Karakteriseringen av optisk tunnfilm inkluderar karakterisering av optiska egenskaper, optiska parametrar och icke-optiska egenskaper. De optiska egenskaperna hänvisar huvudsakligen till spektralreflektans, transmittans och optisk förlust (absorptionsförlust och reflektionsförlust) hos den optiska tunnfilmen. Transmittans och reflektans är de mest grundläggande optiska egenskaperna hos optiska tunnfilmer, så testning av tunnfilmens transmittans och reflektans är den grundläggande testtekniken för optiska tunnfilmer. Optiska parametrar för optisk tunnfilm inkluderar brytningsindex, absorptionskoefficient och filmtjocklek hos den optiska tunnfilmen. På grund av den stökiometriska avvikelsen i materialkomponenterna i den optiska tunnfilmen som framställs genom den faktiska processen är strukturen inte längre homogen och tät, men det finns mikrostrukturer och olika defekter, det dielektriska filmskiktet är inte längre helt transparent och det finns en svag absorption, medan det finns rumslig olikformighet och fasanisotropi i filmens brytningsindex, och filmen är inte längre ett oändligt och jämnt gränssnitt. Ännu viktigare är att parametrarna för filmframställningen i själva framställningsprocessen har en mycket stor inverkan på filmens optiska parametrar, så realtidsbekräftelsen av filmens optiska parametrar är mycket kritisk. Dessutom måste den optiska tunnfilmen, som en anordning som används i den faktiska miljön, förutom anordningens optiska egenskaper uppfylla kraven. Det finns många andra viktiga icke-optiska egenskaper som påverkar filmens användning, såsom filmens vidhäftning, filmspänning, filmens hårdhet och ytjämnhet samt filmens förmåga att motstå miljön och så vidare. Därför är det viktigt att noggrant mäta alla olika parametrar eller egenskaper som påverkar användningen av tunnfilmsanordningar.
Transmittans och reflektans hos tunnfilmer testas huvudsakligen med hjälp av spektralanalysatorer. Spektralanalysatorer för optisk filmtestning kan delas in i UV-Vis-spektrofotometrar, infraröda spektrofotometrar och infraröda Fourierspektrometrar enligt de olika testbanden. De två första använder spektralspektroskopiprincipen för analys och testsystem, den senare baserad på principen om interferensspektralanalys. På grund av de olika geometriska strukturerna och formerna hos tunnfilmsanordningar, även om alla transmittans- och reflektansmätningar, men för olika former, olika precision eller olika polarisationskrav, kan kräva olika testmetoder och tekniker.
–Denna artikel är publicerad avtillverkare av vakuumbeläggningsmaskinerGuangdong Zhenhua
Publiceringstid: 3 november 2023