aotelega, o le faatumauina o le faagaoioiga mautu o masini ufiufi o le vacuum i le gaosiga faifai pea e manaomia ai se auala tuufaatasi, e tuufaatasia ai le pulea maualuga o le vacuum, mautu o le plasma, pulega o le vevela, ma le taulimaina sa'o o le substrate. I le faaaogaina o le mataituina o le faagasologa alualu i luma, puleaina o manatu faaalia, ma le taulimaina otometi o meafaitino, e mafai e faiga ufiufi maualuga ona tuuina atu ni ata manifinifi e mafai ona toe gaosia ma maualuga le tulaga lelei ae faaitiitia ai le taimi e le toe gaoioi ai, faaletonu, ma fesuiaiga i luga o taamilosaga gaosiga uumi. O lenei fuafuaga atoatoa e faamautinoa ai le faatinoga faifai pea i talosaga taua, e aofia ai ufiufi opitika, photonics, masini eletise, ma ata tifaga aoga tetele.
-O lenei tusiga na lomia egaosi oloa meafaigaluega ufiufi mo le vacuumVacuum a Zhenhua
Taimi na lafoina ai: Mati-19-2026