บทบาทของปั๊มสุญญากาศชนิดต่างๆ ในระบบสุญญากาศ

นอกจากความสามารถในการสูบสุญญากาศเข้าไปในห้องแล้ว ประสิทธิภาพของปั๊มสุญญากาศแต่ละชนิดยังแตกต่างกันออกไป ดังนั้น การทำความเข้าใจหน้าที่ของปั๊มในระบบสุญญากาศจึงมีความสำคัญอย่างยิ่งเมื่อต้องเลือกใช้ และบทบาทของปั๊มในแต่ละด้านการทำงานนั้นสรุปได้ดังนี้

1. ทำหน้าที่เป็นปั๊มหลักในระบบ
ปั๊มหลักคือปั๊มสุญญากาศที่สูบอากาศเข้าไปในห้องสุญญากาศของระบบสุญญากาศโดยตรง เพื่อให้ได้ระดับสุญญากาศที่ต้องการตามข้อกำหนดของกระบวนการ
2. ปั๊มสูบน้ำแบบหยาบ
ปั๊มแบบหยาบ (Rough pumping pump) คือปั๊มสุญญากาศที่เริ่มลดความดันอากาศ และความดันของระบบสุญญากาศจะไปถึงระบบปั๊มอีกระบบหนึ่งซึ่งสามารถเริ่มทำงานได้
3. ปั๊มขั้นก่อน
ปั๊มขั้นก่อน (Pre-stage pump) คือปั๊มสุญญากาศที่ใช้เพื่อรักษาระดับความดันก่อนการทำงานของปั๊มอีกตัวหนึ่งให้ต่ำกว่าระดับความดันก่อนการทำงานสูงสุดที่อนุญาต
4. ปั๊มสำหรับกักเก็บ
ปั๊มรักษาแรงดันเป็นปั๊มที่ไม่สามารถใช้งานร่วมกับปั๊มหลักในขั้นตอนก่อนการดูดได้อย่างมีประสิทธิภาพเมื่อปริมาณการสูบของระบบสุญญากาศมีน้อยมาก ด้วยเหตุนี้ จึงมีการใช้ปั๊มเสริมในขั้นตอนก่อนการดูดอีกชนิดหนึ่งที่มีความเร็วในการสูบต่ำกว่าในระบบสุญญากาศ เพื่อรักษาระดับการทำงานปกติของปั๊มหลัก หรือเพื่อรักษาระดับแรงดันต่ำที่จำเป็นสำหรับภาชนะที่ถูกดูดออก
5. ปั๊มสุญญากาศแบบหยาบหรือปั๊มสุญญากาศแรงดันต่ำ
ปั๊มสุญญากาศแบบหยาบหรือแบบแรงดันต่ำ คือปั๊มสุญญากาศที่เริ่มต้นจากอากาศและทำงานในช่วงแรงดันสุญญากาศต่ำหรือแบบหยาบ หลังจากลดแรงดันของภาชนะที่สูบแล้ว
6. ปั๊มสุญญากาศแรงสูง
ปั๊มสุญญากาศสูง หมายถึง ปั๊มสุญญากาศที่ทำงานในช่วงสุญญากาศสูง
7. ปั๊มสุญญากาศระดับสูงพิเศษ
ปั๊มสุญญากาศระดับสูงพิเศษ หมายถึง ปั๊มสุญญากาศที่ทำงานในช่วงสุญญากาศระดับสูงมาก
8. ปั๊มเพิ่มแรงดัน
โดยทั่วไป ปั๊มบูสเตอร์หมายถึงปั๊มสุญญากาศที่ทำงานอยู่ระหว่างปั๊มสุญญากาศแรงดันต่ำและปั๊มสุญญากาศแรงดันสูง เพื่อเพิ่มกำลังการสูบของระบบสูบน้ำในช่วงแรงดันปานกลาง หรือลดอัตราการสูบน้ำที่ปั๊มเดิมต้องการ

ข้อมูลเบื้องต้นเกี่ยวกับเครื่องทำความสะอาดไอออน

เครื่องทำความสะอาดพลาสมา
1. พลาสมาเป็นก๊าซที่แตกตัวเป็นไอออน โดยมีความหนาแน่นของไอออนบวกและอิเล็กตรอนใกล้เคียงกัน ประกอบด้วยไอออน อิเล็กตรอน อนุมูลอิสระ และอนุภาคที่เป็นกลาง
2. พลาสมาเป็นสถานะที่สี่ของสสาร เนื่องจากพลาสมาเป็นการรวมกันของพลังงานที่สูงกว่าแก๊ส สสารในสภาพแวดล้อมของพลาสมาจึงสามารถแสดงคุณสมบัติทางเคมีกายภาพและปฏิกิริยาอื่นๆ ได้มากขึ้น
3. กลไกการทำงานของเครื่องทำความสะอาดด้วยพลาสมานั้นอาศัย "สถานะพลาสมา" ของวัสดุเพื่อ "กระตุ้น" คราบสกปรกบนพื้นผิว
4. การทำความสะอาดด้วยพลาสมาเป็นวิธีการทำความสะอาดที่ขจัดคราบได้อย่างหมดจดที่สุดในบรรดาวิธีการทำความสะอาดทั้งหมด สามารถนำไปใช้ได้อย่างกว้างขวางในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ ไมโครอิเล็กทรอนิกส์ COG LCD LCM และ LED
5. การทำความสะอาดอย่างแม่นยำก่อนการบรรจุอุปกรณ์ การผลิตอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์สุญญากาศ ตัวเชื่อมต่อและรีเลย์ อุตสาหกรรมเซลล์แสงอาทิตย์ การทำความสะอาดพื้นผิวพลาสติก ยาง โลหะ และเซรามิก รวมถึงการกัดกรด การขจัดเถ้า การกระตุ้นพื้นผิว และสาขาอื่นๆ ของการทดลองทางวิทยาศาสตร์ชีวภาพ