Помимо способности создавать вакуум в камере, характеристики различных вакуумных насосов различаются и по другим параметрам. Поэтому при выборе насоса очень важно понимать, какую работу он выполняет в вакуумной системе, а роль насоса в различных областях применения суммирована ниже.
1. Являясь основным насосом в системе.
Основной насос — это вакуумный насос, который непосредственно откачивает воздух из откачиваемой камеры вакуумной системы для достижения необходимой степени вакуума, соответствующей требованиям технологического процесса.
2. Насос грубой откачки
Насос грубой откачки — это вакуумный насос, который начинает работу, снижая давление воздуха, пока давление в вакуумной системе не достигнет уровня другой насосной системы, которая может начать работу.
3. Насос предварительной ступени
Насос предварительной ступени — это вакуумный насос, используемый для поддержания давления на предварительной ступени другого насоса ниже максимально допустимого давления на предварительной ступени.
4. Насос удержания
Насос удержания — это насос, который не может эффективно использовать основной предварительный насос при очень малой производительности вакуумной системы. По этой причине в вакуумной системе используется другой тип вспомогательного предварительного насоса с меньшей скоростью откачки, чтобы поддерживать нормальную работу основного насоса или поддерживать низкое давление, необходимое для опорожненного контейнера.
5. Насос грубого вакуума или насос низкого вакуума
Насос грубого или низкого вакуума — это вакуумный насос, который запускается из воздуха и работает в диапазоне низкого или грубого вакуума после снижения давления в откачиваемом контейнере.
6. Высоковакуумный насос
Высоковакуумный насос — это вакуумный насос, работающий в диапазоне высокого вакуума.
7. Сверхвысоковакуумный насос
Сверхвысоковакуумный насос — это вакуумный насос, работающий в диапазоне сверхвысокого вакуума.
8. Бустерный насос
Бустерный насос обычно представляет собой вакуумный насос, работающий между низковакуумным и высоковакуумным насосами, для увеличения производительности насосной системы в диапазоне средних давлений или снижения требуемой скорости откачки первого типа.
Введение в ионизатор
Очиститель плазмы
1. Плазма — это ионизированный газ, в котором плотности положительных ионов и электронов приблизительно равны. Она состоит из ионов, электронов, свободных радикалов и нейтральных частиц.
2. Это четвёртое агрегатное состояние вещества. Поскольку плазма обладает большей энергией, чем газ, вещество в плазменной среде может приобретать больше физико-химических и других реакционных характеристик.
3. Механизм плазменной очистки основан на «активационном эффекте» «плазменного состояния» материала для удаления поверхностных загрязнений.
4. Плазменная очистка также является наиболее эффективным методом очистки с минимальным удалением примесей среди всех методов очистки. Она широко применяется в полупроводниковой, микроэлектронной, коксово-кристаллической, ЖК-, ЖК- и светодиодной промышленности.
5. Точная очистка перед упаковкой устройств, вакуумная электроника, разъемы и реле, солнечная фотоэлектрическая промышленность, очистка поверхностей из пластика, резины, металла и керамики, травление, золирование, активация поверхности и другие области биологических исследований.
Дата публикации: 07.11.2022