Famokarana mitohy Ao anatin'ny tontolo fanaovana coating banga dia misy fanamby miavaka izay misy fiantraikany mivantana amin'ny fahamarinan'ny fitaovana, ny fahafahan'ny dingana miverimberina, ary ny kalitaon'ny sarimihetsika manify. Ao amin'ny tsipika PVD, magnetron sputtering, ALD, na PECVD avo lenta, ny fitazonana ny masontsivana fametrahana tsy miovaova mandritra ny fotoana fiasana maharitra dia tena ilaina, satria na dia ny fiovaovan'ny toe-javatra banga, ny fahamarinan'ny plasma, na ny fahombiazan'ny lasibatra aza dia mety hitarika fivilian-dalana mitambatry ny hatevin'ny sarimihetsika, ny fanondroana refractive, ary ny toetra optika na mekanika.
Ny iray amin'ireo fanamby voalohany amin'ny fiasana mitohy dia ny fitazonana ny haavon'ny banga avo dia avo na dia eo aza ny entona miovaova avy amin'ny fampidirana substrate, ny entona mihetsika, ary ny fivoahan'ny entona avy amin'ny rindrin'ny efitrano na ny substrate efa voarakotra. Ny fiovaovan'ny firafitry ny entona sisa tavela, anisan'izany ny etona rano, oksizenina, na hydrocarbons, dia mety hiteraka fihetsika simika tsy nahy, manova ny stoichiometry sarimihetsika, ary mamorona lesoka na foibe fidiran'ny entona izay manimba ny fampisehoana optika na ny fiasa. Ny rafitra paompy banga mandroso, toy ny paompy turbomolecular sy cryogenic, miaraka amin'ny mpandinika entona sisa tavela (RGA), dia tena ilaina amin'ny fanaraha-maso sy fanaraha-maso mivantana ny atmosfera ao amin'ny efitrano mba hahazoana antoka ny fahamarinan'ny dingana.
Zava-dehibe ihany koa ny fahamarinan'ny plasma amin'ny famokarana mitohy. Ny dingana fametrahana magnetron mahery vaika na ny fametrahana ion-assisted dia tsy maintsy mitazona ny hakitroky ny herinaratra, ny tahan'ny fahasimbana kendrena, ary ny fizarana angovo ion tsy miovaova mba hisorohana ny fiovaovan'ny tahan'ny fametrahana, ny hakitroky ny sarimihetsika, ary ny rafitra bitika. Ny fitaovana dia tsy maintsy mampiditra ny famantarana ny arc, ny modulation herinaratra DC na RF pulsed, ary ny rafitra fanaraha-maso mihidy mba hampihenana ny tsy fandriam-pahalemana izay mety hipoitra avy amin'ny fampiasana maharitra, ny fahalotoan'ny kendrena, na ny fiovan'ny enta-mavesatra.
Ny fitantanana ny hafanana dia anton-javatra lehibe iray hafa izay misy fiantraikany amin'ny fahamarinan-toerana. Ny fandrakofana mitohy ny substrates lehibe na ny stacks misy sosona maro dia miteraka hafanana be, izay mety hiteraka fihenjanana, fiolahana, na triatra bitika amin'ny sarimihetsika napetraka. Ny fampangatsiahana mavitrika ny lasibatra, ny mpihazona substrate, ary ny rindrin'ny efitrano, miaraka amin'ny fanaraha-maso marina ny mari-pana, dia miantoka ny fizarana angovo mitovy ary mampihena ny fiantraikan'ny hafanana miangona mandritra ny tsingerin'ny famokarana lava.
Ny fahatokisana ara-mekanika sy ny fikirakirana ny substrate dia mitana anjara toerana lehibe amin'ny fitazonana ny fahamarinan-toerana. Ny rafitra fampidirana/famoahana entana amin'ny alalan'ny robot, ny fihodinan'ny substrate mazava tsara, ary ny fanaraha-maso mandeha ho azy ny conveyor dia mampihena ny fidiran'ny olombelona an-tsehatra, mampihena ny tsy fitoviana, ary miantoka ny fametrahana mitovy amin'ny substrate rehetra. Ny fikirakirana araka ny tokony ho izy dia misoroka ny fikikisana, ny loto ary ny fiovaovan'ny hatevin'ny sarimihetsika izay mety hanimba ny fahombiazan'ny optika na ny fitoviana amin'ny fiasa.
Raha fintinina, ny fitazonana ny fiasan'ny fitaovana fandokoana banga ho marin-toerana amin'ny famokarana mitohy dia mitaky fomba fiasa mitambatra, mampifangaro ny fanaraha-maso banga avo lenta, ny fahamarinan'ny plasma, ny fitantanana ny hafanana, ary ny fikirakirana ny substrate mazava tsara. Amin'ny alàlan'ny fampiasana ny fanaraha-maso mandroso ny dingana, ny fanaraha-maso ny feedback, ary ny fikirakirana fitaovana mandeha ho azy, ny rafitra fandokoana avo lenta dia afaka manome sarimihetsika manify azo averina sy avo lenta sady mampihena ny fotoana tsy fiasana, ny lesoka ary ny fiovaovana mandritra ny tsingerin'ny famokarana maharitra. Ity paikady feno ity dia miantoka ny fahombiazana tsy tapaka amin'ny fampiharana manan-danja, anisan'izany ny fandokoana optika, ny photonics, ny fitaovana angovo, ary ny sarimihetsika miasa amin'ny faritra midadasika.
-Navoakan'nympanamboatra fitaovana fanosotra bangaZhenhua Vacuum
Fotoana fandefasana: 19 Martsa 2026