Khopolo ea mantlha ea sesebelisoa sa ho sefa ha makenete
Mochini oa ho sefa oa sesebelisoa sa ho sefa sa makenete bakeng sa likaroloana tse kholo ka har'a plasma ke ka tsela e latelang:
Ho sebelisa phapang lipakeng tsa plasma le likaroloana tse kholo tse ikarabellang le karo-karolelano ea tefiso ho ea ho boima, ho na le "thibelo" (ebang ke baffle kapa lebota le kobehileng) e behang lipakeng tsa substrate le bokaholimo ba cathode, e thibelang likaroloana life kapa life tse tsamaeang ka har'a sebaka. mola o otlolohileng pakeng tsa cathode le substrate, ha li-ion li ka khelosoa ke matla a khoheli 'me li feta "thibelo" ho substrate.
Molao-motheo oa ts'ebetso oa sesebelisoa sa magnetic filtration
Sebakeng sa makenete, Pe<
Pe le Pi ke Larmor radii ea lielektrone le li-ion ka ho latellana, 'me ke bophara bo ka hare ba sefe ea khoheli.Li-electrone tse plasma li angoa ke matla a Lorentz 'me li bilika hammoho le matla a khoheli axially, ha matla a khoheli a na le phello e fokolang ho lihlopha tsa li-ion ka lebaka la phapang pakeng tsa li-ion le lielektrone sebakeng sa Larmor.Leha ho le joalo, ha elektrone motsamao hammoho le axis ea mochine filtara ea makenete, e tla hohela ion hammoho axial bakeng sa tshisinyo rotational ka lebaka la ho tsepamisitse maikutlo lona le tšimo e matla negative ea motlakase, 'me lebelo la elektronike le leholo ho feta ion, kahoo elektrone. kamehla ho hula ion pele, ha plasma e lula e sa nke lehlakore ka motlakase.Likaroloana tse kholo ha li nke lehlakore ka motlakase kapa li qosoa hampe hanyenyane, 'me boleng bo boholo ho feta li-ion le lielektrone, ha e le hantle ha li amehe ke matla a khoheli le motsamao oa linear hammoho le inertia,' me li tla tlhotluoa ka mor'a ho thulana le lebota le ka hare. sesebelisoa.
Tlas'a ts'ebetso e kopaneng ea kobeha ea matla a khoheli le ho hoholeha ha gradient le likhohlano tsa ion-electron, plasma e ka faposoa sesebelisoa sa ho sefa sa makenete.Ho Mehlala e tloaelehileng ea theory e sebelisoang kajeno ke mohlala oa Morozov flux le Davidson rigid rotor model, tse nang le tšobotsi e latelang e tloaelehileng: ho na le matla a khoheli a etsang hore lielektrone li tsamaee ka mokhoa o tiileng oa helical.
Matla a matla a khoheli a tataisang motsamao oa axial oa plasma sesebelisoa sa ho sefa ha makenete e lokela ho ba ka tsela ena:
Mi, Vo, le Z ke boima ba ion, lebelo la lipalangoang, le palo ea litefiso tse jaroang ka ho latellana.a ke bophara bo ka hare ba sefe ea makenete, 'me e ke tefiso ea elektrone.
Hoa lokela ho hlokomeloa hore li-ion tse ling tse phahameng tsa matla li ke ke tsa tlamisoa ka ho feletseng ke sefate sa elektronike.Li ka 'na tsa fihla leboteng le ka hare la sefefo sa makenete, ho etsa hore lebota le ka hare le be le bokhoni bo botle, e leng se thibelang li-ion ho tsoela pele ho fihla leboteng le ka hare le ho fokotsa tahlehelo ea plasma.
Ho ea ka ketsahalo ena, khatello e nepahetseng ea leeme e ka sebelisoa leboteng la sesebelisoa sa filthara ea makenete ho thibela ho thulana ha li-ion ho ntlafatsa katleho ea lipalangoang tsa ion.
Khethollo ea sesebelisoa sa magnetic filtration
(1)Sebopeho sa mola.Matla a khoheli a sebetsa e le tataiso bakeng sa phallo ea beam ea ion, e fokotsa boholo ba sebaka sa cathode le karolo ea lihlopha tsa likaroloana tse kholo, ha e ntse e matlafatsa likhohlano ka har'a plasma, e leng se susumetsang phetoho ea likaroloana tse sa nke lehlakore ho li-ion le ho fokotsa palo ea macroscopic. lihlopha tsa likaroloana, le ho fokotsa ka potlako palo ea likaroloana tse kholo ha matla a khoheli a ntse a eketseha.Ha ho bapisoa le mokhoa o tloaelehileng oa ho roala li-arc ion, sesebelisoa sena se hlophisitsoeng se hlola phokotso e kholo ea ts'ebetso e bakiloeng ke mekhoa e meng mme se ka etsa bonnete ba hore ha e le hantle sekhahla sa ho beoa ha filimi ha se ntse se fokotsa palo ea likaroloana tse kholo ka hoo e ka bang 60%.
(2) Sebopeho sa mofuta oa curve.Le hoja sebopeho se na le mefuta e sa tšoaneng, empa molao-motheo oa motheo o tšoana.Plasma e tsamaea ka tlas'a ts'ebetso e kopantsoeng ea matla a khoheli le matla a motlakase, 'me matla a khoheli a sebelisetsoa ho koala le ho laola plasma ntle le ho kheloha motsamao ho latela tsela ea mela ea matla a khoheli.'Me likaroloana tse sa lefelloeng li tla tsamaea haufi le mola' me li arohane.Lifilimi tse lokiselitsoeng ke sesebelisoa sena sa meralo li na le boima bo phahameng, botenya bo tlase, botenya bo botle, boholo ba lijo-thollo tse ts'oanang, le ho khomarela botlaaseng ba lifilimi.Tlhahlobo ea XPS e bonts'a hore boima ba bokaholimo ba lifilimi tsa ta-C tse koahetsoeng ka mofuta ona oa sesebelisoa bo ka fihla ho 56 GPa, ka hona sesebelisoa sa sebopeho se kobehileng ke mokhoa o sebelisoang haholo le o sebetsang oa ho tlosa likaroloana tse kholo, empa sepheo sa lipalangoang tsa ion se tlameha ho ntlafala ho feta.Sesebelisoa sa 90 ° bend magnetic filtration ke se seng sa lisebelisoa tse sebelisoang haholo tsa sebopeho se kobehileng.Liteko tse holim'a boemo ba lifilimi tsa Ta-C li bonts'a hore boemo bo kaholimo ba sesebelisoa sa 360 ° bend sa filthara ea khoheli ha bo fetohe haholo ha bo bapisoa le sesebelisoa sa 90 ° bend sa khoele ea khoheli, ka hona phello ea 90 ° bend filtration bakeng sa likaroloana tse kholo e ka ba teng. fihlelletsoe.Sesebelisoa sa 90 ° bend magnetic filtration haholo-holo se na le mefuta e 'meli ea mehaho: e' ngoe ke bend solenoid e behiloeng ka phapusing ea vacuum, 'me e' ngoe e behoa ka ntle ho phaposi ea vacuum, 'me phapang pakeng tsa bona e ka sebopeho feela.Khatello ea ho sebetsa ea 90 ° bend magnetic filtration device e ka tatellano ea 10-2Pa, 'me e ka sebelisoa mefuteng e mengata ea lisebelisoa, tse kang ho roala nitride, oxide, amorphous carbon, filimi ea semiconductor le filimi ea tšepe kapa e seng ea tšepe. .
Ho sebetsa hantle ha sesebelisoa sa filthara ea makenete
Kaha ha se likaroloana tsohle tse kholo tse ka lahleheloang ke matla a kinetic ka ho thulana ho tsoelang pele le lerako, palo e itseng ea likaroloana tse kholo e tla fihla substrate ka phaephe.Ka hona, sesebelisoa sa nako e telele le se moqotetsane sa ho hloekisa matla a khoheli se na le ts'ebetso e phahameng ea ho hloekisa ea likaroloana tse kholo, empa ka nako ena e tla eketsa tahlehelo ea li-ion tse reretsoeng 'me ka nako e ts'oanang e eketse ho rarahana ha sebopeho.Ka hona, ho etsa bonnete ba hore sesebelisoa sa "magnetic filtration" se na le ts'ebetso e ntle ea ho tlosa likaroloana tse kholo le ts'ebetso e phahameng ea lipalangoang tsa ion ke ntho e hlokahalang bakeng sa theknoloji ea li-arc ion coating tse ngata ho ba le tebello e pharalletseng ea ts'ebeliso ea ho kenya lifilimi tse tšesaane tsa ts'ebetso e phahameng.Ts'ebetso ea sesebelisoa sa "magnetic filtration" e angoa ke matla a matla a khoheli, leeme la bend, aperture ea mochini oa baffle, arc source ea hona joale le "charged particle incidence angle".Ka ho beha litekanyo tse utloahalang tsa sesebelisoa sa magnetic filtration, phello ea ho sefa ea likaroloana tse kholo le katleho ea phetisetso ea ion ea sepheo e ka ntlafatsoa ka katleho.
Nako ea poso: Nov-08-2022