Ozizi bụ isi nke ngwaọrụ nzacha magnetik
Usoro nzacha nke ngwaọrụ nzacha magnet maka nnukwu ihe dị na plasma breeki bụ dịka ndị a:
Site n'iji ọdịiche dị n'etiti plasma na nnukwu ihe ndị dị na chajị na oke chajị-na-oke, enwere "ihe mgbochi" (ma ọ bụ mgbidi tube gbagọrọ agbagọ) nke dị n'etiti ihe mkpuchi ahụ na elu cathode, nke na-egbochi ihe ọ bụla na-agagharị n'ahịrị kwụ ọtọ n'etiti kathode na ihe mkpuchi ahụ, ebe enwere ike ịtụgharị ion site na ubi magnetik ma gafere "ihe mgbochi" ahụ gaa na ihe mkpuchi ahụ.
Ụkpụrụ ọrụ nke ngwaọrụ nzacha magnetik
N'ọhịa magnet, Pe<
Pe na Pi bụ radii Larmor nke elektrọn na ion n'otu n'otu, a bụkwa dayameta dị n'ime nke nzacha magnet. Ike Lorentz na-emetụta elektrọn dị na plasma ma na-agbagharị n'akụkụ ubi magnet n'akụkụ axial, ebe ubi magnet enweghị mmetụta dị nta na mkpokọta ion n'ihi ọdịiche dị n'etiti ion na elektrọn dị na radius Larmor. Agbanyeghị, mgbe mmegharị elektrọn n'akụkụ axis nke ngwaọrụ nzacha magnet, ọ ga-adọta ion n'akụkụ axial maka mmegharị ntụgharị n'ihi ntinye uche ya na ike eletriki na-adịghị mma, ọsọ elektrọn dịkwa ukwuu karịa ion, yabụ elektrọn na-adọkpụ ion n'ihu mgbe niile, ebe plasma na-anọgide na-anọpụ iche na elektrọnik mgbe niile. Akụkụ buru ibu na-anọpụ iche na elektrọnik ma ọ bụ na-achaji obere obere, àgwà ya dịkwa ukwuu karịa ion na elektrọn, n'ụzọ bụ isi, oghere magnet na mmegharị ahịrị anaghị emetụta ya n'akụkụ inertia, a ga-asachapụkwa ya mgbe ọ dakọtara na mgbidi dị n'ime nke ngwaọrụ ahụ.
N'okpuru ọrụ njikọta nke mgbagọ ebe ndọta na-agbanwe agbanwe na mgbagọ nke gradient na ion-electron, enwere ike ịgbagọ plasma na ngwaọrụ nzacha magnet. Na ụdị echiche a na-ejikarị eme ihe taa bụ ụdị Morozov flux na ụdị rotor siri ike nke Davidson, nke nwere njirimara ndị a na-ahụkarị: enwere oghere ndọta nke na-eme ka elektrọn na-agagharị n'ụzọ dị larịị.
Ike nke ebe ndọta na-eduzi mmegharị axial nke plasma na ngwaọrụ nzacha magnet kwesịrị ịdị ka nke a:

Mi, Vo, na Z bụ oke ion, ọsọ njem, na ọnụọgụ chajị ndị a na-ebu n'otu n'otu. a bụ dayameta dị n'ime nke nzacha magnet, e bụkwa chajị elektrọn.
Ọ dị mkpa ịmara na ụfọdụ ion ike dị elu enweghị ike ijikọ nke ọma site na ọkụ elektrọn. Ha nwere ike iru mgbidi dị n'ime nke nzacha magnet, na-eme ka mgbidi dị n'ime nwee ike dị mma, nke na-egbochi ion ndị ahụ ịnọgide na-erute mgbidi dị n'ime ma na-ebelata mfu nke plasma.
Dịka ihe a si kwuo, enwere ike itinye nrụgide dị mma na mgbidi nke ngwaọrụ nzacha magnet iji gbochie nsụkọta nke ion iji melite arụmọrụ njem ion ebumnuche.

Nhazi nke ngwaọrụ nzacha magnetik
(1) Nhazi ahịrị. Ọdụ magnetik a na-arụ ọrụ dị ka nduzi maka mmiri ion, na-ebelata nha nke ntụpọ cathode na oke nke ụyọkọ ihe dị na macroscopic, ebe ọ na-eme ka nkpọkọ dị n'ime plasma sikwuo ike, na-akpali mgbanwe nke mkpụrụ ndụ na-anọpụ iche ka ọ bụrụ ion ma na-ebelata ọnụọgụ nke mkpụrụ ndụ ihe dị na macroscopic, ma na-ebelata ọnụọgụ nke mkpụrụ ndụ ihe dị na nnukwu ngwa ngwa ka ike ubi magnet na-abawanye. Ma e jiri ya tụnyere usoro mkpuchi ion multi-arc nkịtị, ngwaọrụ a haziri ahazi na-emeri mbelata dị ukwuu na arụmọrụ nke usoro ndị ọzọ kpatara ma nwee ike hụ na ọnụego itinye ihe nkiri na-adịgide adịgide ebe ọ na-ebelata ọnụọgụ nke mkpụrụ ndụ ihe dị na nnukwu ihe dịka 60%.
(2) Ọdịdị ụdị nke gbagọrọ agbagọ. Ọ bụ ezie na nhazi ahụ nwere ụdị dị iche iche, mana ụkpụrụ bụ isi bụ otu ihe ahụ. Plasma ahụ na-agagharị n'okpuru ọrụ njikọta nke ubi magnet na ubi eletriki, a na-ejikwa ubi magnet iji mechie ma chịkwaa plasma ahụ na-enweghị ntụgharị mmegharị n'akụkụ ahịrị ike magnet. Ihe ndị a na-enweghị chajị ga-agagharị n'ahịrị ahịrị ma kewaa. Ihe nkiri ndị ngwaọrụ nhazi a kwadebere nwere ike siri ike, obere oke elu, njupụta dị mma, nha ọka otu, na njikọ siri ike nke ihe nkiri. Nyocha XPS na-egosi na ike elu nke ihe nkiri ta-C nke ejiri ụdị ngwaọrụ a kpuchie nwere ike iru 56 GPa, yabụ ngwaọrụ nhazi gbagọrọ agbagọ bụ ụzọ kachasị eji eme ihe ma dị irè maka iwepụ nnukwu ihe, mana ọ dị mkpa ka eme ka arụmọrụ njem ion ebumnuche ka mma. Ngwaọrụ nzacha magnetik gbagọrọ agbagọ nke 90° bụ otu n'ime ngwaọrụ nhazi gbagọrọ agbagọ nke ejiri eme ihe. Nnwale na profaịlụ elu nke ihe nkiri Ta-C na-egosi na profaịlụ elu nke ngwaọrụ nzacha magnetik gbagọrọ agbagọ nke 360° anaghị agbanwe nke ukwuu ma e jiri ya tụnyere ngwaọrụ nzacha magnetik gbagọrọ agbagọ nke 90°, yabụ enwere ike nweta mmetụta nke nzacha magnetik gbagọrọ agbagọ nke 90° maka nnukwu ihe. Ngwaọrụ nzacha magnetik nke na-agbanwe agbanwe nke 90° nwere ụdị nhazi abụọ: otu bụ solenoid nke na-agbanwe agbanwe nke dị n'ime ụlọ vacuum, ebe nke ọzọ dị n'ime ụlọ vacuum, ihe dị iche dị n'etiti ha dịkwa naanị n'ime ụlọ ahụ. Nrụgide ọrụ nke ngwaọrụ nzacha magnetik nke na-agbanwe agbanwe nke 90° dị n'usoro nke 10-2Pa, enwere ike iji ya mee ihe n'ọtụtụ ngwa dị iche iche, dịka mkpuchi nitride, oxide, amorphous carbon, ihe nkiri semiconductor na ihe nkiri metal ma ọ bụ nke na-abụghị metal.
Arụmọrụ nke ngwaọrụ nzacha magnetik
Ebe ọ bụ na ọ bụghị obere ihe niile nwere ike ịlafu ike kinetic n'ọgba aghara na-aga n'ihu na mgbidi ahụ, ọnụọgụ ụfọdụ nke nnukwu ihe ndị ahụ ga-erute substrate site na paịpụ paịpụ. Ya mere, ngwaọrụ nzacha magnetik dị ogologo ma dị warara nwere arụmọrụ nzacha dị elu nke nnukwu ihe ndị ahụ, mana n'oge a, ọ ga-eme ka mfu nke ion ebumnuche dịkwuo elu ma n'otu oge ahụ mee ka mgbagwoju anya nke nhazi ahụ dịkwuo elu. Ya mere, ijide n'aka na ngwaọrụ nzacha magnetik nwere nnukwu mwepụ nke ihe ndị ahụ na arụmọrụ dị elu nke mbugharị ion bụ ihe dị mkpa maka teknụzụ mkpuchi ion multi-arc iji nwee ohere ngwa sara mbara n'itinye ihe nkiri dị gịrịgịrị arụmọrụ dị elu. Ọrụ nke ngwaọrụ nzacha magnetik na-emetụta ike ubi magnetik, ntụgharị ihu, oghere baffle mechanical, arc source current na angle incidence particle. Site na ịtọ paramita ezi uche dị na ngwaọrụ nzacha magnetik, enwere ike imeziwanye mmetụta nzacha nke nnukwu ihe ndị ahụ na arụmọrụ mbufe ion nke ihe mgbaru ọsọ nke ọma.
Oge ozi: Nọvemba-08-2022
