Caqabadaha Xasilloonida ee Qalabka Dahaarka Faakuumka ee Wax Soo Saarka Joogtada ah

Wax soo saar joogto ah Deegaannada dahaarka faakuumka waxay soo bandhigaan caqabado gaar ah oo si toos ah u saameeya xasilloonida qalabka, ku celcelinta habka, iyo tayada filimka khafiifka ah. Khadadka PVD-ga ee wax soo saarka sare leh, magnetron sputtering, ALD, ama PECVD, ilaalinta xuduudaha dhigista joogtada ah muddooyinka hawlgalka ee dheeraadka ah waa muhiim, maadaama xitaa isbeddellada yar yar ee xaaladaha faakuumka, xasilloonida balaasmaha, ama waxqabadka bartilmaameedka ay horseedi karaan leexashooyin isugeyn ah oo ku yimaada dhumucda filimka, tusmada refractive, iyo sifooyinka indhaha ama farsamada.

Mid ka mid ah caqabadaha ugu waaweyn ee hawlgalka joogtada ah waa joogtaynta heerarka faakuumka aadka u sarreeya inkastoo culayska gaaska firfircoon ee ka imanaya soo-gelinta substrate-ka, gaasaska falcelinta leh, iyo gaaska ka baxaya derbiyada qolka ama substrate-yada hore loo dahaadhay. Isbeddellada ku yimaada halabuurka gaaska haraaga ah, oo ay ku jiraan uumiga biyaha, oksijiinta, ama hydrocarbons, waxay sababi karaan falgallo kiimiko oo aan la filayn, waxay beddeli karaan stoichiometry-ga filimka, waxayna abuuri karaan cillado ama xarumo nuugis oo wax u dhimaya waxqabadka indhaha ama shaqada. Nidaamyada bamgareynta faakuumka ee horumarsan, sida bambooyinka turbomolecular iyo cryogenic, oo ay weheliso falanqeeyayaasha gaaska haraaga ah (RGA), ayaa lagama maarmaan u ah la socodka waqtiga-dhabta ah iyo xakamaynta jawiga qolka si loo hubiyo xasilloonida habka.

Xasiloonida Balaasmadu si isku mid ah ayay muhiim ugu tahay wax soo saarka joogtada ah. Shubashada magnetron-ka awoodda sare leh ama hababka kaydinta ee ay caawisay ion-ka waa inay ilaaliyaan cufnaanta awoodda oo joogto ah, heerarka nabaad-guurka bartilmaameedka ah, iyo qaybinta tamarta ion-ka si looga hortago kala duwanaanshaha heerka dhigista, cufnaanta filimka, iyo qaab-dhismeedka yar. Qalabku waa inuu isku daraa ogaanshaha qaansada, isbeddelka awoodda DC ama RF ee garaaca, iyo nidaamyada xakamaynta wareegga xiran si loo yareeyo xasilloonida ka dhalan karta hawlgalka muddada dheer, wasakhowga bartilmaameedka ah, ama isbeddellada culayska.

Maareynta kulaylka waa arrin kale oo muhiim ah oo saameysa xasilloonida. Dahaarka joogtada ah ee substrate-yada waaweyn ama tiirarka lakabka badan leh wuxuu dhaliyaa kulayl badan, kaas oo keeni kara walbahaar, wareer, ama dildilaacyo yaryar oo ku jira filimada la dhigay. Qaboojinta firfircoon ee bartilmaameedyada, hayaha substrate-ka, iyo derbiyada qolka, oo ay weheliso la socodka heerkulka saxda ah, waxay hubisaa qaybinta tamarta isku midka ah waxayna yareysaa saameynta kulaylka ee wareegyada wax soo saarka ee dheer.

Ku kalsoonaanta farsamada iyo maaraynta substrate-ka ayaa sidoo kale door muhiim ah ka ciyaara ilaalinta xasilloonida. Nidaamyada culayska/soo dejinta robot-ka, wareegga saxda ah ee substrate-ka, iyo xakamaynta gudbiyaha otomaatiga ah ayaa yareeya faragelinta aadanaha, yareeya isku-dheellitirka, waxayna hubiyaan in si isku mid ah loo dhigo dhammaan substrate-ka. Maareynta habboon waxay ka hortagtaa xoqidda, wasakhowga, iyo kala duwanaanshaha dhumucda filimka taasoo waxyeellayn karta waxqabadka indhaha ama isku-midnimada shaqada.

Marka la soo koobo, sii wadida hawlgalka xasilloon ee qalabka dahaarka faakuumka ee wax soo saarka joogtada ah waxay u baahan tahay hab isku dhafan, oo isku daraya xakamaynta faakuumka aadka u sarreeya, xasilloonida balaasmaha, maaraynta kulaylka, iyo maaraynta substrate-ka saxda ah. Iyadoo la adeegsanayo kormeerka habka horumarsan, xakamaynta jawaab celinta, iyo maaraynta walxaha otomaatiga ah, nidaamyada dahaarka wax soo saarka sare leh waxay keeni karaan filimaan khafiif ah oo tayo sare leh oo dib loo soo saari karo iyadoo la yareynayo waqtiga shaqada, cilladaha, iyo kala duwanaanshaha wareegyada wax soo saarka ee dheeraadka ah. Istaraatiijiyadan dhammaystiran waxay hubinaysaa waxqabad joogto ah oo ku saabsan codsiyada muhiimka ah, oo ay ku jiraan dahaarka indhaha, photonics, aaladaha tamarta, iyo filimada shaqeynaya ee baaxadda weyn.

-Maqaalkan waxaa daabacaySoo saaraha qalabka dahaarka faakuumkaFaakiyuum Zhenhua