Tekonolosi fa'amama fa'amaneta

Teoria autū o le masini fa'amama maneta
O le faiga fa'amamāina o le masini fa'amamāina fa'amaneta mo vaega tetele i le ave plasma e fa'apea:
I le faʻaaogaina o le eseesega i le va o le plasma ma vaega tetele o loʻo i ai le totogi ma le fua faatatau o le totogi-i-le-mass, e iai se "pa puipui" (pe o se pa puipui poʻo se puipui paipa piʻo) e tuʻu i le va o le substrate ma le cathode surface, lea e poloka ai soʻo se vaega o loʻo gaoioi i se laina saʻo i le va o le cathode ma le substrate, aʻo mafai ona faʻaseseina ions e le magnetic field ma ui atu i le "pa puipui" i le substrate.

Mataupu faavae o le fa'agaoioiga o le masini fa'amama maneta

I totonu o le fanua maneta, Pe<

O Pe ma Pi o le Larmor radii o electrons ma ions, ma o le a o le lautele i totonu o le magnetic filter. O electrons i totonu o le plasma e aʻafia e le malosi o Lorentz ma e milo i luga o le magnetic field i le axial, ae o le magnetic field e itiiti sona aʻafiaga i le faʻaputuga o ions ona o le eseesega i le va o ions ma electrons i le Larmor radius. Peitaʻi, pe a gaoioi le electrons i luga o le axis o le masini magnetic filter, o le a tosina mai ai ions i luga o le axial mo le gaioiga faʻataʻamilomilo ona o lona taulaʻiga ma le malosi o le eletise leaga, ma o le saoasaoa o le electrons e sili atu nai lo le ion, o lea e toso pea e le electron le ion i luma, ae o le plasma e tumau pea le le faaituau eletise. O vaega tetele e le faaituau eletise pe teisi le faaituau, ma o le lelei e sili atu le tele nai lo ions ma electrons, e le afaina tele i le magnetic field ma le gaioiga laina i luga o le inertia, ma o le a faamamaina pe a uma ona fetoʻai ma le puipui i totonu o le masini.
I lalo o le galuega tuufaatasi o le pi'o o le fanua maneta curvature ma le gradient drift ma le feto'ai o ion-electron, e mafai ona fa'aseseina le plasma i totonu o le masini fa'amama maneta. I fa'ata'ita'iga fa'ateorē masani e fa'aaogaina i aso nei o le fa'ata'ita'iga o le Morozov flux ma le fa'ata'ita'iga o le Davidson rigid rotor, o lo'o i ai le uiga masani nei: o lo'o i ai se fanua maneta e fa'agaoioi ai eletise i se auala fa'ata'amilomilo.
O le malosi o le fanua maneta o loʻo taʻitaʻia ai le gaioiga axial o le plasma i totonu o le masini faʻamamā maneta e tatau ona faʻapea:

O Mi, Vo, ma le Z o le mamafa o ion, le saoasaoa o felauaiga, ma le aofaʻi o avega o loʻo feaveaʻiina. o le a o le lautele i totonu o le faamama maneta, ma o le e o le avega o le eletise.
E tatau ona maitauina o nisi o ion e maualuga atu le malosi e le mafai ona noatia atoatoa e le ave eletise. Atonu latou te oʻo atu i le puipui i totonu o le faamama maneta, ma avea ai le puipui i totonu ma se malosiaga lelei, lea e taofia ai ion mai le faaauau pea ona oʻo atu i le puipui i totonu ma faʻaitiitia ai le leiloa o le plasma.
E tusa ai ma lenei mea, e mafai ona faʻaaogaina se mamafa talafeagai o le faʻaituau i le puipui o le masini faamama maneta e taofia ai le fetoʻai o ions ma faʻaleleia atili ai le lelei o le felauaiga o ions faʻamoemoeina.

Fa'avasegaga o masini fa'amama maneta
(1) Fausaga fa'asolosolo. O le fanua maneta e fai ma ta'iala mo le tafe o le ave o le ion, e fa'aitiitia ai le tele o le cathode spot ma le vaega o vaega tetele, a'o fa'amalosia ai feto'ai i totonu o le plasma, e fa'aosofia ai le liua o vaega e le fa'aitu'au i ni ion ma fa'aitiitia ai le aofa'i o vaega tetele, ma fa'aitiitia vave ai le aofa'i o vaega tetele a'o fa'ateleina le malosi o le fanua maneta. Pe a fa'atusatusa i le metotia masani o le ufiufi o le ion multi-arc, o lenei masini fa'atulagaina e fa'ato'ilaloina ai le fa'aitiitia tele o le lelei e mafua mai i isi metotia ma e mafai ona fa'amautinoa le fua fa'atatau o le teuina o ata tifaga a'o fa'aitiitia le aofa'i o vaega tetele e tusa ma le 60%.
(2) Fausaga ituaiga pi'o. E ui o le fausaga e eseese foliga, ae o le mataupu faavae autu e tutusa lava. E fealua'i le plasma i lalo o le galuega tuufaatasi a le fanua maneta ma le fanua eletise, ma e fa'aaogaina le fanua maneta e fa'atapula'a ma pulea ai le plasma e aunoa ma le fa'alavelaveina o le gaioiga i le itu o laina malosi maneta. Ma o vaega e le'i molia o le a fealua'i i le laina ma vavae'ese. O ata tifaga na saunia e lenei masini fa'atulagaina e maualuga le ma'a'a, maualalo le mageso o le fogaeleele, lelei le mafiafia, tutusa le tele o fatu, ma malosi le pipii o le fa'avae o le ata tifaga. O le su'esu'ega XPS e fa'aalia ai o le ma'a'a o le fogaeleele o ata tifaga ta-C ua ufiufi i lenei ituaiga masini e mafai ona o'o atu i le 56 GPa, o lea la o le masini fa'atulagaina pi'o o le metotia sili ona fa'aaogaina ma aoga mo le aveeseina o vaega tetele, ae o le lelei o le felauaiga o ion e mana'omia ona fa'aleleia atili. O le masini fa'amama maneta pi'o 90° o se tasi o masini fa'atulagaina pi'o e sili ona fa'aaogaina. O fa'ata'ita'iga i luga o le foliga o le fogaeleele o ata tifaga Ta-C e fa'aalia ai o le foliga o le fogaeleele o le masini fa'amama maneta pi'o 360° e le tele se suiga pe a fa'atusatusa i le masini fa'amama maneta pi'o 90°, o lea la o le a'afiaga o le fa'amama maneta pi'o 90° mo vaega tetele e mafai ona ausia. O le masini fa'amamā fa'amaneta e 90° le pi'o e masani ona i ai ni ituaiga fausaga se lua: o le tasi o le solenoid pi'o e tu'u i totonu o le potu gaogao, ma le isi e tu'u i fafo o le potu gaogao, ma o le eseesega i le va o ia mea e na'o le fausaga. O le mamafa galue o le masini fa'amamā fa'amaneta e 90° le pi'o e tusa ma le 10-2Pa, ma e mafai ona fa'aogaina i le tele o fa'aoga, e pei o le ufiufiina o le nitride, oxide, amorphous carbon, semiconductor film ma le u'amea po'o le non-metal film.

Le lelei o le masini fa'amama fa'amaneta
Talu ai e le mafai e vaega tetele uma ona leiloa le malosi fa'atino i le feto'ai pea ma le puipui, o le a o'o atu se numera patino o vaega tetele i le substrate e ala i le paipa e alu ese ai. O le mea lea, o se masini fa'amama maneta umi ma vaapiapi e sili atu le lelei o le fa'amama o vaega tetele, ae i le taimi nei o le a fa'ateleina ai le leiloa o ions fa'amoemoe ma i le taimi lava e tasi e fa'ateleina ai le lavelave o le fausaga. O le mea lea, o le fa'amautinoaina o le masini fa'amama maneta e sili ona lelei le aveeseina o vaega tetele ma le maualuga o le lelei o le felauaiga o ion o se mea e mana'omia muamua mo le tekinolosi ufiufi ion multi-arc ina ia i ai se avanoa lautele mo le fa'aogaina i le teuina o ata manifinifi maualuga. O le fa'agaioiga o le masini fa'amama maneta e a'afia e le malosi o le fanua maneta, le pi'o o le pi'o, le avanoa fa'apitoa o le baffle, le tafe o le arc ma le tulimanu o le osofa'iga o vaega ua molia. I le fa'atulagaina o fa'atulagaga talafeagai o le masini fa'amama maneta, o le a'afiaga o le fa'amama o vaega tetele ma le lelei o le fesiitaiga o ion o le fa'amoemoe e mafai ona fa'aleleia atili.