Төрөл бүрийн вакуум насосны гүйцэтгэл нь вакуумыг камерт шахах чадвараас гадна бусад ялгааг агуулдаг. Тиймээс сонгохдоо вакуум системд насос ямар ажил гүйцэтгэж байгааг тодруулах нь маш чухал бөгөөд насосны янз бүрийн ажлын талбарт гүйцэтгэж буй үүргийг дараах байдлаар нэгтгэн дүгнэв.
1, Системийн гол насос байх
Үндсэн насос нь вакуум системийн шахагдсан камерыг шууд шахаж, процессын шаардлагыг хангахын тулд шаардлагатай вакуум түвшинг авдаг вакуум насос юм.
2, Барзгар шахуургын насос
Барзгар шахуургын насос нь агаарын даралтаас болж буурч эхэлдэг вакуум насос бөгөөд вакуум системийн даралт ажиллаж эхлэх боломжтой өөр шахуургын системд хүрдэг.
3, Урьдчилсан шатны насос
Урьдчилсан шатны насос гэдэг нь өөр насосны урьдчилсан шатны даралтыг зөвшөөрөгдсөн хамгийн өндөр урьдчилсан даралтаас доогуур байлгахад ашигладаг вакуум насос юм.
4, Барих насос
Барих насос нь вакуум системийн шахуурга маш бага үед үндсэн урьдчилсан шатны насосыг үр дүнтэй ашиглаж чадахгүй насос юм. Ийм учраас үндсэн насосны хэвийн ажиллагааг хангах эсвэл хоосолсон саванд шаардлагатай бага даралтыг хадгалахын тулд вакуум системд бага шахах хурдтай өөр төрлийн туслах урьдчилсан шатны насосыг ашигладаг.
5, Барзгар вакуум насос эсвэл бага вакуум насос
Барзгар эсвэл нам вакуум насос нь агаараас эхэлж, шахагдсан савны даралтыг бууруулсны дараа бага эсвэл барзгар вакуум даралтын хүрээнд ажилладаг вакуум насос юм.
6, Өндөр вакуум насос
Өндөр вакуум насос гэдэг нь өндөр вакуум мужид ажилладаг вакуум насосыг хэлнэ.
7, Хэт өндөр вакуум насос
Хэт өндөр вакуум насос гэдэг нь хэт өндөр вакуум мужид ажилладаг вакуум насосыг хэлнэ.
8, Өргөлтийн насос
Өргөлтийн насос гэдэг нь ихэвчлэн дунд даралтын хязгаарт шахах системийн шахах хүчин чадлыг нэмэгдүүлэх эсвэл өмнөх насосны шахах хурдны шаардлагыг бууруулахын тулд бага вакуум насос болон өндөр вакуум насосын хооронд ажилладаг вакуум насосыг хэлнэ.
Ион цэвэрлэгчийн танилцуулга
Плазмын цэвэрлэгч
1. Плазм нь эерэг ион ба электронуудын нягтрал ойролцоогоор тэнцүү байдаг ионжуулсан хий юм. Энэ нь ионууд, электронууд, чөлөөт радикалууд болон төвийг сахисан хэсгүүдээс бүрдэнэ.
2. Энэ бол бодисын дөрөв дэх төлөв юм. Плазм нь хийнээс илүү өндөр энергийн нэгдэл тул плазмын орчин дахь бодис нь илүү физик-химийн болон бусад урвалын шинж чанарыг олж авах боломжтой.
3. Плазмын цэвэрлэгээний машины механизм нь гадаргуугийн толбыг арилгахын тулд материалын "плазмын төлөв"-д тулгуурладаг "идэвхжүүлэх нөлөө" юм.
4. Плазмын цэвэрлэгээ нь бүх цэвэрлэгээний аргуудын дотроос хамгийн ёроолгүй цэвэрлэгээний төрөл юм. Үүнийг хагас дамжуулагч, микроэлектроник, COG, LCD, LCM болон LED процесст өргөн ашиглаж болно.
5. Төхөөрөмжийн сав баглаа боодол, вакуум электроник, холбогч болон реле, нарны фотоволтайк үйлдвэрлэл, хуванцар, резин, металл болон керамик гадаргууг цэвэрлэх, сийлбэрийн боловсруулалт, үнслэгийн боловсруулалт, гадаргууг идэвхжүүлэх болон амьдралын шинжлэх ухааны бусад туршилтын өмнө нарийн цэвэрлэгээ хийх.
Нийтэлсэн цаг: 2022 оны 11-р сарын 7