Neben ihrer Fähigkeit, ein Vakuum in die Kammer zu pumpen, weisen verschiedene Vakuumpumpen weitere Leistungsunterschiede auf. Daher ist es bei der Auswahl einer Vakuumpumpe sehr wichtig, deren Funktion im Vakuumsystem zu verstehen. Die Rolle der Pumpe in verschiedenen Anwendungsbereichen wird im Folgenden zusammengefasst.
1. Die Hauptpumpe im System zu sein.
Die Hauptpumpe ist die Vakuumpumpe, die die Vakuumkammer des Vakuumsystems direkt evakuiert, um den für die Prozessanforderungen erforderlichen Vakuumgrad zu erreichen.
2. Grobpumppumpe
Die Grobpumpe ist die Vakuumpumpe, die mit der Reduzierung des Luftdrucks beginnt, und der Druck des Vakuumsystems erreicht ein anderes Pumpensystem, das dann zu arbeiten beginnt.
3. Vorstufenpumpe
Die Vorstufenpumpe ist eine Vakuumpumpe, die dazu dient, den Vorstufendruck einer anderen Pumpe unterhalb des maximal zulässigen Vorstufendrucks zu halten.
4. Haltepumpe
Eine Haltepumpe ist eine Pumpe, die die Hauptvorstufe nicht effektiv nutzen kann, wenn das Vakuumsystem nur sehr geringe Fördermengen benötigt. Aus diesem Grund wird im Vakuumsystem eine weitere Art von Hilfsvorstufe mit geringerer Förderleistung eingesetzt, um den normalen Betrieb der Hauptpumpe aufrechtzuerhalten oder den für den entleerten Behälter erforderlichen niedrigen Druck zu gewährleisten.
5. Grobvakuumpumpe oder Niedrigvakuumpumpe
Eine Grobvakuumpumpe ist eine Vakuumpumpe, die mit Luft arbeitet und im Bereich des Grobvakuums arbeitet, nachdem der Druck des zu pumpenden Behälters reduziert wurde.
6. Hochvakuumpumpe
Eine Hochvakuumpumpe ist eine Vakuumpumpe, die im Hochvakuumbereich arbeitet.
7. Ultrahochvakuumpumpe
Eine Ultrahochvakuumpumpe ist eine Vakuumpumpe, die im Ultrahochvakuumbereich arbeitet.
8. Boosterpumpe
Der Begriff Boosterpumpe bezeichnet üblicherweise eine Vakuumpumpe, die zwischen einer Niedervakuumpumpe und einer Hochvakuumpumpe arbeitet, um die Förderleistung des Pumpsystems im mittleren Druckbereich zu erhöhen oder den Fördermengenbedarf der erstgenannten Pumpe zu reduzieren.
Einführung in Ionenreiniger
Plasmareiniger
1. Plasma ist ein ionisiertes Gas, in dem die Dichten positiver Ionen und Elektronen annähernd gleich sind. Es besteht aus Ionen, Elektronen, freien Radikalen und neutralen Teilchen.
2. Es ist der vierte Aggregatzustand. Da Plasma eine Kombination aus höherer Energie als Gas darstellt, können Stoffe in einer Plasmaumgebung ausgeprägtere physikalisch-chemische und andere Reaktionseigenschaften aufweisen.
3. Der Mechanismus der Plasmareinigungsmaschine beruht darauf, dass Oberflächenverschmutzungen durch den „Plasma-Zustand“ des Materials und dessen „Aktivierungseffekt“ entfernt werden.
4. Die Plasmareinigung ist zudem die gründlichste und oberflächenschonendste Reinigungsmethode. Sie findet breite Anwendung in der Halbleiter-, Mikroelektronik-, COG-, LCD-, LCM- und LED-Produktion.
5. Präzisionsreinigung vor der Geräteverpackung, Vakuumelektronik, Steckverbinder und Relais, Solar-Photovoltaikindustrie, Oberflächenreinigung von Kunststoff, Gummi, Metall und Keramik, Ätzbehandlung, Veraschungsbehandlung, Oberflächenaktivierung und andere Bereiche von Life-Science-Experimenten.
Veröffentlichungsdatum: 07.11.2022