Buglanýan örtük enjamlary, optiki enjamlar, elektron enjamlary, bezeg örtükleri we ş.m. meýdanlarynda giňden ulanylýan substratyň ýüzüne inçe film materiallaryny goýmak üçin ulanylýan enjamlaryň bir görnüşidir. Buglanýan örtük, esasan, gaty materiallary gazly ýagdaýa öwürmek üçin ýokary temperaturany ulanýar we wakuum gurşawynda substrata goýulýar. Aşakda bugarýan örtük enjamlarynyň iş prinsipi bar:
Wakuum gurşawy:
Buglanýan örtük enjamlarynyň işi bugarmak döwründe materialyň howadaky kislorod ýa-da beýleki hapalar bilen täsir etmeginiň öňüni almak we goýlan filmiň arassalygyny üpjün etmek üçin ýokary wakuum gurşawynda amala aşyrylmalydyr.
Wakuum kamerasy mehaniki nasoslar we diffuziýa nasoslary ýaly enjamlar arkaly zerur wakuum derejesine ýetýär.
Buglaşma çeşmesi:
Buglaşma çeşmesi örtük materialyny gyzdyrmak we bugarmak üçin ulanylýan enjamdyr. Adaty bugarmak çeşmelerine garşylyk ýyladyş çeşmeleri, elektron şöhlesiniň bugarmak çeşmeleri we lazer bugarmak çeşmeleri girýär.
Garşylyk ýyladyşy: materialy bugarmak üçin garşylyk siminiň üsti bilen gyzdyrmak.
Elektron şöhlesiniň bugarmagy: örtülen materialy bugarmak üçin göni gyzdyrmak üçin elektron şöhlesini çykarmak üçin elektron ýaragy ulanmak.
Lazer bugarmagy: materialyň çalt bugarmagy üçin ýokary energiýa lazer şöhlesi bilen şöhlelendiriň.
Buglamak prosesi:
Örtülen material bugarma çeşmesiniň ýokary temperaturasynda gaty ýa-da suwuk ýagdaýdan gaz ýagdaýyna öwrülýär we bug emele getirýär.
Bu bug molekulalary wakuum gurşawynda erkin hereket edýärler we ähli tarapa ýaýraýarlar.
Filmiň ýerleşdirilmegi:
Bug molekulalary inçe film döretmek üçin hereket edende, kondensirlenip we goýlanda substratyň sowadylan ýüzüne duşýarlar.
Substrat filmiň birmeňzeşligini we yzygiderliligini üpjün etmek üçin bug gurşawyna aýlanyp ýa-da başgaça täsir edip biler.
Sowatmak we bejermek:
Çökdürilenden soň, film aşaky fiziki gatlagy emele getirýär we belli bir fiziki we himiki aýratynlyklary bolan inçe film gatlagyny emele getirýär.
Ulanyş ugurlary
Optiki örtük: Anti-reflektor filmleri, aýnalary, süzgüçleri we beýleki optiki komponentleri ýasamak üçin ulanylýar.
Elektron enjamlar: integral zynjyrlary, ýarymgeçiriji enjamlary, displeý enjamlaryny we ş.m. öndürmek üçin ulanylýar.
Bezeg örtükleri: estetikany gowulaşdyrmak we geýmäge garşylyk görkezmek üçin bezegleriň, sagatlaryň, şaý-sepleriň we ş.m. ýerüsti örtük üçin ulanylýar.
Funksiýa örtükleri: poslama garşy, okislenmä garşy we könelişme ýaly aýratyn funksiýalary bolan filmler döretmek üçin ulanylýar.
Highokary arassalygy, birmeňzeşligi we köp funksiýalylygy bilen bugarýan örtük tehnologiýasy köp takyklyk we ýokary islegli programmalarda giňden ulanyldy.
IsBu makala çap edildivakuum örtük maşyn öndürijisiGuangdong Zhenhua
Iş wagty: Iýul-23-2024