تختلف مضخات التفريغ المختلفة في أدائها إلى جانب قدرتها على ضخ التفريغ إلى الحجرة. لذا، من المهم جدًا توضيح العمل الذي تقوم به المضخة في نظام التفريغ عند اختيارها، ويمكن تلخيص دورها في مختلف مجالات العمل كما يلي.
1- كونها المضخة الرئيسية في النظام
المضخة الرئيسية هي مضخة التفريغ التي تقوم بضخ حجرة التفريغ مباشرة للحصول على درجة التفريغ المطلوبة لتلبية متطلبات العملية.
2- مضخة الضخ الخشن
مضخة الضخ الخشن هي مضخة تفريغ تبدأ في الانخفاض من ضغط الهواء ويصل ضغط نظام التفريغ إلى نظام ضخ آخر يمكنه البدء في العمل.
3- مضخة المرحلة الأولية
مضخة المرحلة المسبقة هي مضخة تفريغ تستخدم للحفاظ على ضغط المرحلة المسبقة لمضخة أخرى أقل من أعلى ضغط مسموح به للمرحلة المسبقة.
4- مضخة الاحتفاظ
مضخة الاحتجاز هي مضخة لا تستطيع الاستفادة بكفاءة من مضخة المرحلة الأولية الرئيسية عندما يكون ضخ نظام التفريغ منخفضًا جدًا. لهذا السبب، يُستخدم نوع آخر من مضخات المرحلة الأولية المساعدة ذات سرعة ضخ أقل في نظام التفريغ للحفاظ على التشغيل الطبيعي للمضخة الرئيسية أو للحفاظ على الضغط المنخفض المطلوب للحاوية الفارغة.
5- مضخة تفريغ خشنة أو مضخة تفريغ منخفضة
مضخة التفريغ الخشن أو المنخفض هي مضخة تفريغ تبدأ من الهواء وتعمل في نطاق ضغط التفريغ المنخفض أو الخشن بعد تقليل ضغط الحاوية التي يتم ضخها.
6- مضخة تفريغ عالية
تشير مضخة التفريغ العالي إلى مضخة التفريغ التي تعمل في نطاق التفريغ العالي.
7- مضخة تفريغ فائقة العلو
تشير مضخة التفريغ فائقة العلو إلى مضخة التفريغ التي تعمل في نطاق التفريغ فائق العلو.
8- مضخة معززة
يشير مصطلح مضخة التعزيز عادةً إلى مضخة التفريغ التي تعمل بين مضخة التفريغ المنخفض ومضخة التفريغ العالي لزيادة قدرة الضخ لنظام الضخ في نطاق الضغط المتوسط أو تقليل متطلبات معدل الضخ للمضخة السابقة.
مقدمة عن جهاز التنظيف الأيوني
جهاز تنظيف البلازما
1. البلازما عبارة عن غاز متأين تتساوى فيه تقريبًا كثافة الأيونات الموجبة والإلكترونات. وهي تتكون من أيونات وإلكترونات وجذور حرة وجسيمات متعادلة.
2. إنها الحالة الرابعة للمادة. ولأن البلازما عبارة عن مزيج من طاقة أعلى من الغاز، فإن المادة الموجودة في بيئة البلازما يمكن أن تكتسب المزيد من الخصائص الفيزيائية والكيميائية وخصائص التفاعل الأخرى.
3. تعتمد آلية عمل آلة التنظيف بالبلازما على "حالة البلازما" للمادة و"تأثير التنشيط" لإزالة البقع السطحية.
4. يُعدّ التنظيف بالبلازما من أكثر طرق التنظيف فعاليةً في إزالة الطبقات الداخلية، ويمكن استخدامه على نطاق واسع في عمليات أشباه الموصلات، والإلكترونيات الدقيقة، وشاشات العرض، وشاشات الكريستال السائل، وشاشات الكريستال السائل المدمجة، وشاشات LED.
5. التنظيف الدقيق قبل تغليف الأجهزة، والإلكترونيات الفراغية، والموصلات والمرحلات، وصناعة الخلايا الكهروضوئية الشمسية، وتنظيف أسطح البلاستيك والمطاط والمعادن والسيراميك، ومعالجة الحفر، ومعالجة الرماد، وتنشيط الأسطح، وغيرها من مجالات تجارب علوم الحياة.
تاريخ النشر: 7 نوفمبر 2022