Miljökrav för vakuumbeläggningsutrustning

Sedanvakuumbeläggningsutrustningarbetar under vakuumförhållanden, måste utrustningen uppfylla kraven för vakuummiljön. Industristandarderna för olika typer av vakuumbeläggningsutrustning som utformats i mitt land (inklusive allmänna tekniska villkor för vakuumbeläggningsutrustning, vakuumjonbeläggningsutrustning, vakuumsputtringsbeläggningsutrustning och vakuumindunstningsbeläggningsutrustning) har tydligt angett miljökrav. Endast genom att uppfylla miljökraven för vakuumbeläggningsutrustningen kan utrustningen fungera normalt, och med korrekt beläggningsprocess kan kvalificerade beläggningsprodukter produceras.

Kraven på vakuummiljön inkluderar generellt vakuumutrustningens krav på den omgivande miljön, såsom temperaturen i laboratoriet (eller verkstaden), den ringa vinsten i luften och kraven på delar eller ytor i vakuum eller i vakuum. Dessa två aspekter är nära besläktade. Kvaliteten på den omgivande miljön påverkar direkt den normala användningen av vakuumutrustningen, och huruvida vakuumkammaren i vakuumutrustningen eller de delar som laddas i den rengörs påverkar direkt utrustningens prestanda. Om luften innehåller mycket vattenånga och damm, och vakuumkammaren inte har rengjorts, är det svårt att uppnå önskad vakuumgrad genom att använda en oljetätad mekanisk pump för att pumpa luft. Som vi alla vet är oljetätade mekaniska pumpar inte lämpliga för att pumpa gaser som är korrosiva för metaller, kemiskt reaktiva med vakuumolja och innehåller partikelformigt damm. Vattenånga är en kondenserbar gas. När pumpen pumpar ut en stor mängd kondenserbar gas kommer föroreningen av pumpoljan att bli allvarligare. Som ett resultat kommer pumpens slutliga vakuum att minska och pumpens pumpprestanda att förstöras.

De normala arbetsförhållandena för vakuumbeläggningsutrustning är:

① Omgivningstemperatur 10~30℃;

② Den relativa luftfuktigheten är inte mer än 70 %;

③ Kylvattnets inloppstemperatur är inte högre än 25 °C;

④ Kylvattenkvalitet Kommunalt kranvatten eller vatten av motsvarande kvalitet;

⑤ Strömförsörjningsspänning: 380V, trefas 50Hz eller 220V, enfas 50Hz (beroende på behoven hos de elektriska apparater som används), spänningsvariationsområde 342~399V eller 198~231V, frekvensvariationsområde 49~51Hz;

⑥Tryck, temperatur och förbrukning ska anges i produktens bruksanvisning;

⑦ Miljön runt utrustningen är ren och luften är ren, och det får inte finnas damm eller gas som kan orsaka ytkorrosion på elektriska apparater och andra metalldelar eller orsaka elektrisk ledning mellan metaller.

Dessutom bör laboratoriet eller verkstaden där vakuumbeläggningsutrustningen är placerad hållas ren och hygienisk. Golvet är av terrazzo- eller trämålat golv, dammfritt. För att förhindra att gasen som släpps ut från den mekaniska pumpen förorenar laboratoriemiljön kan den användas vid pumpens avgasport. Installera ett avgasrör (metall-, gummirör) på ytan för att släppa ut gasen utanför.