Әртүрлі вакуумдық сорғылардың жұмысында вакуумды камераға айдау мүмкіндігінен басқа да айырмашылықтар бар. Сондықтан, таңдаған кезде сорғының вакуумдық жүйеде атқаратын жұмысын нақтылау өте маңызды, және сорғының әртүрлі жұмыс салаларындағы рөлі келесідей қорытындыланады.
1, Жүйедегі негізгі сорғы болу
Негізгі сорғы - бұл процесс талаптарын қанағаттандыру үшін қажетті вакуум дәрежесін алу үшін вакуумдық жүйенің айдалатын камерасын тікелей айдайтын вакуумдық сорғы.
2, Дөрекі сорғы
Қатты сорғы - бұл ауа қысымынан төмендей бастайтын вакуумдық сорғы, ал вакуумдық жүйенің қысымы жұмыс істей бастайтын басқа сорғы жүйесіне жетеді.
3, Алдын ала сатылы сорғы
Алдын ала сатылы сорғы - басқа сорғының алдын ала сатылы қысымын рұқсат етілген ең жоғары алдын ала сатылы қысымнан төмен ұстап тұру үшін қолданылатын вакуумдық сорғы.
4, Ұстап тұратын сорғы
Ұстап тұратын сорғы - вакуумдық жүйенің сорғысы өте аз болған кезде негізгі алдын ала сатылы сорғыны тиімді пайдалана алмайтын сорғы. Осы себепті, негізгі сорғының қалыпты жұмысын қамтамасыз ету немесе босатылған контейнерге қажетті төмен қысымды ұстап тұру үшін вакуумдық жүйеде сорғы жылдамдығы аз басқа қосалқы алдын ала сатылы сорғы қолданылады.
5, дөрекі вакуумдық сорғы немесе төмен вакуумдық сорғы
Дөрекі немесе төмен вакуумдық сорғы - бұл ауадан басталатын және айдалатын контейнердің қысымын төмендеткеннен кейін төмен немесе өрескел вакуумдық қысым диапазонында жұмыс істейтін вакуумдық сорғы.
6, жоғары вакуумдық сорғы
Жоғары вакуумдық сорғы дегеніміз - жоғары вакуумдық диапазонда жұмыс істейтін вакуумдық сорғы.
7, өте жоғары вакуумдық сорғы
Ультра жоғары вакуумдық сорғы дегеніміз - ультра жоғары вакуумдық диапазонда жұмыс істейтін вакуумдық сорғы.
8, күшейткіш сорғы
Күшейткіш сорғы әдетте орташа қысым диапазонында сорғы жүйесінің сорғы сыйымдылығын арттыру немесе бұрынғы сорғының сорғы жылдамдығына қойылатын талаптарды азайту үшін төмен вакуумдық сорғы мен жоғары вакуумдық сорғы арасында жұмыс істейтін вакуумдық сорғыны білдіреді.
Ион тазартқышына кіріспе
Плазмалық тазартқыш
1. Плазма – оң иондар мен электрондардың тығыздығы шамамен тең болатын иондалған газ. Ол иондардан, электрондардан, бос радикалдардан және бейтарап бөлшектерден тұрады.
2. Бұл заттың төртінші күйі. Плазма газға қарағанда жоғары энергияның қосындысы болғандықтан, плазма ортасындағы зат физика-химиялық және басқа да реакция сипаттамаларына көбірек ие бола алады.
3. Плазмалық тазалау машинасының механизмі беткі дақтарды кетіру үшін материалдың «плазмалық күйіне» «белсендіру әсеріне» сүйенеді.
4. Плазмалық тазалау барлық тазалау әдістерінің ішіндегі ең түпсіз тазарту түрі болып табылады. Оны жартылай өткізгіштерде, микроэлектроникада, COG, LCD, LCM және LED процестерінде кеңінен қолдануға болады.
5. Құрылғыны орау алдында дәл тазалау, вакуумдық электроника, қосқыштар мен релелер, күн фотоэлектрлік өнеркәсібі, пластмасса, резеңке, металл және керамикалық беттерді тазалау, оюмен өңдеу, күлмен өңдеу, бетті белсендіру және тіршілік туралы ғылымның басқа да тәжірибелері салаларында.
Жарияланған уақыты: 2022 жылғы 7 қараша