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진공 시스템에서 다양한 진공 펌프의 역할

기사 출처: Zhenhua vacuum
읽은 횟수: 10
게시일: 2007년 11월 22일

진공 펌프의 성능은 챔버에 진공을 주입하는 능력 외에도 여러 가지 차이점이 있습니다. 따라서 진공 시스템에서 펌프가 수행하는 역할을 명확히 파악하는 것이 선택에 있어 매우 중요하며, 펌프가 각기 다른 작업 영역에서 수행하는 역할은 다음과 같이 요약할 수 있습니다.

1. 시스템의 메인 펌프 역할을 합니다.
주 펌프는 진공 시스템의 펌핑 챔버를 직접 펌핑하여 공정 요구 사항을 충족하는 데 필요한 진공도를 얻는 진공 펌프입니다.
2. 저압 펌핑 펌프
러프 펌핑 펌프는 공기압을 낮추는 것부터 시작하여 진공 시스템의 압력이 다른 펌핑 시스템에 도달하면 작동을 시작할 수 있는 진공 펌프입니다.
3. 프리스테이지 펌프
프리스테이지 펌프는 다른 펌프의 프리스테이지 압력을 허용된 최고 프리스테이지 압력 이하로 유지하는 데 사용되는 진공 펌프입니다.
4. 홀딩 펌프
홀딩 펌프는 진공 시스템의 펌핑량이 매우 적을 때 메인 프리스테이지 펌프를 효율적으로 사용할 수 없는 펌프입니다. 이러한 이유로, 메인 펌프의 정상적인 작동을 유지하거나 빈 용기에 필요한 저압을 유지하기 위해 펌핑 속도가 더 작은 보조 프리스테이지 펌프가 진공 시스템에 사용됩니다.
5. 저진공 펌프 또는 저진공 펌프
저진공 펌프는 공기를 진공으로 사용하여 펌핑 대상 용기의 압력을 낮춘 후 저진공 또는 저진공 압력 범위에서 작동하는 진공 펌프입니다.
6. 고진공 펌프
고진공 펌프는 높은 진공 범위에서 작동하는 진공 펌프를 말합니다.
7. 초고진공 펌프
초고진공 펌프는 극고진공 범위에서 작동하는 진공 펌프를 말합니다.
8. 부스터 펌프
부스터 펌프는 일반적으로 저진공 펌프와 고진공 펌프 사이에서 작동하여 중간 압력 범위에서 펌핑 시스템의 펌핑 용량을 증가시키거나 기존 펌프의 펌핑 속도 요구량을 줄이는 진공 펌프를 의미합니다.
진공 시스템에서 다양한 진공 펌프의 역할
이온 세척기 소개

플라즈마 클리너
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2. 플라즈마는 물질의 네 번째 상태입니다. 플라즈마는 기체보다 높은 에너지를 가지고 있기 때문에, 플라즈마 환경 내의 물질은 더욱 다양한 물리화학적 및 기타 반응 특성을 나타낼 수 있습니다.
3. 플라즈마 세척기의 작동 원리는 재료의 "플라즈마 상태"와 "활성화 효과"를 이용하여 표면의 얼룩을 제거하는 것입니다.
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게시 시간: 2022년 11월 7일