د مقناطیسي فلټر کولو ټیکنالوژي

د مقناطیسي فلټریشن وسیله بنسټیز تیوري
د پلازما بیم کې د لویو ذراتو لپاره د مقناطیسي فلټر کولو وسیله د فلټر کولو میکانیزم په لاندې ډول دی:
د پلازما او لویو ذراتو تر منځ د چارج او د چارج څخه تر ماس تناسب کې د توپیر په کارولو سره، د سبسټریټ او کیتوډ سطحې تر مینځ یو "خنډ" (یا یو بفل یا منحل ټیوب دیوال) شتون لري، کوم چې د هر هغه ذرات مخه نیسي چې حرکت کوي. د کیتوډ او سبسټریټ تر مینځ مستقیم کرښه، پداسې حال کې چې ایونونه د مقناطیسي ساحې لخوا منحل کیدی شي او د "خنډ" څخه تیریږي.

د مقناطیسي فلټریشن وسیله کاري اصول

په مقناطیسي ساحه کې، Pe<

Pe او Pi په ترتیب سره د الکترون او آئنونو لرمر وړانګې دي، او a د مقناطیسي فلټر داخلي قطر دی.په پلازما کې الکترونونه د لورینټز ځواک لخوا اغیزمن کیږي او د مقناطیسي ساحې سره په محور کې حرکت کوي، پداسې حال کې چې مقناطیسي ساحه د لمر په وړانګو کې د ایونونو او الکترونونو ترمنځ د توپیر له امله د آیونونو په کلستر کولو لږ اغیز لري.په هرصورت، کله چې د مقناطیسي فلټر وسیلې په محور کې د الکترون حرکت وي، نو دا به د محور حرکت لپاره د محور په اوږدو کې د تمرکز او قوي منفي بریښنایی ساحې له امله ایونونه جذب کړي، او د الکترون سرعت د ایون څخه ډیر وي، نو الیکټران په دوامداره توګه آیون مخ په وړاندې کش کړئ، پداسې حال کې چې پلازما تل نیم بریښنایی غیر جانبدار پاتې کیږي.لوی ذرات د بریښنایی پلوه بې طرفه یا یو څه منفي چارج شوي ، او کیفیت یې د آیونونو او الکترونونو څخه خورا لوی دی ، په اصل کې د مقناطيسي ساحې او خطي حرکت لخوا د inertia سره اغیزه نلري ، او د داخلي دیوال سره د ټکر وروسته به فلټر شي. وسیله
د مقناطيسي ساحې منحل او د تدريجي څپې او د ايون الکترون ټکرونو د ګډ فعاليت لاندې، پلازما د مقناطیسي فلټريشن وسيلې کې انعطاف کېدای شي.په عام نظري موډلونو کې چې نن ورځ کارول کیږي د موروزوف فلکس ماډل او د ډیویډسن ریګیډ روټر ماډل دي، کوم چې لاندې مشترک ځانګړتیاوې لري: یو مقناطیسي ساحه شتون لري چې الکترونونه په سخته هیلیکي ډول حرکت کوي.
د مقناطیسي ساحې ځواک چې په مقناطیسي فلټریشن وسیله کې د پلازما محوری حرکت لارښود کوي باید داسې وي:

Mi، Vo، او Z په ترتیب سره د ایون ډله، د ترانسپورت سرعت، او د چارجونو شمیر دی.a د مقناطیسي فلټر داخلي قطر دی، او e د الکترون چارج دی.
دا باید په پام کې ونیول شي چې ځینې لوړ انرژي ایونونه نشي کولی په بشپړ ډول د الکترون بیم لخوا پابند شي.دوی ممکن د مقناطیسي فلټر داخلي دیوال ته ورسیږي، داخلي دیوال په مثبت پوټینشن کې رامینځته کوي، چې په پایله کې د داخلي دیوال ته د رسیدلو دوام د آیونونو مخه نیسي او د پلازما ضایع کموي.
د دې پدیدې له مخې ، د مقناطیسي فلټر وسیلې په دیوال کې مناسب مثبت تعصب فشار پلي کیدی شي ترڅو د هدف ایون ټرانسپورټ موثریت ته وده ورکولو لپاره د آیونونو ټکر مخه ونیسي.

د مقناطیسي فلټریشن وسیله طبقه بندي
(1) خطي جوړښت.مقناطیسي ساحه د آیون بیم جریان لپاره د لارښود په توګه کار کوي ، د کیتوډ ځای اندازه او د میکروسکوپیک ذرات کلسترونو تناسب کموي ، پداسې حال کې چې په پلازما کې د ټکر شدت رامینځته کوي ، د غیر جانبدار ذرات په آئنونو بدلولو هڅوي او د میکروسکوپیک شمیر کموي. د ذراتو کلسترونه، او په چټکۍ سره د لویو ذراتو شمیر کموي لکه څنګه چې د مقناطیسي ساحې ځواک زیاتیږي.د دودیز ملټي آرک آئن کوټینګ میتود سره په پرتله ، دا جوړ شوی وسیله د نورو میتودونو له امله رامینځته شوي موثریت کې د پام وړ کمښت باندې بریالي کیږي او کولی شي د لازمي فلم د زیرمه کولو نرخ ډاډمن کړي پداسې حال کې چې د لویو ذراتو شمیر شاوخوا 60٪ کموي.
(2) د منحنی ډول جوړښت.که څه هم جوړښت مختلف شکلونه لري، مګر بنسټیز اصل یو شان دی.پلازما د مقناطیسي ساحې او بریښنایی ساحې د ګډ فعالیت لاندې حرکت کوي ، او مقناطیسي ساحه د مقناطیسي ځواک لینونو په لور حرکت پرته د پلازما محدودولو او کنټرول لپاره کارول کیږي.او نه چارج شوي ذرات به د خطي سره حرکت وکړي او جلا شي.د دې ساختماني وسیلې لخوا چمتو شوي فلمونه لوړ سختۍ ، ټیټ سطحه خړپړتیا ، ښه کثافت ، د غلو یونیفورم اندازه ، او قوي فلم بیس چپکونکی لري.د XPS تحلیل ښیې چې د دې ډول وسیلې سره پوښل شوي د ta-C فلمونو سطحې سختۍ 56 GPa ته رسیدلی شي ، پدې توګه د منحني جوړښت وسیله د لوی ذرات لرې کولو لپاره ترټولو پراخه کارول شوې او مؤثره میتود دی ، مګر د هدف آیون ټرانسپورټ موثریت ته اړتیا لري. نور ښه شوی.د 90 ° بند مقناطیسي فلټریشن وسیله یو له خورا پراخه کارول شوي منحني جوړښت وسیلو څخه دی.د Ta-C فلمونو د سطحي پروفایل په اړه تجربې ښیي چې د 360 ° موړ مقناطیسي فلټریشن وسیلې د سطح پروفایل د 90 ° bend مقناطیسي فلټریشن وسیلې په پرتله ډیر بدلون نه کوي ، نو د لویو ذراتو لپاره د 90 ° بند مقناطیسي فلټریشن اغیز اساسا کیدی شي. لاسته راوړل.د 90 ° bend مقناطیسي فلټریشن وسیله په عمده ډول دوه ډوله جوړښتونه لري: یو موډل سولینایډ دی چې د خلا چیمبر کې ځای په ځای شوی ، او بل یې د خلا چیمبر څخه بهر ایښودل شوی ، او د دوی ترمینځ توپیر یوازې په جوړښت کې دی.د 90 ° بند مقناطیسي فلټریشن وسیلې کاري فشار د 10-2Pa په ترتیب کې دی ، او دا په پراخه کچه غوښتنلیکونو کې کارول کیدی شي ، لکه کوټینګ نایټریډ ، اکسایډ ، امورفوس کاربن ، سیمی کنډکټر فلم او فلزي یا غیر فلزي فلم .

د مقناطیسي فلټر کولو وسیله موثریت
څرنګه چې ټول لوی ذرات نشي کولی د دیوال سره په دوامداره ټکر کې متحرک انرژي له لاسه ورکړي، یو ټاکلی شمیر لوی ذرات به د پایپ آوټ لیټ له لارې سبسټریټ ته ورسیږي.له همدې کبله، اوږد او تنګ مقناطیسي فلټریشن وسیله د لویو ذراتو د فلټر کولو لوړ موثریت لري، مګر پدې وخت کې دا به د هدف ایونونو ضایع زیات کړي او په ورته وخت کې د جوړښت پیچلتیا زیاته کړي.له همدې امله ، ډاډ ترلاسه کول چې د مقناطیسي فلټریشن وسیله عالي لوی ذرات لرې کول او د آیون ټرانسپورټ لوړ موثریت د ملټي آرک آئن کوټینګ ټیکنالوژۍ لپاره اړین شرط دی ترڅو د لوړ فعالیت پتلي فلمونو زیرمه کولو کې د پراخه غوښتنلیک امکان ولري.د مقناطیسي فلټریشن وسیلې عملیات د مقناطیسي ساحې ځواک ، بینډ تعصب ، میخانیکي بفل اپرچر ، د آرک سرچینه اوسني او د چارج شوي ذرات پیښې زاویه لخوا اغیزمن کیږي.د مقناطیسي فلټریشن وسیلې مناسب پیرامیټرو تنظیم کولو سره ، د لویو ذراتو فلټر کولو اغیزه او د هدف د آیون لیږد موثریت په مؤثره توګه ښه کیدی شي.