Tlhahiso e tsoelang pele libakeng tsa ho koahela ka vacuum ho hlahisa liphephetso tse ikhethang tse amang ka ho toba botsitso ba lisebelisoa, ho pheta-pheta ha ts'ebetso, le boleng ba filimi e tšesaane. Meleng ea PVD e nang le phallo e phahameng, ho sputtering ea magnetron, ALD, kapa PECVD, ho boloka liparamente tse tsitsitseng tsa ho beha ka nako e telele ea ts'ebetso ho bohlokoa, kaha esita le liphetoho tse nyane maemong a vacuum, botsitso ba plasma, kapa ts'ebetso ea sepheo li ka lebisa ho kheloha ho bokellaneng botenya ba filimi, index ea refractive, le thepa ea optical kapa ea mechini.
E 'ngoe ea liphephetso tsa mantlha ts'ebetsong e tsoelang pele ke ho boloka maemo a phahameng a vacuum ho sa tsotelehe meroalo e matla ea khase e tsoang ho kenyelletso ea substrate, likhase tse arabelang, le ho tsoa ha khase maboteng a kamore kapa li-substrate tse neng li koahetsoe pele. Ho feto-fetoha ha motsoako oa khase e setseng, ho kenyeletsoa mouoane oa metsi, oksijene, kapa li-hydrocarbon, ho ka baka liketso tse sa reroang tsa lik'hemik'hale, ho fetola stoichiometry ea filimi, le ho baka liphoso kapa litsi tsa ho monya tse sitisang ts'ebetso ea mahlo kapa ea ts'ebetso. Mekhoa e tsoetseng pele ea ho pompa vacuum, joalo ka lipompo tsa turbomolecular le cryogenic, hammoho le li-residual gas analyzers (RGA), li bohlokoa bakeng sa ho beha leihlo le ho laola sepakapaka sa kamore ka nako ea sebele ho netefatsa botsitso ba ts'ebetso.
Ho tsitsa ha plasma ho bohlokoa ka ho lekana bakeng sa tlhahiso e tsoelang pele. Mekhoa ea ho phunya ha magnetron e matla haholo kapa lits'ebetso tsa ho beoa ha ion li tlameha ho boloka bongata ba matla bo tsitsitseng, sekhahla sa khoholeho ea sepheo, le kabo ea matla a ion ho thibela liphetoho tsa sekhahla sa ho beoa, bongata ba filimi, le sebopeho sa micro. Lisebelisoa li tlameha ho kopanya ho lemoha arc, modulation ea matla a pulsed DC kapa RF, le litsamaiso tsa taolo ea closed-loop ho fokotsa ho se tsitse ho ka hlahang ts'ebetsong ea nako e telele, tšilafalo ea sepheo, kapa liphetoho tsa mojaro.
Taolo ea mocheso ke ntlha e 'ngoe ea bohlokoa e amang botsitso. Ho koaheloa ho tsoelang pele ha li-substrate tse kholo kapa li-stack tse nang le mekhahlelo e mengata ho hlahisa mocheso o moholo, o ka bakang khatello ea maikutlo, ho sotha, kapa mapetso a manyane lifiliming tse kentsoeng. Ho pholisa ka mafolofolo ha lipheo, li-substrate tse tšoereng le mabota a kamore, hammoho le tlhokomelo e nepahetseng ea mocheso, ho netefatsa kabo e ts'oanang ea matla le ho fokotsa litlamorao tse bokellaneng tsa mocheso nakong ea potoloho e telele ea tlhahiso.
Ho tšepahala ha mechine le ho sebetsana le substrate le tsona li bapala karolo ea bohlokoa ho bolokeng botsitso. Litsamaiso tsa ho kenya/ho ntsha thepa ka roboto, ho potoloha ha substrate ka nepo, le taolo ea ho tsamaisa thepa ka boiketsetso li fokotsa ho kenella ha batho, li fokotsa ho se lumellane hantle, 'me li netefatsa hore ho na le ho beoa ho tšoanang holim'a substrate tsohle. Ho sebetsana hantle ho thibela ho ngoatheha, tšilafalo le ho fapana ha botenya ba filimi tse ka sitisang ts'ebetso ea mahlo kapa ho tšoana ha ts'ebetso.
Ka bokhutšoanyane, ho boloka ts'ebetso e tsitsitseng ea lisebelisoa tsa ho koahela ka vacuum tlhahisong e tsoelang pele ho hloka mokhoa o kopaneng, o kopanyang taolo ea vacuum e phahameng haholo, botsitso ba plasma, tsamaiso ea mocheso, le ts'ebetso e nepahetseng ea substrate. Ka ho sebelisa tlhokomelo e tsoetseng pele ea ts'ebetso, taolo ea maikutlo, le ts'ebetso ea thepa e iketsang, litsamaiso tsa ho koahela ka mokhoa o phahameng li ka fana ka lifilimi tse tšesaane tse ka hlahisoang hape, tsa boleng bo holimo ha li ntse li fokotsa nako ea ho se sebetse, liphoso le liphetoho nakong ea potoloho e atolositsoeng ea tlhahiso. Leano lena le felletseng le netefatsa ts'ebetso e tsitsitseng lits'ebetsong tsa bohlokoa, ho kenyeletsoa le liphahlo tsa mahlo, li-photonics, lisebelisoa tsa matla, le lifilimi tse sebetsang sebakeng se seholo.
-Sengoloa sena se phatlalalitsoe kemoetsi oa lisebelisoa tsa ho roala ka vacuumLetsoho la Zhenhua
Nako ea poso: Hlakubele-19-2026