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진공 시스템에서 다양한 진공 펌프의 역할

기사 출처:Zhenhua 진공
읽기:10
게시됨:22-11-07

다양한 진공 펌프의 성능에는 진공을 챔버로 펌핑하는 기능 외에 다른 차이점이 있습니다.따라서 선택시 진공 시스템에서 펌프가 수행하는 작업을 명확히하는 것이 매우 중요하며 다양한 작업 분야에서 펌프가 수행하는 역할은 다음과 같이 요약됩니다.

1. 시스템의 메인 펌프
메인 펌프는 공정 요구 사항을 충족하는 데 필요한 진공도를 얻기 위해 진공 시스템의 펌핑된 챔버를 직접 펌핑하는 진공 펌프입니다.
2, 거친 펌핑 펌프
러프 펌핑 펌프는 공기압에서 감소하기 시작하는 진공 펌프이며 진공 시스템의 압력은 작동을 시작할 수 있는 다른 펌핑 시스템에 도달합니다.
3, 사전 단계 펌프
사전 단계 펌프는 다른 펌프의 사전 단계 압력을 허용되는 최고 사전 단계 압력 미만으로 유지하는 데 사용되는 진공 펌프입니다.
4, 홀딩 펌프
홀딩 펌프는 진공 시스템 펌핑이 매우 작을 때 메인 프리 스테이지 펌프를 효과적으로 사용할 수 없는 펌프입니다.이러한 이유로 주 펌프의 정상 작동을 유지하거나 빈 용기에 필요한 낮은 압력을 유지하기 위해 진공 시스템에서 펌핑 속도가 더 작은 다른 종류의 보조 사전 단계 펌프가 사용됩니다.
5, 거친 진공 펌프 또는 낮은 진공 펌프
러프 또는 저진공 펌프는 공기에서 시작하여 펌핑되는 용기의 압력을 낮춘 후 저진공 또는 러프 진공 압력 범위에서 작동하는 진공 펌프입니다.
6, 고진공 펌프
고진공 펌프는 고진공 범위에서 작동하는 진공 펌프를 말합니다.
7, 초고진공 펌프
초고진공 펌프는 초고진공 범위에서 작동하는 진공 펌프를 말합니다.
8, 부스터 펌프
부스터 펌프는 일반적으로 중간 압력 범위에서 펌핑 시스템의 펌핑 용량을 늘리거나 이전 펌프의 펌핑 속도 요구 사항을 줄이기 위해 저진공 펌프와 고진공 펌프 사이에서 작동하는 진공 펌프를 말합니다.
진공 시스템에서 다양한 진공 펌프의 역할
이온 클리너 소개

플라즈마 클리너
1. 플라즈마는 양이온과 전자의 밀도가 거의 같은 이온화된 기체입니다.이온, 전자, 자유 라디칼 및 중성 입자로 구성됩니다.
2. 물질의 네 번째 상태입니다.플라즈마는 가스보다 높은 에너지의 조합이므로 플라즈마 환경의 물질은 더 많은 물리 화학적 및 기타 반응 특성을 얻을 수 있습니다.
3. 플라즈마 클리닝 기계 메커니즘은 재료 "활성화 효과"의 "플라즈마 상태"에 의존하여 표면 얼룩을 제거합니다.
4. 플라즈마 세정은 또한 모든 세정 방법 중에서 가장 바닥이 없는 스트리핑 세정 방식입니다.그것은 반도체, 마이크로 전자 공학, COG, LCD, LCM 및 LED 공정에서 널리 사용될 수 있습니다.
5. 장치 포장 전 정밀 세척, 진공 전자 장치, 커넥터 및 릴레이, 태양 광 발전 산업, 플라스틱, 고무, 금속 및 세라믹 표면 세척, 에칭 처리, 애싱 처리, 표면 활성화 및 기타 생명 과학 실험 분야.


게시 시간: 2022년 11월 07일