Gaty materiallary ýokary vakuum gurşawynda gyzdyrmak ýa-da bugarmak we inçe film almak üçin belli bir substrata goýmak prosesi wakuum bugarmak örtügi (bugarma örtügi diýilýär) diýilýär.
Wakuum bugarmak prosesi bilen inçe filmleri taýýarlamagyň taryhyny 1850-nji ýyllardan gözbaş alyp bolar. 1857-nji ýylda M. Farrar wakuum örtük synanyşygyna azotdaky metal simleri bugaryp, inçe filmler döretmek synanyşygyna başlady. Şol döwürde wakuum tehnologiýasynyň pesligi sebäpli inçe filmleri bu görnüşde taýýarlamak gaty köp wagt talap edýärdi we amaly däldi. 1930-njy ýyla çenli nebit diffuziýa nasosy mehaniki nasos bilelikdäki nasos ulgamy döredilýänçä, wakuum tehnologiýasy çalt ösüp biler, diňe bugarmak we dökülýän örtük amaly tehnologiýa öwrüler.
Wakuum bugarmagy gadymy inçe film çökdürmek tehnologiýasy bolsa-da, iň giňden ulanylýan usulda ulanylýan laboratoriýa we önümçilik ýerleri. Onuň esasy artykmaçlyklary ýönekeý işlemek, çöketlik parametrlerine aňsat gözegçilik etmek we emele gelen filmleriň ýokary arassalygy. Wakuum örtük prosesini aşakdaky üç basgançaga bölmek mümkin.
1) çeşme materialy bugarmak ýa-da sublimasiýa etmek üçin gyzdyrylýar we ereýär; 2) bug çeşmesi materialdan bugarmak ýa-da sublimasiýa etmek üçin aýrylýar.
2) Bug çeşme materialdan substrata geçirilýär.
3) Bug gaty film döretmek üçin substratyň üstündäki kondensatlar.
Inçe filmleriň wakuum bugarmagy, adatça polikristally film ýa-da amorf filmdir, nukleasiýa we iki prosesi surata düşürmek arkaly adanyň ösmegine çenli film agdyklyk edýär. Buglanan atomlar (ýa-da molekulalar) substrat bilen çaknyşýar, substrata hemişelik goşulmagyň bir bölegi, adsorbsiýanyň bir bölegi, soň bolsa substratdan bugarýar we göni şöhlelenmäniň bir bölegi substratyň üstünden gaýdýar. Malylylyk hereketi sebäpli atomlaryň (ýa-da molekulalaryň) aşaky gatlagyna ýelmeşmek, beýleki atomlara degmek ýaly toparlara ýygnanar. Klasterler, substratyň üstündäki stresiň ýokary bolan ýerinde ýa-da kristal substratyň halas ediş basgançaklarynda ýüze çykmagy ähtimal, sebäbi bu adsorbsirlenen atomlaryň erkin energiýasyny azaldýar. Bu ýadro prosesi. Atomlaryň (molekulalaryň) mundan beýläk çökmegi, ýokarda agzalan ada görnüşindäki toparlaryň (ýadrolaryň) üznüksiz filme çenli uzalmagyna getirýär. Şonuň üçin wakuum bugarýan polikristally filmleriň gurluşy we häsiýetleri bugarmagyň tizligi we substratyň temperaturasy bilen berk baglanyşyklydyr. Umuman aýdanyňda, substratyň temperaturasy näçe pes bolsa, bugarmak derejesi şonça ýokary, film dänesi has inçe we dykyz bolýar.
IsBu makala çap edildivakuum örtük maşyn öndürijisiGuangdong Zhenhua
Iş wagty: Mart-23-2024