Outre leur capacité à créer le vide dans la chambre, les performances des différentes pompes à vide présentent d'autres différences. Il est donc essentiel de bien comprendre le rôle de la pompe dans le système de vide lors de son choix. Ce rôle, dans différents domaines d'application, est résumé ci-dessous.
1. Étant la pompe principale du système
La pompe principale est la pompe à vide qui pompe directement la chambre de pompage du système de vide pour obtenir le degré de vide requis pour répondre aux exigences du processus.
2. Pompe de pompage grossière
La pompe de pompage grossier est la pompe à vide qui commence à réduire la pression de l'air et la pression du système de vide atteint un autre système de pompage qui peut alors commencer à fonctionner.
3. Pompe de pré-étage
La pompe de pré-étage est une pompe à vide utilisée pour maintenir la pression de pré-étage d'une autre pompe en dessous de sa pression de pré-étage maximale autorisée.
4. Pompe de maintien
La pompe de maintien est une pompe qui ne peut pas utiliser efficacement la pompe de pré-refoulement principale lorsque le débit du système de vide est très faible. C'est pourquoi une autre pompe de pré-refoulement auxiliaire, à vitesse de pompage réduite, est utilisée dans le système de vide afin de garantir le fonctionnement normal de la pompe principale ou de maintenir la basse pression requise par le récipient vidé.
5. Pompe à vide primaire ou pompe à vide secondaire
Une pompe à vide primaire ou à faible vide est une pompe à vide qui démarre à partir de l'air et fonctionne dans la plage de faible ou de faible pression de vide après avoir réduit la pression du récipient pompé.
6. Pompe à vide poussé
Une pompe à vide poussé désigne une pompe à vide fonctionnant dans une plage de vide poussé.
7. Pompe à ultra-vide
Une pompe à ultra-vide désigne une pompe à vide fonctionnant dans une plage de vide ultra-poussé.
8. Pompe d'appoint
La pompe de surpression désigne généralement la pompe à vide fonctionnant entre une pompe à vide basse pression et une pompe à vide haute pression afin d'augmenter la capacité de pompage du système de pompage dans la plage de pression moyenne ou de réduire le débit de pompage requis par la première pompe.
Introduction au nettoyeur ionique
Nettoyeur plasma
1. Le plasma est un gaz ionisé dans lequel les densités d'ions positifs et d'électrons sont approximativement égales. Il est constitué d'ions, d'électrons, de radicaux libres et de particules neutres.
2. Il s'agit du quatrième état de la matière. Le plasma étant un mélange d'énergie supérieure à celle des gaz, les substances présentes dans un environnement plasmatique peuvent présenter des caractéristiques physico-chimiques et réactionnelles plus étendues.
3. Le mécanisme de la machine de nettoyage au plasma repose sur « l’état plasma » du matériau et sur « l’effet d’activation » pour éliminer les taches de surface.
4. Le nettoyage plasma est également la méthode de nettoyage la plus radicale parmi toutes les techniques de nettoyage. Il est largement utilisé dans les procédés de fabrication des semi-conducteurs, de la microélectronique, des écrans COG, LCD, LCM et LED.
5. Nettoyage de précision avant l'emballage des dispositifs, électronique sous vide, connecteurs et relais, industrie photovoltaïque solaire, nettoyage de surfaces en plastique, caoutchouc, métal et céramique, traitement de gravure, traitement de calcination, activation de surface et autres domaines d'expérimentation en sciences de la vie.
Date de publication : 7 novembre 2022