Theknoloji ea ho sefa ea makenete

Khopolo-taba ea motheo ea sesebelisoa sa ho sefa sa makenete
Mokhoa oa ho sefa oa sesebelisoa sa ho sefa sa makenete bakeng sa likaroloana tse kholo ka har'a mahlaseli a plasma ke o latelang:
Ha ho sebelisoa phapang pakeng tsa plasma le likaroloana tse kholo tse ikarabellang le karolelano ea tjhaja-ho-boima, ho na le "thibelo" (ebang ke lerako la baffle kapa lebota la tube le kobehileng) le behiloeng pakeng tsa substrate le bokaholimo ba cathode, e thibelang likaroloana life kapa life tse tsamaeang ka mola o otlolohileng pakeng tsa cathode le substrate, ha li-ion li ka khelosoa ke matla a makenete 'me tsa feta "thibelo" ho ea substrate.

Molao-motheo oa ho sebetsa oa sesebelisoa sa ho sefa sa makenete

Tšimong ea makenete, Pe<

Pe le Pi ke radii ea Larmor ea lielektrone le li-ion ka ho latellana, 'me a ke bophara bo ka hare ba sefe ea makenete. Lielektrone tse plasma li angoa ke matla a Lorentz 'me li potoloha ho potoloha matla a makenete ka axial, ha matla a makenete a na le tšusumetso e nyane ho kopaneng ha li-ion ka lebaka la phapang pakeng tsa li-ion le lielektrone tse radius ea Larmor. Leha ho le joalo, ha motsamao oa lielektrone ho potoloha motsoako oa sesebelisoa sa sefe ea makenete, o tla hohela li-ion ho potoloha axial bakeng sa motsamao oa ho potoloha ka lebaka la ho tsepamisa maikutlo ha oona le tšimo e matla ea motlakase e mpe, 'me lebelo la lielektrone le leholo ho feta ion, kahoo lielektrone li hula ion khafetsa, ha plasma e lula e sa nke lehlakore ka motlakase. Likaroloana tse kholo li na le lehlakore ka motlakase kapa li tjhaja hanyane hampe, 'me boleng bo boholo haholo ho feta li-ion le lielektrone, ha e le hantle ha li angoe ke matla a makenete le motsamao o otlolohileng ho potoloha inertia, 'me li tla sefshoa ka mor'a ho thulana le lebota le ka hare la sesebelisoa.
Tlas'a mosebetsi o kopaneng oa ho kobeha ha matla a makenete le ho kheloha ha gradient le ho thulana ha ion-electron, plasma e ka khelosoa sesebelisoa sa ho sefa sa makenete. Ho Mefuta e tloaelehileng ea khopolo-taba e sebelisoang kajeno ke mohlala oa Morozov flux le mohlala oa rotor o tiileng oa Davidson, tse nang le tšobotsi e latelang e tšoanang: ho na le matla a makenete a etsang hore lielektrone li tsamaee ka mokhoa o otlolohileng.
Matla a matla a makenete a tataisang motsamao o otlolohileng oa plasma sesebelisoa sa ho sefa makenete e lokela ho ba ka tsela eo:

Mi, Vo, le Z ke boima ba ion, lebelo la ho tsamaisa, le palo ea litefiso tse tsamaisoang ka ho latellana. a ke bophara ba ka hare ba sefe ea makenete, 'me e ke tefo ea elektrone.
Ho lokela ho hlokomeloa hore li-ion tse ling tsa matla a phahameng li ke ke tsa tlangoa ka botlalo ke khanya ea lielektrone. Li ka 'na tsa fihla leboteng le ka hare la sefe ea makenete, tsa etsa hore lebota le ka hare le be le bokhoni bo botle, e leng se thibelang li-ion ho tsoela pele ho fihla leboteng le ka hare le ho fokotsa tahlehelo ea plasma.
Ho ya ka ketsahalo ena, kgatello e nepahetseng ya leeme e ka sebediswa leboteng la sesebediswa sa sefe sa makenete ho thibela ho thulana ha di-ion ho ntlafatsa bokgoni ba ho tsamaisa di-ion tse shebilweng.

Tlhophiso ea sesebelisoa sa ho sefa sa makenete
(1) Sebopeho se otlolohileng. Matla a makenete a sebetsa e le tataiso bakeng sa phallo ea mahlaseli a ion, a fokotsa boholo ba sebaka sa cathode le karolo ea lihlopha tsa likaroloana tse kholo, ha a ntse a matlafatsa ho thulana ka har'a plasma, a etsa hore ho fetoloe likaroloana tse sa nke lehlakore hore e be li-ion le ho fokotsa palo ea lihlopha tsa likaroloana tse kholo, 'me a fokotsa palo ea likaroloana tse kholo ka potlako ha matla a matla a makenete a ntse a eketseha. Ha ho bapisoa le mokhoa o tloaelehileng oa ho roala li-ion tse ngata, sesebelisoa sena se hlophisitsoeng se hlola phokotso e kholo ea bokhoni bo bakoang ke mekhoa e meng 'me se ka netefatsa sekhahla sa ho boloka filimi se sa fetoheng ha se ntse se fokotsa palo ea likaroloana tse kholo ka hoo e ka bang 60%.
(2) Sebopeho sa mofuta wa kobeho. Le hoja sebopeho se na le dibopeho tse fapaneng, empa molao-motheo wa motheo o a tshwana. Plasma e tsamaya tlasa mosebetsi o kopaneng wa matla a makenete le matla a motlakase, mme matla a makenete a sebediswa ho kwalla le ho laola plasma ntle le ho kgelosa motsamao ho ya ka tsela ya mela ya matla a makenete. Mme dikarolwana tse sa tjhajwang di tla tsamaya ka mola o otlolohileng mme di arolwe. Difilimi tse lokisitsweng ke sesebediswa sena sa sebopeho di na le bothata bo hodimo, ho ba thata ha bokahodimo bo tlase, bongata bo botle, boholo ba dithollo tse tshwanang, le ho kgomarela motheo o matla wa filimi. Tlhahlobo ya XPS e bontsha hore bothata ba bokahodimo ba difilimi tsa ta-C tse manehilweng ka mofuta ona wa sesebediswa bo ka fihla ho 56 GPa, kahoo sesebediswa sa sebopeho se kobehileng ke mokgwa o sebediswang haholo le o sebetsang bakeng sa ho tlosa dikarolwana tse kgolo, empa bokgoni ba ho tsamaisa di-ion tse shebilweng bo hloka ho ntlafatswa le ho feta. Sesebediswa sa ho sefa makenete sa 90° ke se seng sa disebediswa tsa sebopeho se kobehileng tse sebediswang haholo. Diteko hodima boemo ba bokahodimo ba difilimi tsa Ta-C di bontsha hore boemo ba bokahodimo ba sesebediswa sa ho sefa makenete sa 360° ha bo fetohe haholo ha bo bapiswa le sesebediswa sa ho sefa makenete sa 90°, kahoo phello ya ho sefa makenete sa 90° bakeng sa dikarolwana tse kgolo e ka fihlellwa ha e le hantle. Sesebelisoa sa ho sefa sa makenete sa kobeha sa 90° se na le mefuta e 'meli ea meaho: e 'ngoe ke solenoid e kobehang e behiloeng ka kamoreng ea vacuum, 'me e 'ngoe e beoa ka ntle ho kamore ea vacuum, 'me phapang pakeng tsa tsona e sebopehong feela. Khatello e sebetsang ea sesebelisoa sa ho sefa sa makenete sa kobeha sa 90° e ka tatellano ea 10-2Pa, 'me e ka sebelisoa lits'ebetsong tse fapaneng, joalo ka nitride e koahelang, oxide, carbon e sa fetoheng, filimi ea semiconductor le filimi ea tšepe kapa e seng ea tšepe.

Bokgoni ba sesebediswa sa ho sefa sa makenete
Kaha ha se likaroloana tsohle tse kholo tse ka lahleheloang ke matla a kinetic ha li thulana khafetsa le lebota, palo e itseng ea likaroloana tse kholo e tla fihla substrate ka phallo ea phaephe. ​​Ka hona, sesebelisoa se selelele le se sesesane sa ho sefa sa makenete se na le bokhoni bo phahameng ba ho sefa sa likaroloana tse kholo, empa ka nako ena se tla eketsa tahlehelo ea li-ion tse reretsoeng 'me ka nako e ts'oanang se eketse ho rarahana ha sebopeho. Ka hona, ho netefatsa hore sesebelisoa sa ho sefa sa makenete se na le ho tlosoa ho hoholo ha likaroloana tse kholo le bokhoni bo phahameng ba ho tsamaisa li-ion ke tlhokahalo e hlokahalang bakeng sa theknoloji ea ho koahela li-ion tse ngata ho ba le tebello e pharaletseng ea ts'ebeliso ea ho beha lifilimi tse tšesaane tse sebetsang hantle. Ts'ebetso ea sesebelisoa sa ho sefa sa makenete e angoa ke matla a matla a makenete, leeme la kobeho, ho sefa ha mechini, hona joale ha mohloli oa arc le angle ea liketsahalo tsa likaroloana tse chajitsoeng. Ka ho beha liparamente tse utloahalang tsa sesebelisoa sa ho sefa sa makenete, phello ea ho sefa ea likaroloana tse kholo le bokhoni ba ho fetisetsa li-ion ba sepheo li ka ntlafatsoa ka katleho.