Ny teoria fototra momba ny fitaovana filtration magnetika
Ny fomba fanivanana ny fitaovana fanivanana magnetika ho an'ny singa lehibe ao amin'ny taratra plasma dia toy izao manaraka izao:
Amin'ny fampiasana ny fahasamihafana misy eo amin'ny plasma sy ny poti-javatra lehibe miandraikitra sy ny tahan'ny fiampangana amin'ny faobe, dia misy "sakana" (na baffle na rindrina fantsona miolikolika) mametraka eo anelanelan'ny substrate sy ny tampon'ny cathode, izay manakana ny singa rehetra mihetsika ao anaty a tsipika mahitsy eo anelanelan'ny cathode sy ny substrate, raha toa kosa ny ion dia afaka mivadika amin'ny sahan'andriamby ary mandalo amin'ny "sakanana" mankany amin'ny substrate.
Ny fitsipiky ny fiasan'ny fitaovana filtration magnetika
Ao amin'ny sahan'andriamby, Pe<
Pe sy Pi dia ny Larmor radii ny elektrôna sy ny ion tsirairay avy, ary ny dia ny savaivony anatiny ny andriamby sivana.Ny elektrôna ao amin'ny plasma dia misy fiantraikany amin'ny hery Lorentz ary mihodina manaraka ny sahan'andriamby axially, raha ny sahan'andriamby tsy dia misy fiantraikany amin'ny clustering ny ion noho ny fahasamihafana misy eo amin'ny ion sy ny elektronika ao amin'ny Larmor radius.Na izany aza, rehefa ny elektrôna hetsika eo amin'ny axis ny andriamby fitaovana sivana, dia hisarika ions eo amin'ny axial ny rotational motion noho ny fifantohana sy ny ratsy mafy saha herinaratra, ary ny elektronika hafainganam-pandeha dia lehibe noho ny ion, ka ny elektronika misintona tsy tapaka ny ion handroso, fa ny plasma kosa dia tsy miandany amin'ny elektrika.Ny poti lehibe dia tsy miandany amin'ny elektrika na misy fiampangana kely, ary ny kalitao dia lehibe kokoa noho ny ion sy ny elektronika, amin'ny ankapobeny dia tsy misy fiantraikany amin'ny sahan'andriamby sy ny hetsika amin'ny alàlan'ny inertia, ary ho voasivana aorian'ny fifandonana amin'ny rindrina anatiny. fitaovana.
Eo ambanin'ny fiasa mitambatra ny curvature sahan'andriamby miondrika sy ny gradient drift sy ny fifandonan'ny ion-elektronika, ny plasma dia mety hivadika amin'ny fitaovana filtration magnetika.Ao amin'ny The common theoretical models used today is the Morozov flux model and the Davidson rigid rotor model, which have the following common feature: misy sahan'andriamby izay mahatonga ny elektrôna mihetsika amin'ny fomba helika henjana.
Ny tanjaky ny sahan'andriamby mitarika ny hetsika axial ny plasma ao amin'ny fitaovana filtration magnetika dia tokony ho toy izao:
Mi, Vo, ary Z dia ny mass ion, ny hafainganam-pandehan'ny fitaterana, ary ny isan'ny fiampangana nentina tsirairay avy.a dia ny savaivony anatiny amin'ny sivana magnetika, ary ny e dia ny fiampangana elektronika.
Tsara homarihina fa ny ion angovo ambony sasany dia tsy afaka mifamatotra tanteraka amin'ny taratra elektronika.Mety hahatratra ny rindrin'ny sivana magnetika izy ireo, ka mahatonga ny rindrina anatiny ho mety tsara, izay manakana ny ion tsy hanohizana ny rindrina anatiny ary mampihena ny fahaverezan'ny plasma.
Araka io trangan-javatra io, ny tsindry mitongilana tsara mety dia azo ampiharina amin'ny rindrin'ny fitaovana sivana magnetika mba hanakanana ny fifandonan'ny ions mba hanatsarana ny fahombiazan'ny fitaterana ion kendrena.
Fanasokajiana ny fitaovana filtration magnetika
(1) Firafitry ny tsipika.Ny sahan'andriamby dia miasa toy ny mpitari-dalana amin'ny fikorianan'ny taratra ion, mampihena ny haben'ny toerana cathode sy ny ampahany amin'ny clusters macroscopic, ary manamafy ny fifandonana ao anatin'ny plasma, manosika ny fiovan'ny singa tsy miandany ho ion ary mampihena ny isan'ny macroscopic. clusters particles, ary mampihena haingana ny isan'ny poti-javatra lehibe rehefa mitombo ny herin'ny sahan'andriamby.Raha ampitahaina amin'ny fomba fanao mahazatra multi-arc ion coating, ity fitaovana voarafitra ity dia maharesy ny fihenan'ny fahombiazan'ny fomba hafa ary afaka miantoka ny tahan'ny fandefasana sarimihetsika tsy tapaka ary mampihena ny isan'ny singa lehibe amin'ny 60%.
(2) Firafitry ny karazana curve.Na dia manana endrika isan-karazany aza ny rafitra, fa ny fitsipika fototra dia mitovy.Ny plasma dia mihetsika eo ambanin'ny fiasan'ny sahan'andriamby sy ny sahan-jiro, ary ny sahan'andriamby dia ampiasaina mba hamehezana sy hifehezana ny plasma tsy misy fiviliana amin'ny alàlan'ny tsipika hery magnetika.Ary ny poti tsy voaloa dia hivezivezy amin'ny tsipika ary hisaraka.Ny sarimihetsika nomanin'ity fitaovana ara-drafitra ity dia manana hamafin'ny haavony, ny habetsahany ambany, ny hakitroky tsara, ny haben'ny voam-bary ary ny adhesion fototra amin'ny sarimihetsika.Ny famakafakana XPS dia mampiseho fa ny hamafin'ny ta-C sarimihetsika mifono amin'ity karazana fitaovana ity dia mety hahatratra 56 GPa, noho izany ny fitaovana firafitry ny curved no fomba be mpampiasa indrindra sy mahomby indrindra amin'ny fanesorana poti be, fa ny fahombiazan'ny fitaterana ion kendrena dia mila nohatsaraina bebe kokoa.Ny fitaovana filtration magnetika miondrika 90 ° dia iray amin'ireo fitaovana firafitra miolikolika be mpampiasa indrindra.Ny fanandramana momba ny mombamomba ny sarimihetsika Ta-C dia mampiseho fa ny mombamomba ny fitaovana filtration magnetika 360 ° bend dia tsy miova be raha oharina amin'ny fitaovana filtration magnetika 90 °, noho izany dia mety ho fototra ny fiantraikan'ny filtration magnetika 90 ° ho an'ny poti-be. tratra.Ny fitaovana filtration magnetika 90 ° bend dia manana rafitra roa karazana: ny iray dia solenoida miondrika napetraka ao amin'ny efitrano banga, ary ny iray dia apetraka amin'ny efitrano banga, ary ny fahasamihafana eo amin'izy ireo dia ao amin'ny rafitra ihany.Ny fanerena miasa ny 90 ° miondrika andriamby filtration fitaovana dia ao amin'ny filaharan'ny 10-2Pa, ary azo ampiasaina amin'ny isan-karazany ny fampiharana, toy ny coating nitride, oxide, karbaona amorphous, semiconductor sarimihetsika sy ny metaly na tsy metaly sarimihetsika. .
Ny fahombiazan'ny fitaovana filtration magnetika
Satria tsy ny poti lehibe rehetra dia mety hamoy angovo kinetika amin'ny fifandonana tsy tapaka amin'ny rindrina, ny ampahany lehibe dia hahatratra ny substrate amin'ny alàlan'ny fivoahan'ny sodina.Noho izany, ny fitaovana filtration magnetika lava sy tery dia manana fahaiza-manao filtration ambony kokoa amin'ny poti lehibe, saingy amin'izao fotoana izao dia hampitombo ny fahaverezan'ny ion kendrena izany ary hampitombo ny fahasarotan'ny rafitra.Noho izany, ny fiantohana fa ny fitaovana filtration andriamby dia manana fanesorana poti be dia be ary ny fahombiazan'ny fitaterana ion dia fepetra ilaina amin'ny teknolojia fametahana ion multi-arc mba hananana fampiharana malalaka amin'ny fametrahana sarimihetsika manify avo lenta.Ny fiasan'ny fitaovana filtration magnetika dia misy fiantraikany amin'ny tanjaky ny sahan'andriamby, ny fitongilanana miondrika, ny aperture mekanika baffle, ny loharano arc ankehitriny ary ny zorony trangan-javatra voampanga.Amin'ny alàlan'ny fametrahana mari-pamantarana ara-drariny amin'ny fitaovana filtration magnetika, dia azo hatsaraina tsara ny fiantraikan'ny sivana amin'ny poti-javatra lehibe sy ny fahombiazan'ny famindrana ion amin'ny tanjona.
Fotoana fandefasana: Nov-08-2022