Hana mau I loko o nā wahi uhi hakahaka, hōʻike nā pilikia kūikawā e hoʻopilikia pololei i ke kūpaʻa o nā lako, ka hana hou ʻana o ke kaʻina hana, a me ka maikaʻi o ka ʻili lahilahi. I loko o nā laina PVD throughput kiʻekiʻe, magnetron sputtering, ALD, a i ʻole PECVD, he mea koʻikoʻi ka mālama ʻana i nā palena hoʻokaʻawale kūlike ma luna o nā wā hana lōʻihi, ʻoiai ʻo nā loli liʻiliʻi i nā kūlana hakahaka, ke kūpaʻa plasma, a i ʻole ka hana pahuhopu hiki ke alakaʻi i nā ʻokoʻa cumulative i ka mānoanoa o ka ʻili, ka helu refractive, a me nā waiwai optical a mechanical paha.
ʻO kekahi o nā pilikia nui i ka hana mau ʻana, ʻo ia ka hoʻomau ʻana i nā pae vacuum kiʻekiʻe loa ʻoiai nā ukana kinoea ikaika mai ka hoʻolauna ʻana o ka substrate, nā kinoea reactive, a me ka outgassing mai nā paia o ke keʻena a i ʻole nā substrates i uhi mua ʻia. ʻO nā loli i ka haku mele kinoea koena, me ka mahu wai, oxygen, a i ʻole hydrocarbons, hiki ke hoʻoulu i nā hopena kemika i manaʻo ʻole ʻia, hoʻololi i ka stoichiometry kiʻiʻoniʻoni, a hana i nā hemahema a i ʻole nā kikowaena absorption e hoʻopilikia i ka hana optical a hana paha. ʻO nā ʻōnaehana pumping vacuum holomua, e like me nā pamu turbomolecular a me cryogenic, i hui pū ʻia me nā mea kālailai kinoea koena (RGA), he mea nui ia no ka nānā ʻana a me ka kaohi ʻana i ka lewa o ke keʻena i ka manawa maoli e hōʻoia i ke kūpaʻa o ke kaʻina hana.
He mea koʻikoʻi like ke kūpaʻa o ka plasma no ka hana mau ʻana. Pono nā kaʻina hana hoʻoheheʻe magnetron mana kiʻekiʻe a i ʻole nā kaʻina hana hoʻokaʻawale i kōkua ʻia e ka ion e mālama i ka mana mau, nā helu erosion target, a me ka hoʻolaha ikehu ion e pale aku i nā ʻokoʻa o ka helu deposition, ka nui o ka film, a me ka microstructure. Pono nā lako e hoʻohui i ka ʻike arc, ka modulation mana pulsed DC a i ʻole RF, a me nā ʻōnaehana kaohi loop pani e hōʻemi i nā paʻa ʻole e hiki ke kū mai ka hana lōʻihi, ka haumia target, a i ʻole nā loli ukana.
ʻO ka hoʻokele wela kekahi kumu nui e hoʻopilikia ana i ke kūpaʻa. ʻO ka uhi mau ʻana o nā substrates nui a i ʻole nā pūʻulu multilayer e hoʻopuka i ka wela nui, hiki ke hoʻoulu i ke kaumaha, ka warping, a i ʻole nā micro-cracks i nā kiʻiʻoniʻoni i waiho ʻia. ʻO ka hoʻomaʻalili ikaika o nā pahuhopu, nā mea paʻa substrate, a me nā paia o ke keʻena, i hui pū ʻia me ka nānā ʻana i ka mahana pololei, e hōʻoia i ka hoʻolaha like ʻana o ka ikehu a hoʻemi i nā hopena wela cumulative ma luna o nā pōʻaiapuni hana lōʻihi.
He kuleana koʻikoʻi nō hoʻi ka hilinaʻi mīkini a me ka lawelawe ʻana i ka substrate i ka mālama ʻana i ke kūpaʻa. ʻO nā ʻōnaehana hoʻouka/wehe robotic, ka hoʻohuli substrate pololei, a me nā kaohi conveyor automated e hōʻemi i ke komo ʻana o ke kanaka, hoʻemi i ka misalignment, a hōʻoia i ka waiho like ʻana ma nā substrates āpau. Pale ka lawelawe kūpono i nā ʻōpala, ka haumia, a me ka ʻokoʻa o ka mānoanoa o ka kiʻiʻoniʻoni e hiki ke hoʻopilikia i ka hana optical a i ʻole ke ʻano hana.
I ka hōʻuluʻulu manaʻo, ʻo ka hoʻomau ʻana i ka hana paʻa o nā lako uhi hakahaka i ka hana mau ʻana e pono ai kahi ala i hoʻohui ʻia, e hoʻohui ana i ka mana hakahaka ultra-kiʻekiʻe, ka paʻa plasma, ka hoʻokele wela, a me ka lawelawe substrate pololei. Ma ka hoʻohana ʻana i ka nānā ʻana i ke kaʻina hana holomua, ka mana hoʻihoʻi, a me ka lawelawe ʻana i nā mea hana automated, hiki i nā ʻōnaehana uhi throughput kiʻekiʻe ke hāʻawi i nā kiʻiʻoniʻoni lahilahi kiʻekiʻe e hiki ke hana hou ʻia me ka hoʻemi ʻana i ka downtime, nā hemahema, a me nā ʻano like ʻole ma luna o nā pōʻaiapuni hana i hoʻolōʻihi ʻia. Hōʻoia kēia hoʻolālā piha i ka hana mau i nā noi koʻikoʻi, me nā uhi optical, photonics, nā mea ikehu, a me nā kiʻiʻoniʻoni hana nui.
-Ua paʻi ʻia kēia ʻatikala emea hana lako uhi vacuumʻO Zhenhua Vacuum
Ka manawa hoʻouna: Malaki-19-2026