Вакуум системасындагы ар кандай вакуумдук насостордун ролу

Ар кандай вакуумдук насостордун иштеши вакуумду камерага сордуруу мүмкүнчүлүгүнөн тышкары башка айырмачылыктарга ээ. Ошондуктан, тандоодо насостун вакуумдук системада аткарган ишин тактоо абдан маанилүү жана насостун ар кандай жумушчу тармактардагы ролу төмөнкүдөй кыскача баяндалат.

1, системадагы негизги насос болуу
Негизги насос - бул процесстин талаптарын канааттандыруу үчүн талап кылынган вакуумдук даражаны алуу үчүн вакуумдук системанын сордурулган камерасын түздөн-түз сордуруучу вакуумдук насос.
2, орой насостук насос
Орой насостук насос – бул вакуумдук насос, ал аба басымынан төмөндөй баштайт жана вакуум системасынын басымы иштей башташы мүмкүн болгон башка насостук системага жетет.
3, алдын ала этаптагы насос
Алдын ала баскычтагы насос – бул башка насостун алдын ала баскычтагы басымын анын уруксат берилген эң жогорку баскычтагы басымынан төмөн кармап туруу үчүн колдонулган вакуумдук насос.
4, кармоочу насос
Кармап туруучу насос – бул вакуумдук системанын сордуруу күчү өтө аз болгондо негизги алдын ала баскычтуу насосту натыйжалуу колдоно албаган насос. Ушул себептен улам, негизги насостун нормалдуу иштешин камсыз кылуу же бошотулган контейнерге талап кылынган төмөнкү басымды кармап туруу үчүн вакуумдук системада сордуруу ылдамдыгы төмөн болгон башка түрдөгү кошумча алдын ала баскычтуу насос колдонулат.
5, орой вакуумдук насос же аз вакуумдук насос
Орой же төмөн вакуумдук насос – бул абадан башталып, сордурулган контейнердин басымын төмөндөткөндөн кийин төмөнкү же орой вакуумдук басым диапазонунда иштеген вакуумдук насос.
6, Жогорку вакуумдук насос
Жогорку вакуумдук насос жогорку вакуумдук диапазондо иштеген вакуумдук насосту билдирет.
7, өтө жогорку вакуумдук насос
Өтө жогорку вакуумдук насос деп өтө жогорку вакуумдук диапазондо иштеген вакуумдук насосту айтабыз.
8, күчөткүч насос
Күчөткүч насосу, адатта, орто басым диапазонунда насостук системанын сордуруу кубаттуулугун жогорулатуу же мурунку насостун сордуруу ылдамдыгына болгон талапты азайтуу үчүн төмөнкү вакуумдук насос менен жогорку вакуумдук насостун ортосунда иштеген вакуумдук насосту билдирет.

Ион тазалагычына киришүү

Плазма тазалагыч
1. Плазма – бул оң иондордун жана электрондордун тыгыздыгы болжол менен бирдей болгон иондоштурулган газ. Ал иондордон, электрондордон, эркин радикалдардан жана нейтралдуу бөлүкчөлөрдөн турат.
2. Ал заттын төртүнчү абалы. Плазма газга караганда жогорку энергиянын айкалышы болгондуктан, плазма чөйрөсүндөгү зат көбүрөөк физикалык-химиялык жана башка реакция мүнөздөмөлөрүнө ээ боло алат.
3. плазма тазалоочу машинанын механизми беттик тактарды кетирүү үчүн материалдын "плазмалык абалына" "активдештирүү эффектине" таянуу болуп саналат.
4. Плазмалык тазалоо бардык тазалоо ыкмаларынын ичинен эң түбү жок тазалоо түрү болуп саналат. Ал жарым өткөргүчтөрдө, микроэлектроникада, COG, LCD, LCM жана LED процесстеринде кеңири колдонулушу мүмкүн.
5. Түзмөктөрдү таңгактоодон мурун так тазалоо, вакуумдук электроника, туташтыргычтар жана релелер, күн фотоэлектрдик өнөр жайы, пластмасса, резина, металл жана керамикалык беттерди тазалоо, оюу менен иштетүү, күл менен иштетүү, беттерди активдештирүү жана башка жашоо илимдери боюнча эксперименттер.