Guangdong Zhenhua Technology Co.,Ltd ಗೆ ಸುಸ್ವಾಗತ.
ಸಿಂಗಲ್_ಬ್ಯಾನರ್

ಮ್ಯಾಗ್ನೆಟಿಕ್ ಶೋಧನೆ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನ

ಲೇಖನದ ಮೂಲ:ಝೆನ್ಹುವಾ ನಿರ್ವಾತ
ಓದಿ: 10
ಪ್ರಕಟಿತ:22-11-08

ಕಾಂತೀಯ ಶೋಧನೆ ಸಾಧನದ ಮೂಲ ಸಿದ್ಧಾಂತ
ಪ್ಲಾಸ್ಮಾ ಕಿರಣದಲ್ಲಿನ ದೊಡ್ಡ ಕಣಗಳಿಗೆ ಮ್ಯಾಗ್ನೆಟಿಕ್ ಫಿಲ್ಟರಿಂಗ್ ಸಾಧನದ ಫಿಲ್ಟರಿಂಗ್ ಕಾರ್ಯವಿಧಾನವು ಈ ಕೆಳಗಿನಂತಿರುತ್ತದೆ:
ಪ್ಲಾಸ್ಮಾ ಮತ್ತು ಚಾರ್ಜ್-ಟು-ಮಾಸ್ ಅನುಪಾತದಲ್ಲಿನ ದೊಡ್ಡ ಕಣಗಳ ನಡುವಿನ ವ್ಯತ್ಯಾಸವನ್ನು ಬಳಸಿಕೊಂಡು, ತಲಾಧಾರ ಮತ್ತು ಕ್ಯಾಥೋಡ್ ಮೇಲ್ಮೈ ನಡುವೆ "ತಡೆಗೋಡೆ" (ತಡೆಗೋಡೆ ಅಥವಾ ಬಾಗಿದ ಟ್ಯೂಬ್ ಗೋಡೆ) ಇದೆ, ಇದು ಯಾವುದೇ ಕಣಗಳಲ್ಲಿ ಚಲಿಸುವಿಕೆಯನ್ನು ನಿರ್ಬಂಧಿಸುತ್ತದೆ. ಕ್ಯಾಥೋಡ್ ಮತ್ತು ತಲಾಧಾರದ ನಡುವಿನ ನೇರ ರೇಖೆ, ಆದರೆ ಅಯಾನುಗಳನ್ನು ಕಾಂತೀಯ ಕ್ಷೇತ್ರದಿಂದ ತಿರುಗಿಸಬಹುದು ಮತ್ತು "ತಡೆ" ಮೂಲಕ ತಲಾಧಾರಕ್ಕೆ ಹಾದುಹೋಗಬಹುದು.

ಮ್ಯಾಗ್ನೆಟಿಕ್ ಫಿಲ್ಟರೇಶನ್ ಸಾಧನದ ಕಾರ್ಯಾಚರಣೆಯ ತತ್ವ

ಕಾಂತೀಯ ಕ್ಷೇತ್ರದಲ್ಲಿ, ಪೆ<

Pe ಮತ್ತು Pi ಕ್ರಮವಾಗಿ ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನ್‌ಗಳು ಮತ್ತು ಅಯಾನುಗಳ ಲಾರ್ಮರ್ ತ್ರಿಜ್ಯಗಳಾಗಿವೆ ಮತ್ತು a ಕಾಂತೀಯ ಫಿಲ್ಟರ್‌ನ ಒಳ ವ್ಯಾಸವಾಗಿದೆ.ಪ್ಲಾಸ್ಮಾದಲ್ಲಿನ ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನ್‌ಗಳು ಲೊರೆಂಟ್ಜ್ ಬಲದಿಂದ ಪ್ರಭಾವಿತವಾಗಿರುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಕಾಂತಕ್ಷೇತ್ರದ ಉದ್ದಕ್ಕೂ ಅಕ್ಷೀಯವಾಗಿ ತಿರುಗುತ್ತದೆ, ಆದರೆ ಲಾರ್ಮರ್ ತ್ರಿಜ್ಯದಲ್ಲಿನ ಅಯಾನುಗಳು ಮತ್ತು ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನ್‌ಗಳ ನಡುವಿನ ವ್ಯತ್ಯಾಸದಿಂದಾಗಿ ಕಾಂತಕ್ಷೇತ್ರವು ಅಯಾನುಗಳ ಕ್ಲಸ್ಟರಿಂಗ್‌ನಲ್ಲಿ ಕಡಿಮೆ ಪರಿಣಾಮವನ್ನು ಬೀರುತ್ತದೆ.ಆದಾಗ್ಯೂ, ಮ್ಯಾಗ್ನೆಟಿಕ್ ಫಿಲ್ಟರ್ ಸಾಧನದ ಅಕ್ಷದ ಉದ್ದಕ್ಕೂ ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನ್ ಚಲನೆಯು ಅದರ ಗಮನ ಮತ್ತು ಬಲವಾದ ಋಣಾತ್ಮಕ ವಿದ್ಯುತ್ ಕ್ಷೇತ್ರದಿಂದ ತಿರುಗುವ ಚಲನೆಗೆ ಅಕ್ಷೀಯ ಉದ್ದಕ್ಕೂ ಅಯಾನುಗಳನ್ನು ಆಕರ್ಷಿಸುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನ್ ವೇಗವು ಅಯಾನುಗಿಂತ ಹೆಚ್ಚಾಗಿರುತ್ತದೆ, ಆದ್ದರಿಂದ ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನ್ ನಿರಂತರವಾಗಿ ಅಯಾನನ್ನು ಮುಂದಕ್ಕೆ ಎಳೆಯಿರಿ, ಪ್ಲಾಸ್ಮಾ ಯಾವಾಗಲೂ ಅರೆ-ವಿದ್ಯುತ್ ತಟಸ್ಥವಾಗಿರುತ್ತದೆ.ದೊಡ್ಡ ಕಣಗಳು ವಿದ್ಯುತ್ ತಟಸ್ಥ ಅಥವಾ ಸ್ವಲ್ಪ ಋಣಾತ್ಮಕ ಚಾರ್ಜ್ ಆಗಿರುತ್ತವೆ, ಮತ್ತು ಗುಣಮಟ್ಟವು ಅಯಾನುಗಳು ಮತ್ತು ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನ್‌ಗಳಿಗಿಂತ ದೊಡ್ಡದಾಗಿದೆ, ಮೂಲತಃ ಕಾಂತೀಯ ಕ್ಷೇತ್ರ ಮತ್ತು ಜಡತ್ವದ ಉದ್ದಕ್ಕೂ ರೇಖೀಯ ಚಲನೆಯಿಂದ ಪ್ರಭಾವಿತವಾಗುವುದಿಲ್ಲ ಮತ್ತು ಒಳಗಿನ ಗೋಡೆಯೊಂದಿಗೆ ಘರ್ಷಣೆಯ ನಂತರ ಫಿಲ್ಟರ್ ಮಾಡಲಾಗುತ್ತದೆ. ಸಾಧನ.
ಬಾಗುವ ಆಯಸ್ಕಾಂತೀಯ ಕ್ಷೇತ್ರದ ವಕ್ರತೆ ಮತ್ತು ಗ್ರೇಡಿಯಂಟ್ ಡ್ರಿಫ್ಟ್ ಮತ್ತು ಅಯಾನು-ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನ್ ಘರ್ಷಣೆಗಳ ಸಂಯೋಜಿತ ಕಾರ್ಯದ ಅಡಿಯಲ್ಲಿ, ಪ್ಲಾಸ್ಮಾವನ್ನು ಕಾಂತೀಯ ಶೋಧನೆ ಸಾಧನದಲ್ಲಿ ತಿರುಗಿಸಬಹುದು.ಇಂದು ಬಳಸಲಾಗುವ ಸಾಮಾನ್ಯ ಸೈದ್ಧಾಂತಿಕ ಮಾದರಿಗಳೆಂದರೆ ಮೊರೊಜೊವ್ ಫ್ಲಕ್ಸ್ ಮಾದರಿ ಮತ್ತು ಡೇವಿಡ್ಸನ್ ರಿಜಿಡ್ ರೋಟರ್ ಮಾದರಿ, ಇವುಗಳು ಈ ಕೆಳಗಿನ ಸಾಮಾನ್ಯ ಲಕ್ಷಣವನ್ನು ಹೊಂದಿವೆ: ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನ್‌ಗಳನ್ನು ಕಟ್ಟುನಿಟ್ಟಾಗಿ ಹೆಲಿಕಲ್ ರೀತಿಯಲ್ಲಿ ಚಲಿಸುವಂತೆ ಮಾಡುವ ಕಾಂತೀಯ ಕ್ಷೇತ್ರವಿದೆ.
ಆಯಸ್ಕಾಂತೀಯ ಶೋಧನೆ ಸಾಧನದಲ್ಲಿ ಪ್ಲಾಸ್ಮಾದ ಅಕ್ಷೀಯ ಚಲನೆಯನ್ನು ಮಾರ್ಗದರ್ಶಿಸುವ ಕಾಂತೀಯ ಕ್ಷೇತ್ರದ ಬಲವು ಹೀಗಿರಬೇಕು:
ಕಾಂತೀಯ ಶೋಧನೆ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನ (1)

Mi, Vo, ಮತ್ತು Z ಗಳು ಅಯಾನು ದ್ರವ್ಯರಾಶಿ, ಸಾರಿಗೆ ವೇಗ ಮತ್ತು ಕ್ರಮವಾಗಿ ಸಾಗಿಸುವ ಶುಲ್ಕಗಳ ಸಂಖ್ಯೆ.a ಎಂಬುದು ಮ್ಯಾಗ್ನೆಟಿಕ್ ಫಿಲ್ಟರ್‌ನ ಒಳಗಿನ ವ್ಯಾಸ, ಮತ್ತು e ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನ್ ಚಾರ್ಜ್ ಆಗಿದೆ.
ಕೆಲವು ಹೆಚ್ಚಿನ ಶಕ್ತಿಯ ಅಯಾನುಗಳನ್ನು ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನ್ ಕಿರಣದಿಂದ ಸಂಪೂರ್ಣವಾಗಿ ಬಂಧಿಸಲಾಗುವುದಿಲ್ಲ ಎಂದು ಗಮನಿಸಬೇಕು.ಅವು ಮ್ಯಾಗ್ನೆಟಿಕ್ ಫಿಲ್ಟರ್‌ನ ಒಳಗಿನ ಗೋಡೆಯನ್ನು ತಲುಪಬಹುದು, ಒಳಗಿನ ಗೋಡೆಯನ್ನು ಧನಾತ್ಮಕ ವಿಭವದಲ್ಲಿ ಮಾಡುತ್ತದೆ, ಇದು ಅಯಾನುಗಳನ್ನು ಒಳಗಿನ ಗೋಡೆಯನ್ನು ತಲುಪುವುದನ್ನು ಮುಂದುವರಿಸುವುದನ್ನು ತಡೆಯುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಪ್ಲಾಸ್ಮಾದ ನಷ್ಟವನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ.
ಈ ವಿದ್ಯಮಾನದ ಪ್ರಕಾರ, ಗುರಿಯ ಅಯಾನು ಸಾಗಣೆ ದಕ್ಷತೆಯನ್ನು ಸುಧಾರಿಸಲು ಅಯಾನುಗಳ ಘರ್ಷಣೆಯನ್ನು ತಡೆಯಲು ಮ್ಯಾಗ್ನೆಟಿಕ್ ಫಿಲ್ಟರ್ ಸಾಧನದ ಗೋಡೆಗೆ ಸೂಕ್ತವಾದ ಧನಾತ್ಮಕ ಪಕ್ಷಪಾತದ ಒತ್ತಡವನ್ನು ಅನ್ವಯಿಸಬಹುದು.
ಕಾಂತೀಯ ಶೋಧನೆ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನ (2)

ಕಾಂತೀಯ ಶೋಧನೆ ಸಾಧನದ ವರ್ಗೀಕರಣ
(1) ರೇಖೀಯ ರಚನೆ.ಕಾಂತೀಯ ಕ್ಷೇತ್ರವು ಅಯಾನು ಕಿರಣದ ಹರಿವಿಗೆ ಮಾರ್ಗದರ್ಶಿಯಾಗಿ ಕಾರ್ಯನಿರ್ವಹಿಸುತ್ತದೆ, ಕ್ಯಾಥೋಡ್ ಸ್ಪಾಟ್‌ನ ಗಾತ್ರ ಮತ್ತು ಮ್ಯಾಕ್ರೋಸ್ಕೋಪಿಕ್ ಕಣ ಸಮೂಹಗಳ ಪ್ರಮಾಣವನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ, ಪ್ಲಾಸ್ಮಾದಲ್ಲಿನ ಘರ್ಷಣೆಯನ್ನು ತೀವ್ರಗೊಳಿಸುತ್ತದೆ, ತಟಸ್ಥ ಕಣಗಳನ್ನು ಅಯಾನುಗಳಾಗಿ ಪರಿವರ್ತಿಸಲು ಮತ್ತು ಮ್ಯಾಕ್ರೋಸ್ಕೋಪಿಕ್ ಸಂಖ್ಯೆಯನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ. ಕಣಗಳ ಸಮೂಹಗಳು, ಮತ್ತು ಕಾಂತಕ್ಷೇತ್ರದ ಬಲವು ಹೆಚ್ಚಾದಂತೆ ದೊಡ್ಡ ಕಣಗಳ ಸಂಖ್ಯೆಯನ್ನು ತ್ವರಿತವಾಗಿ ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ.ಸಾಂಪ್ರದಾಯಿಕ ಮಲ್ಟಿ-ಆರ್ಕ್ ಅಯಾನ್ ಲೇಪನ ವಿಧಾನದೊಂದಿಗೆ ಹೋಲಿಸಿದರೆ, ಈ ರಚನಾತ್ಮಕ ಸಾಧನವು ಇತರ ವಿಧಾನಗಳಿಂದ ಉಂಟಾಗುವ ದಕ್ಷತೆಯ ಗಮನಾರ್ಹ ಕಡಿತವನ್ನು ಮೀರಿಸುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ದೊಡ್ಡ ಕಣಗಳ ಸಂಖ್ಯೆಯನ್ನು ಸುಮಾರು 60% ರಷ್ಟು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುವಾಗ ಮೂಲಭೂತವಾಗಿ ಸ್ಥಿರವಾದ ಫಿಲ್ಮ್ ಠೇವಣಿ ದರವನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸುತ್ತದೆ.
(2) ಕರ್ವ್ ಮಾದರಿಯ ರಚನೆ.ರಚನೆಯು ವಿವಿಧ ರೂಪಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿದ್ದರೂ, ಮೂಲ ತತ್ವವು ಒಂದೇ ಆಗಿರುತ್ತದೆ.ಪ್ಲಾಸ್ಮಾವು ಆಯಸ್ಕಾಂತೀಯ ಕ್ಷೇತ್ರ ಮತ್ತು ವಿದ್ಯುತ್ ಕ್ಷೇತ್ರದ ಸಂಯೋಜಿತ ಕಾರ್ಯದ ಅಡಿಯಲ್ಲಿ ಚಲಿಸುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಕಾಂತೀಯ ಕ್ಷೇತ್ರವನ್ನು ಕಾಂತೀಯ ಬಲದ ರೇಖೆಗಳ ದಿಕ್ಕಿನಲ್ಲಿ ಚಲನೆಯನ್ನು ತಿರುಗಿಸದೆ ಪ್ಲಾಸ್ಮಾವನ್ನು ನಿರ್ಬಂಧಿಸಲು ಮತ್ತು ನಿಯಂತ್ರಿಸಲು ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ.ಮತ್ತು ಚಾರ್ಜ್ ಮಾಡದ ಕಣಗಳು ರೇಖೀಯ ಉದ್ದಕ್ಕೂ ಚಲಿಸುತ್ತವೆ ಮತ್ತು ಬೇರ್ಪಡಿಸಲ್ಪಡುತ್ತವೆ.ಈ ರಚನಾತ್ಮಕ ಸಾಧನದಿಂದ ಸಿದ್ಧಪಡಿಸಲಾದ ಚಲನಚಿತ್ರಗಳು ಹೆಚ್ಚಿನ ಗಡಸುತನ, ಕಡಿಮೆ ಮೇಲ್ಮೈ ಒರಟುತನ, ಉತ್ತಮ ಸಾಂದ್ರತೆ, ಏಕರೂಪದ ಧಾನ್ಯದ ಗಾತ್ರ ಮತ್ತು ಬಲವಾದ ಫಿಲ್ಮ್ ಬೇಸ್ ಅಂಟಿಕೊಳ್ಳುವಿಕೆಯನ್ನು ಹೊಂದಿರುತ್ತವೆ.XPS ವಿಶ್ಲೇಷಣೆಯು ಈ ರೀತಿಯ ಸಾಧನದೊಂದಿಗೆ ಲೇಪಿತವಾದ ta-C ಫಿಲ್ಮ್‌ಗಳ ಮೇಲ್ಮೈ ಗಡಸುತನವು 56 GPa ಅನ್ನು ತಲುಪಬಹುದು ಎಂದು ತೋರಿಸುತ್ತದೆ, ಆದ್ದರಿಂದ ಬಾಗಿದ ರಚನೆಯ ಸಾಧನವು ದೊಡ್ಡ ಕಣಗಳನ್ನು ತೆಗೆದುಹಾಕಲು ಹೆಚ್ಚು ವ್ಯಾಪಕವಾಗಿ ಬಳಸಲಾಗುವ ಮತ್ತು ಪರಿಣಾಮಕಾರಿ ವಿಧಾನವಾಗಿದೆ, ಆದರೆ ಗುರಿಯ ಅಯಾನು ಸಾಗಣೆ ದಕ್ಷತೆಯ ಅಗತ್ಯವಿದೆ. ಮತ್ತಷ್ಟು ಸುಧಾರಿಸಿದೆ.90° ಬೆಂಡ್ ಮ್ಯಾಗ್ನೆಟಿಕ್ ಫಿಲ್ಟರೇಶನ್ ಸಾಧನವು ಹೆಚ್ಚು ವ್ಯಾಪಕವಾಗಿ ಬಳಸಲಾಗುವ ಬಾಗಿದ ರಚನೆ ಸಾಧನಗಳಲ್ಲಿ ಒಂದಾಗಿದೆ.Ta-C ಫಿಲ್ಮ್‌ಗಳ ಮೇಲ್ಮೈ ಪ್ರೊಫೈಲ್‌ನಲ್ಲಿನ ಪ್ರಯೋಗಗಳು 90 ° ಬೆಂಡ್ ಮ್ಯಾಗ್ನೆಟಿಕ್ ಫಿಲ್ಟರೇಶನ್ ಸಾಧನದೊಂದಿಗೆ ಹೋಲಿಸಿದರೆ 360 ° ಬೆಂಡ್ ಮ್ಯಾಗ್ನೆಟಿಕ್ ಫಿಲ್ಟರೇಶನ್ ಸಾಧನದ ಮೇಲ್ಮೈ ಪ್ರೊಫೈಲ್ ಹೆಚ್ಚು ಬದಲಾಗುವುದಿಲ್ಲ ಎಂದು ತೋರಿಸುತ್ತದೆ, ಆದ್ದರಿಂದ ದೊಡ್ಡ ಕಣಗಳಿಗೆ 90 ° ಬೆಂಡ್ ಮ್ಯಾಗ್ನೆಟಿಕ್ ಶೋಧನೆಯ ಪರಿಣಾಮವು ಮೂಲಭೂತವಾಗಿ ಆಗಿರಬಹುದು. ಸಾಧಿಸಿದೆ.90 ° ಬೆಂಡ್ ಮ್ಯಾಗ್ನೆಟಿಕ್ ಶೋಧನೆ ಸಾಧನವು ಮುಖ್ಯವಾಗಿ ಎರಡು ರೀತಿಯ ರಚನೆಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ: ಒಂದು ಬೆಂಡ್ ಸೊಲೆನಾಯ್ಡ್ ಅನ್ನು ನಿರ್ವಾತ ಕೊಠಡಿಯಲ್ಲಿ ಇರಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ, ಮತ್ತು ಇನ್ನೊಂದು ನಿರ್ವಾತ ಕೊಠಡಿಯಿಂದ ಹೊರಕ್ಕೆ ಇರಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಅವುಗಳ ನಡುವಿನ ವ್ಯತ್ಯಾಸವು ರಚನೆಯಲ್ಲಿ ಮಾತ್ರ.90° ಬೆಂಡ್ ಮ್ಯಾಗ್ನೆಟಿಕ್ ಫಿಲ್ಟರೇಶನ್ ಸಾಧನದ ಕೆಲಸದ ಒತ್ತಡವು 10-2Pa ಕ್ರಮದಲ್ಲಿದೆ ಮತ್ತು ಇದನ್ನು ಲೇಪನ ನೈಟ್ರೈಡ್, ಆಕ್ಸೈಡ್, ಅಸ್ಫಾಟಿಕ ಕಾರ್ಬನ್, ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಫಿಲ್ಮ್ ಮತ್ತು ಲೋಹ ಅಥವಾ ಲೋಹವಲ್ಲದ ಫಿಲ್ಮ್‌ನಂತಹ ವ್ಯಾಪಕ ಶ್ರೇಣಿಯ ಅಪ್ಲಿಕೇಶನ್‌ಗಳಲ್ಲಿ ಬಳಸಬಹುದು. .

ಕಾಂತೀಯ ಶೋಧನೆ ಸಾಧನದ ದಕ್ಷತೆ
ಗೋಡೆಯೊಂದಿಗಿನ ನಿರಂತರ ಘರ್ಷಣೆಯಲ್ಲಿ ಎಲ್ಲಾ ದೊಡ್ಡ ಕಣಗಳು ಚಲನ ಶಕ್ತಿಯನ್ನು ಕಳೆದುಕೊಳ್ಳುವುದಿಲ್ಲವಾದ್ದರಿಂದ, ನಿರ್ದಿಷ್ಟ ಸಂಖ್ಯೆಯ ದೊಡ್ಡ ಕಣಗಳು ಪೈಪ್ ಔಟ್ಲೆಟ್ ಮೂಲಕ ತಲಾಧಾರವನ್ನು ತಲುಪುತ್ತವೆ.ಆದ್ದರಿಂದ, ದೀರ್ಘ ಮತ್ತು ಕಿರಿದಾದ ಕಾಂತೀಯ ಶೋಧನೆ ಸಾಧನವು ದೊಡ್ಡ ಕಣಗಳ ಹೆಚ್ಚಿನ ಶೋಧನೆ ದಕ್ಷತೆಯನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ, ಆದರೆ ಈ ಸಮಯದಲ್ಲಿ ಇದು ಗುರಿ ಅಯಾನುಗಳ ನಷ್ಟವನ್ನು ಹೆಚ್ಚಿಸುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಅದೇ ಸಮಯದಲ್ಲಿ ರಚನೆಯ ಸಂಕೀರ್ಣತೆಯನ್ನು ಹೆಚ್ಚಿಸುತ್ತದೆ.ಆದ್ದರಿಂದ, ಮ್ಯಾಗ್ನೆಟಿಕ್ ಫಿಲ್ಟರೇಶನ್ ಸಾಧನವು ಅತ್ಯುತ್ತಮವಾದ ದೊಡ್ಡ ಕಣ ತೆಗೆಯುವಿಕೆ ಮತ್ತು ಅಯಾನ್ ಸಾಗಣೆಯ ಹೆಚ್ಚಿನ ದಕ್ಷತೆಯನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ ಎಂದು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳುವುದು ಬಹು-ಆರ್ಕ್ ಅಯಾನು ಲೇಪನ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನಕ್ಕೆ ಹೆಚ್ಚಿನ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯ ತೆಳುವಾದ ಫಿಲ್ಮ್‌ಗಳನ್ನು ಠೇವಣಿ ಮಾಡಲು ವ್ಯಾಪಕವಾದ ಅಪ್ಲಿಕೇಶನ್ ನಿರೀಕ್ಷೆಯನ್ನು ಹೊಂದಲು ಅಗತ್ಯವಾದ ಪೂರ್ವಾಪೇಕ್ಷಿತವಾಗಿದೆ.ಕಾಂತೀಯ ಶೋಧನೆ ಸಾಧನದ ಕಾರ್ಯಾಚರಣೆಯು ಕಾಂತೀಯ ಕ್ಷೇತ್ರದ ಶಕ್ತಿ, ಬೆಂಡ್ ಬಯಾಸ್, ಮೆಕ್ಯಾನಿಕಲ್ ಬ್ಯಾಫಲ್ ಅಪರ್ಚರ್, ಆರ್ಕ್ ಮೂಲ ಪ್ರವಾಹ ಮತ್ತು ಚಾರ್ಜ್ಡ್ ಪಾರ್ಟಿಕಲ್ ಇನ್ಸಿಡೆನ್ಸ್ ಕೋನದಿಂದ ಪ್ರಭಾವಿತವಾಗಿರುತ್ತದೆ.ಕಾಂತೀಯ ಶೋಧನೆ ಸಾಧನದ ಸಮಂಜಸವಾದ ನಿಯತಾಂಕಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿಸುವ ಮೂಲಕ, ದೊಡ್ಡ ಕಣಗಳ ಫಿಲ್ಟರಿಂಗ್ ಪರಿಣಾಮ ಮತ್ತು ಗುರಿಯ ಅಯಾನು ವರ್ಗಾವಣೆ ದಕ್ಷತೆಯನ್ನು ಪರಿಣಾಮಕಾರಿಯಾಗಿ ಸುಧಾರಿಸಬಹುದು.


ಪೋಸ್ಟ್ ಸಮಯ: ನವೆಂಬರ್-08-2022